បន្ទះសៀគ្វី Sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកបរិមាណខ្ពស់
ដ្យាក្រាមលម្អិត
សេចក្តីផ្តើមនៃបន្ទះ sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ
បន្ទះឈីបរាងកណ្តៀងទំហំ 12 អ៊ីញត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបំពេញតម្រូវការកាន់តែកើនឡើងសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអុបតូអេឡិចត្រូនិកក្នុងតំបន់ធំដែលមានទិន្នផលខ្ពស់។ ដោយសារស្ថាបត្យកម្មឧបករណ៍បន្តពង្រីក និងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មផ្លាស់ប្តូរទៅជាទម្រង់បន្ទះឈីបទំហំធំជាងមុន ស្រទាប់ឈីបរាងកណ្តៀងដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំបំផុតផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិច្បាស់លាស់ក្នុងផលិតភាព ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពទិន្នផល និងការគ្រប់គ្រងថ្លៃដើម។
បន្ទះគ្រីស្តាល់ត្បូងកណ្តៀងទំហំ 12 អ៊ីញរបស់យើងផលិតពីគ្រីស្តាល់តែមួយ Al₂O₃ ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ រួមបញ្ចូលគ្នានូវកម្លាំងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងគុណភាពផ្ទៃ។ តាមរយៈការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង និងការដំណើរការបន្ទះគ្រីស្តាល់ដ៏ជាក់លាក់ ស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងនេះផ្តល់នូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់កម្មវិធី LED, GaN និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពិសេសកម្រិតខ្ពស់។

លក្ខណៈសម្ភារៈ
ត្បូងកណ្តៀង (អុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមគ្រីស្តាល់តែមួយ Al₂O₃) ត្រូវបានគេស្គាល់យ៉ាងច្បាស់ដោយសារលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីដ៏លេចធ្លោរបស់វា។ បន្ទះត្បូងកណ្តៀងទំហំ 12 អ៊ីញទទួលមរតកគុណសម្បត្តិទាំងអស់នៃវត្ថុធាតុត្បូងកណ្តៀង ខណៈពេលដែលផ្តល់នូវផ្ទៃដែលអាចប្រើប្រាស់បានធំជាង។
លក្ខណៈសម្ភារៈសំខាន់ៗរួមមាន៖
-
ភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង និងធន់នឹងការពាក់
-
ស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងចំណុចរលាយខ្ពស់
-
ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ចំពោះអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំង
-
តម្លាភាពអុបទិកខ្ពស់ពីរលកពន្លឺ UV ដល់ IR
-
លក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
លក្ខណៈទាំងនេះធ្វើឱ្យបន្ទះ sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ សមស្របសម្រាប់បរិយាកាសដំណើរការដ៏អាក្រក់ និងដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ដំណើរការផលិត
ការផលិតបន្ទះកញ្ចក់ sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ តម្រូវឱ្យមានការលូតលាស់គ្រីស្តាល់កម្រិតខ្ពស់ និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ដំណើរការផលិតធម្មតារួមមាន៖
-
ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ
គ្រីស្តាល់ត្បូងកណ្តៀងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានដាំដុះដោយប្រើវិធីសាស្ត្រទំនើបដូចជា KY ឬបច្ចេកវិទ្យាលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំផ្សេងទៀត ដែលធានាបាននូវការតម្រង់ទិសគ្រីស្តាល់ឯកសណ្ឋាន និងភាពតានតឹងខាងក្នុងទាប។ -
ការកាត់ និងបង្កើតរាងគ្រីស្តាល់
ដុំត្បូងកណ្តៀងត្រូវបានបង្កើតរូបរាងយ៉ាងច្បាស់លាស់ និងកាត់ជាបន្ទះទំហំ 12 អ៊ីញ ដោយប្រើឧបករណ៍កាត់ដែលមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ ដើម្បីកាត់បន្ថយការខូចខាតក្រោមផ្ទៃដី។ -
ការលាប និងការប៉ូលា
ដំណើរការកិនច្រើនជំហាន និងការប៉ូលាមេកានិចគីមី (CMP) ត្រូវបានអនុវត្ត ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពរដុបនៃផ្ទៃ ភាពរាបស្មើ និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ -
ការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យ
បន្ទះត្បូងកណ្តៀងទំហំ 12 អ៊ីញនីមួយៗត្រូវបានឆ្លងកាត់ការសម្អាតយ៉ាងហ្មត់ចត់ និងការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរ៉ឹង រួមទាំងគុណភាពផ្ទៃ ការវិភាគ TTV កោង ការកោង និងការវិភាគពិការភាព។
កម្មវិធី
បន្ទះគ្រីស្តាល់ទំហំ 12 អ៊ីញ ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប និងកំពុងរីកចម្រើន រួមមាន៖
-
ស្រទាប់ LED ថាមពលខ្ពស់ និងពន្លឺខ្ពស់
-
ឧបករណ៍ថាមពលដែលមានមូលដ្ឋានលើ GaN និងឧបករណ៍ RF
-
ឧបករណ៍ផ្ទុកឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងស្រទាប់ខាងក្រោមអ៊ីសូឡង់
-
បង្អួចអុបទិក និងសមាសធាតុអុបទិកទំហំធំ
-
ការវេចខ្ចប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រកម្រិតខ្ពស់ និងឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនដំណើរការពិសេស
អង្កត់ផ្ចិតធំអនុញ្ញាតឱ្យមានទិន្នផលខ្ពស់ជាងមុន និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្លៃដើមក្នុងការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
គុណសម្បត្តិនៃបន្ទះ Sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ
-
ផ្ទៃដែលអាចប្រើប្រាស់បានធំជាងមុនសម្រាប់ទិន្នផលឧបករណ៍ខ្ពស់ជាងមុនក្នុងមួយបន្ទះ
-
ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា និងឯកសណ្ឋាននៃដំណើរការកាន់តែប្រសើរឡើង
-
កាត់បន្ថយថ្លៃដើមក្នុងមួយឧបករណ៍ក្នុងការផលិតបរិមាណច្រើន
-
កម្លាំងមេកានិចល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ការដោះស្រាយទំហំធំ
-
លក្ខណៈបច្ចេកទេសដែលអាចប្ដូរតាមបំណងបានសម្រាប់កម្មវិធីផ្សេងៗគ្នា

ជម្រើសប្ដូរតាមបំណង
យើងផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងដែលអាចបត់បែនបានសម្រាប់បន្ទះ sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ រួមមាន៖
-
ទិសដៅគ្រីស្តាល់ (ប្លង់ C, ប្លង់ A, ប្លង់ R ជាដើម)
-
ការអត់ធ្មត់កម្រាស់ និងអង្កត់ផ្ចិត
-
ការប៉ូលាម្ខាង ឬទ្វេភាគី
-
ការរចនាទម្រង់គែម និង chamfer
-
តម្រូវការរដុបនៃផ្ទៃ និងផ្ទៃរាបស្មើ
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស | កំណត់ចំណាំ |
|---|---|---|
| អង្កត់ផ្ចិតបន្ទះ | ១២ អ៊ីញ (៣០០ ម.ម.) | បន្ទះបន្ទះទំហំធំស្តង់ដារ |
| សម្ភារៈ | ត្បូងកណ្តៀងគ្រីស្តាល់តែមួយ (Al₂O₃) | ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិច/អុបទិក |
| ទិសដៅគ្រីស្តាល់ | ប្លង់ C (០០០១), ប្លង់ A (១១-២០), ប្លង់ R (១-១០២) | ទិសដៅស្រេចចិត្តដែលអាចប្រើបាន |
| កម្រាស់ | ៤៣០–៥០០ មីក្រូម៉ែត្រ | កម្រាស់ផ្ទាល់ខ្លួនអាចរកបានតាមការស្នើសុំ |
| ភាពអត់ធ្មត់កម្រាស់ | ±១០ មីក្រូម៉ែត្រ | ការអត់ធ្មត់តឹងរ៉ឹងសម្រាប់ឧបករណ៍ទំនើបៗ |
| ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប (TTV) | ≤10 μm | ធានានូវដំណើរការឯកសណ្ឋាននៅទូទាំង wafer |
| ធ្នូ | ≤50 μm | វាស់វែងលើបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូល |
| កោង | ≤50 μm | វាស់វែងលើបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូល |
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | ប៉ូលាម្ខាង (SSP) / ប៉ូលាពីរចំហៀង (DSP) | ផ្ទៃដែលមានគុណភាពខ្ពស់អុបទិក |
| ភាពរដុបនៃផ្ទៃ (Ra) | ≤0.5 nm (ប៉ូលា) | ភាពរលោងកម្រិតអាតូមសម្រាប់ការលូតលាស់ epitaxial |
| ទម្រង់គែម | គែមកោង / គែមមូល | ដើម្បីការពារការប្រេះស្រាំក្នុងពេលដោះស្រាយ |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតំរង់ទិស | ±0.5° | ធានានូវការលូតលាស់ស្រទាប់ epitaxial ត្រឹមត្រូវ |
| ដង់ស៊ីតេកំហុស | <១០ សង់ទីម៉ែត្រ⁻² | វាស់វែងដោយការត្រួតពិនិត្យអុបទិក |
| ភាពរាបស្មើ | ≤2 μm / 100 mm | ធានានូវលីតូក្រាហ្វីឯកសណ្ឋាន និងការលូតលាស់អេពីតាក់ស៊ី |
| ភាពស្អាតស្អំ | ថ្នាក់ទី 100 – ថ្នាក់ទី 1000 | ឆបគ្នាជាមួយបន្ទប់ស្អាត |
| ការបញ្ជូនអុបទិក | >85% (កាំរស្មីយូវី–អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ) | អាស្រ័យលើរលកប្រវែង និងកម្រាស់ |
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់អំពីបន្ទះ Sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញ
សំណួរទី 1: តើកម្រាស់ស្តង់ដារនៃបន្ទះ sapphire ទំហំ 12 អ៊ីញគឺជាអ្វី?
ក: កម្រាស់ស្តង់ដារមានចាប់ពី ៤៣០ μm ដល់ ៥០០ μm។ កម្រាស់ផ្ទាល់ខ្លួនក៏អាចត្រូវបានផលិតតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជនផងដែរ។
សំណួរទី 2: តើមានទិសដៅគ្រីស្តាល់អ្វីខ្លះដែលអាចប្រើបានសម្រាប់បន្ទះគ្រីស្តាល់ត្បូងកណ្តៀងទំហំ 12 អ៊ីញ?
ក: យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវទិសដៅប្លង់ C (0001), ប្លង់ A (11-20) និងប្លង់ R (1-102)។ ទិសដៅផ្សេងទៀតអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងដោយផ្អែកលើតម្រូវការឧបករណ៍ជាក់លាក់។
សំណួរទី 3: តើការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប (TTV) នៃបន្ទះ wafer គឺជាអ្វី?
ក: បន្ទះសូហ្វីយ៉ាទំហំ 12 អ៊ីញរបស់យើងជាធម្មតាមាន TTV ≤10 μm ដែលធានាបាននូវឯកសណ្ឋានទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសូហ្វីយ៉ាសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។










