ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតកម្រិតល្អ ទំហំ 12 អ៊ីញ SIC មានអង្កត់ផ្ចិត 300 មីលីម៉ែត្រ ទំហំធំ 4H-N ស័ក្តិសមសម្រាប់ការបញ្ចេញកំដៅឧបករណ៍ដែលមានថាមពលខ្ពស់

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត ទំហំ 12 អ៊ីញ (ស្រទាប់ SiC) គឺជាស្រទាប់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានដំណើរការខ្ពស់ និងមានទំហំធំ ដែលផលិតចេញពីគ្រីស្តាល់តែមួយនៃស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ ស៊ីលីកុនកាប៊ីត (SiC) គឺជាសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានគម្លាតជួរធំទូលាយ ដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី កម្ដៅ និងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកក្នុងបរិយាកាសថាមពលខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ស្រទាប់ទំហំ 12 អ៊ីញ (300 មីលីម៉ែត្រ) គឺជាលក្ខណៈបច្ចេកទេសទំនើបបច្ចុប្បន្ននៃបច្ចេកវិទ្យាស៊ីលីកុនកាប៊ីត ដែលអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មយ៉ាងសំខាន់ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើម។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

លក្ខណៈផលិតផល

១. ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ ចរន្តកំដៅនៃស៊ីលីកុនកាប៊ីតគឺច្រើនជាងស៊ីលីកុន ៣ ដង ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ការរលាយកំដៅឧបករណ៍ថាមពលខ្ពស់។

2. កម្លាំងដែនបំបែកខ្ពស់៖ កម្លាំងដែនបំបែកគឺ 10 ដងនៃស៊ីលីកុន ដែលសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីសម្ពាធខ្ពស់។

៣. គម្លាតប្រេកង់ធំទូលាយ៖ គម្លាតប្រេកង់គឺ 3.26 eV (4H-SiC) ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្រេកង់ខ្ពស់។

៤. ភាពរឹងខ្ពស់៖ ភាពរឹងរបស់ Mohs គឺ 9.2 ដែលជាប់ចំណាត់ថ្នាក់លេខពីរបន្ទាប់ពីពេជ្រ មានភាពធន់នឹងការពាក់ និងកម្លាំងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។

៥. ស្ថេរភាពគីមី៖ ធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង ដំណើរការមានស្ថេរភាពក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិស្ថានអាក្រក់។

៦. ទំហំធំ៖ ស្រទាប់ខាងក្រោម ១២ អ៊ីញ (៣០០ មីលីម៉ែត្រ) បង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម កាត់បន្ថយថ្លៃដើមឯកតា។

7. ដង់ស៊ីតេពិការភាពទាប៖ បច្ចេកវិទ្យាលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់ដើម្បីធានាបាននូវដង់ស៊ីតេពិការភាពទាប និងភាពស៊ីសង្វាក់ខ្ពស់។

ទិសដៅកម្មវិធីចម្បងរបស់ផលិតផល

១. អេឡិចត្រូនិចថាមពល៖

ម៉ូសហ្វេត៖ ប្រើក្នុងយានយន្តអគ្គិសនី ដ្រាយម៉ូទ័រឧស្សាហកម្ម និងឧបករណ៍បំលែងថាមពល។

ឌីយ៉ូដ៖ ដូចជាឌីយ៉ូដ Schottky (SBD) ដែលប្រើសម្រាប់ការកែតម្រូវ និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្តូរប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។

2. ឧបករណ៍ Rf៖

ឧបករណ៍ពង្រីកថាមពល Rf៖ ប្រើក្នុងស្ថានីយ៍មូលដ្ឋានទំនាក់ទំនង 5G និងការទំនាក់ទំនងតាមផ្កាយរណប។

ឧបករណ៍មីក្រូវ៉េវ៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់រ៉ាដា និងប្រព័ន្ធទំនាក់ទំនងឥតខ្សែ។

៣. យានយន្តថាមពលថ្មី៖

ប្រព័ន្ធបើកបរដោយអគ្គិសនី៖ ឧបករណ៍បញ្ជាម៉ូទ័រ និងឧបករណ៍បម្លែងសម្រាប់យានយន្តអគ្គិសនី។

គំនរសាកថ្ម៖ ម៉ូឌុលថាមពលសម្រាប់ឧបករណ៍សាកថ្មលឿន។

៤. កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម៖

ឧបករណ៍បម្លែងវ៉ុលខ្ពស់៖ សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងម៉ូទ័រឧស្សាហកម្ម និងការគ្រប់គ្រងថាមពល។

ក្រឡាចត្រង្គឆ្លាតវៃ៖ សម្រាប់ការបញ្ជូន HVDC និងឧបករណ៍បំលែងអេឡិចត្រូនិចថាមពល។

៥. អវកាសយានិក៖

គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ សមស្របសម្រាប់បរិស្ថានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៃឧបករណ៍អាកាសចរណ៍។

៦. វិស័យស្រាវជ្រាវ៖

ការស្រាវជ្រាវស៊ីមីកុងដុកទ័រប្រភេទ Wide bandgap៖ សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រថ្មីៗ។

ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតទំហំ 12 អ៊ីញ គឺជាប្រភេទស្រទាប់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះដូចជាចរន្តកម្ដៅខ្ពស់ កម្លាំងដែនបំបែកខ្ពស់ និងគម្លាតក្រុមធំទូលាយ។ វាត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកថាមពល ឧបករណ៍ប្រេកង់វិទ្យុ យានយន្តថាមពលថ្មី ការគ្រប់គ្រងឧស្សាហកម្ម និងអាកាសចរណ៍ ហើយវាជាសម្ភារៈសំខាន់មួយដើម្បីលើកកម្ពស់ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ក្រោយដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងថាមពលខ្ពស់។

ខណៈពេលដែលស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតបច្ចុប្បន្នមានកម្មវិធីផ្ទាល់តិចជាងនៅក្នុងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ដូចជាវ៉ែនតា AR សក្តានុពលរបស់វាក្នុងការគ្រប់គ្រងថាមពលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចខ្នាតតូចអាចគាំទ្រដល់ដំណោះស្រាយផ្គត់ផ្គង់ថាមពលទម្ងន់ស្រាល និងដំណើរការខ្ពស់សម្រាប់ឧបករណ៍ AR/VR នាពេលអនាគត។ បច្ចុប្បន្ននេះ ការអភិវឌ្ឍសំខាន់នៃស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងវិស័យឧស្សាហកម្មដូចជាយានយន្តថាមពលថ្មី ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធទំនាក់ទំនង និងស្វ័យប្រវត្តិកម្មឧស្សាហកម្ម ហើយជំរុញឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រឱ្យអភិវឌ្ឍក្នុងទិសដៅដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងអាចទុកចិត្តបាន។

XKH ប្តេជ្ញាផ្តល់ជូននូវស្រទាប់ SIC ទំហំ 12 អ៊ីញ ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ជាមួយនឹងការគាំទ្របច្ចេកទេស និងសេវាកម្មដ៏ទូលំទូលាយ រួមមាន៖

១. ការផលិតតាមតម្រូវការ៖ យោងទៅតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន ដើម្បីផ្តល់នូវភាពធន់ ការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់ និងស្រទាប់ខាងក្រោមព្យាបាលលើផ្ទៃផ្សេងៗគ្នា។

2. ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ៖ ផ្តល់ជូនអតិថិជននូវការគាំទ្របច្ចេកទេសនៃការលូតលាស់ epitaxial ការផលិតឧបករណ៍ និងដំណើរការផ្សេងទៀត ដើម្បីកែលម្អដំណើរការផលិតផល។

៣. ការធ្វើតេស្ត និងវិញ្ញាបនបត្រ៖ ផ្តល់ការរកឃើញកំហុស និងវិញ្ញាបនបត្រគុណភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីធានាថាស្រទាប់ខាងក្រោមបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។

៤. កិច្ចសហប្រតិបត្តិការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍៖ រួមគ្នាអភិវឌ្ឍឧបករណ៍ស៊ីលីកុនកាប៊ីតថ្មីជាមួយអតិថិជន ដើម្បីលើកកម្ពស់ការច្នៃប្រឌិតបច្ចេកវិទ្យា។

តារាងទិន្នន័យ

លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) ទំហំ 1 2 អ៊ីញ
ថ្នាក់		ផលិតកម្ម ZeroMPD ថ្នាក់ (ថ្នាក់ Z)	ផលិតកម្មស្តង់ដារ ថ្នាក់ (ថ្នាក់ P)		ថ្នាក់ក្លែងក្លាយ (ថ្នាក់ D)
អង្កត់ផ្ចិត		៣ ០ ០ ម.ម. ~ ៣០៥ ម.ម.
កម្រាស់	4H-N	៧៥០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ១៥ មីក្រូម៉ែត្រ	៧៥០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ២៥ មីក្រូម៉ែត្រ
	4H-SI	៧៥០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ១៥ មីក្រូម៉ែត្រ	៧៥០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ២៥ មីក្រូម៉ែត្រ
ការតំរង់ទិសបន្ទះ		អ័ក្សក្រៅ៖ ៤.០° ឆ្ពោះទៅ <១១២០ >±០.៥° សម្រាប់ 4H-N, អ័ក្សលើ៖ <០០០១>±០.៥° សម្រាប់ 4H-SI
ដង់ស៊ីតេមីក្រូភីភី	4H-N	≤0.4cm-2	≤4សង់ទីម៉ែត្រ-2		≤25cm-2
	4H-SI	≤5សង់ទីម៉ែត្រ-2	≤10សង់ទីម៉ែត្រ-2		≤25cm-2
ភាពធន់	4H-N	០.០១៥~០.០២៤ អូម·សង់ទីម៉ែត្រ			០.០១៥~០.០២៨ អូម·សង់ទីម៉ែត្រ
	4H-SI	≥1E10 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ			≥1E5 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ
ទិសដៅសំប៉ែតចម្បង		{១០-១០} ±៥.០°
ប្រវែងសំប៉ែតបឋម	4H-N	គ្មាន
	4H-SI	ស្នាមរន្ធ
ការដកចេញគែម		៣ ម.ម.
LTV/TTV/Bow/Warp		≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
ភាពរដុប		ប៉ូឡូញ Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
ស្នាមប្រេះគែមដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ បន្ទះ Hex ដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ តំបន់ពហុប្រភេទដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ ការរួមបញ្ចូលកាបូនដែលមើលឃើញ ស្នាមឆ្កូតលើផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់		គ្មាន ផ្ទៃសរុប ≤0.05% គ្មាន ផ្ទៃសរុប ≤0.05% គ្មាន			ប្រវែងសរុប ≤ 20 ម.ម, ប្រវែងតែមួយ ≤ 2 ម.ម ផ្ទៃសរុប ≤0.1% ផ្ទៃសរុប ≤3% ផ្ទៃសរុប ≤3% ប្រវែងសរុប ≤1 ×អង្កត់ផ្ចិតបន្ទះ
បន្ទះសៀគ្វីគែមដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់		គ្មានអ្វីត្រូវបានអនុញ្ញាតទេ ≥0.2mm ទទឹង និងជម្រៅ			អនុញ្ញាត 7, ≤1 ម.ម នីមួយៗ
(TSD) ការផ្លាស់ទីលំនៅវីស		≤500 សង់ទីម៉ែត្រ-2		គ្មាន
(BPD) ការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ប្លង់មូលដ្ឋាន		≤1000 សង់ទីម៉ែត្រ-2		គ្មាន
ការបំពុលផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់		គ្មាន
ការវេចខ្ចប់		កាសែតវ៉ាហ្វើរច្រើន ឬកុងតឺន័រវ៉ាហ្វើរតែមួយ
កំណត់ចំណាំ៖
1 ដែនកំណត់ពិការភាពអនុវត្តចំពោះផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូលលើកលែងតែតំបន់ដកចេញគែម។ 2ស្នាមឆ្កូតគួរតែត្រូវបានពិនិត្យលើផ្ទៃ Si តែប៉ុណ្ណោះ។ 3 ទិន្នន័យនៃការផ្លាស់ទីតាំងគឺមកពីបន្ទះបន្ទះឆ្លាក់ដោយ KOH ប៉ុណ្ណោះ។

XKH នឹងបន្តវិនិយោគលើការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ ដើម្បីលើកកម្ពស់ការទម្លាយភាពទាល់ច្រកនៃស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃទំហំ 12 អ៊ីញ ដែលមានទំហំធំ មានពិការភាពទាប និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាខ្ពស់ ខណៈពេលដែល XKH ស្វែងយល់ពីកម្មវិធីរបស់ខ្លួននៅក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើនដូចជា គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ (ដូចជាម៉ូឌុលថាមពលសម្រាប់ឧបករណ៍ AR/VR) និងការគណនាកង់ទិច។ តាមរយៈការកាត់បន្ថយថ្លៃដើម និងបង្កើនសមត្ថភាព XKH នឹងនាំមកនូវវិបុលភាពដល់ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។