បន្ទះសៀគ្វី Quartz លាយបញ្ចូលគ្នាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់កម្មវិធីអុបទិកហ្វូតូនិកទំហំ 2″4″6″8″12″

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

រ៉ែថ្មខៀវរលាយ— ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាស៊ីលីការលាយ—គឺជាទម្រង់មិនមែនគ្រីស្តាល់ (អាម៉ូហ្វូស) នៃស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (SiO₂)។ មិនដូចកែវ borosilicate ឬកែវឧស្សាហកម្មផ្សេងទៀតទេ ថ្ម quartz រលាយមិនមានផ្ទុកសារធាតុ dopants ឬសារធាតុបន្ថែមទេ ដោយផ្តល់នូវសមាសធាតុសុទ្ធគីមីនៃ SiO₂។ វាត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ការបញ្ជូនអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាឆ្លងកាត់វិសាលគមអ៊ុលត្រាវីយូឡេ (UV) និងអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (IR) ដែលលើសពីសម្ភារៈកញ្ចក់ប្រពៃណី។


លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃកញ្ចក់ Quartz

បន្ទះសៀគ្វី Quartz បង្កើតបានជាឆ្អឹងខ្នងនៃឧបករណ៍ទំនើបៗរាប់មិនអស់ ដែលជំរុញពិភពឌីជីថលសព្វថ្ងៃនេះ។ ចាប់ពីការរុករកនៅក្នុងស្មាតហ្វូនរបស់អ្នក រហូតដល់ឆ្អឹងខ្នងនៃស្ថានីយ៍មូលដ្ឋាន 5G បន្ទះសៀគ្វី Quartz ផ្តល់នូវស្ថេរភាព ភាពបរិសុទ្ធ និងភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវការនៅក្នុងអេឡិចត្រូនិច និងហ្វូតូនិកដែលមានដំណើរការខ្ពស់ដោយស្ងាត់ស្ងៀម។ មិនថាគាំទ្រដល់សៀគ្វីដែលអាចបត់បែនបាន ការបើកដំណើរការឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS ឬការបង្កើតមូលដ្ឋានសម្រាប់ការគណនាកង់ទិចនោះទេ លក្ខណៈប្លែករបស់បន្ទះសៀគ្វី Quartz ធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបាននៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម។

«ស៊ីលីការលាយ» ឬ «រ៉ែថ្មខៀវរលាយ» ដែលជាដំណាក់កាលអសណ្ឋាននៃរ៉ែថ្មខៀវ (SiO2)។ នៅពេលប្រៀបធៀបទៅនឹងកញ្ចក់បូរ៉ូស៊ីលីក ស៊ីលីការលាយមិនមានសារធាតុបន្ថែមទេ។ ដូច្នេះវាមាននៅក្នុងទម្រង់សុទ្ធរបស់វាគឺ SiO2។ ស៊ីលីការលាយមានការបញ្ជូនខ្ពស់ជាងនៅក្នុងវិសាលគមអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និងអ៊ុលត្រាវីយូឡេ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងកញ្ចក់ធម្មតា។ ស៊ីលីការលាយត្រូវបានផលិតឡើងដោយការរលាយ និងធ្វើឱ្យ SiO2 បរិសុទ្ធខ្លាំងរឹងឡើងវិញ។ ម៉្យាងវិញទៀត ស៊ីលីការលាយសំយោគត្រូវបានផលិតចេញពីសារធាតុគីមីដែលសម្បូរទៅដោយស៊ីលីកុនដូចជា SiCl4 ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យឧស្ម័ន ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានកត់សុីនៅក្នុងបរិយាកាស H2 + O2។ ធូលី SiO2 ដែលបង្កើតឡើងក្នុងករណីនេះត្រូវបានរលាយទៅនឹងស៊ីលីកានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប្លុកស៊ីលីការលាយត្រូវបានកាត់ជាបន្ទះស្តើងៗ បន្ទាប់ពីបន្ទះស្តើងៗត្រូវបានប៉ូលា។

លក្ខណៈពិសេស និងអត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗនៃបន្ទះកញ្ចក់ Quartz

  • ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (≥99.99% SiO2)
    ល្អ​បំផុត​សម្រាប់​ដំណើរការ​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង​ហ្វូតូនិក​ដ៏​ស្អាត​បំផុត ដែល​ការ​បំពុល​សម្ភារៈ​ត្រូវ​តែ​ត្រូវ​បាន​បង្រួម​អប្បបរមា។

  • ជួរប្រតិបត្តិការកម្ដៅធំទូលាយ
    រក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធចាប់ពីសីតុណ្ហភាពត្រជាក់រហូតដល់លើសពី 1100°C ដោយមិនមានការរួញតូច ឬការរិចរិល។

  • ការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវី និងអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
    ផ្តល់នូវភាពច្បាស់លាស់ខាងអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះពីកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ (DUV) រហូតដល់កាំរស្មីអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដជិត (NIR) ដែលគាំទ្រដល់កម្មវិធីអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់។

  • មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប
    បង្កើនស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព កាត់បន្ថយភាពតានតឹង និងបង្កើនភាពជឿជាក់នៃដំណើរការ។

  • ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់
    មិន​អសកម្ម​ចំពោះ​អាស៊ីត អាល់កាឡាំង និង​សារធាតុរំលាយ​ភាគច្រើន — ដែល​ធ្វើ​ឱ្យ​វា​ស័ក្តិសម​សម្រាប់​បរិស្ថាន​ដែល​មាន​ប្រតិកម្ម​គីមី​ខ្លាំង។

  • ភាពបត់បែននៃផ្ទៃបញ្ចប់
    មានជាមួយនឹងការបញ្ចប់រលោងខ្លាំង ម្ខាង ឬពីរចំហៀង ឆបគ្នាជាមួយតម្រូវការហ្វូតូនិក និង MEMS។

ដំណើរការផលិតបន្ទះកញ្ចក់ Quartz

បន្ទះ​គ្រីស្តាល់​លាយ​ចូល​គ្នា​ត្រូវ​បាន​ផលិត​តាម​រយៈ​ជំហាន​មួយ​ចំនួន​ដែល​ត្រូវ​បាន​គ្រប់គ្រង​ និង​ច្បាស់លាស់៖

  1. ការជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើម
    ការជ្រើសរើសប្រភព SiO₂ សំយោគ ឬរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

  2. ការរលាយ និងការលាយបញ្ចូលគ្នា
    រ៉ែថ្ម Quartz ត្រូវបានរលាយនៅសីតុណ្ហភាព ~2000°C នៅក្នុងឡដុតអគ្គិសនីក្រោមបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រង ដើម្បីលុបបំបាត់ការរួមផ្សំ និងពពុះ។

  3. ការបង្កើតប្លុក
    ស៊ីលីការលាយត្រូវបានត្រជាក់ទៅជាប្លុករឹង ឬដុំដែក។

  4. ការកាត់បន្ទះស្តើងៗ
    ម៉ាស៊ីន​កាត់​ពេជ្រ ឬ​ខ្សែ​ដែល​មាន​ភាព​ជាក់លាក់​ខ្ពស់​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​ដើម្បី​កាត់​ដុំ​ដែក​ឲ្យ​ទៅ​ជា​បន្ទះ​ស្តើងៗ។

  5. ការលាប និងការប៉ូលា
    ផ្ទៃទាំងពីរត្រូវបានរាបស្មើ និងប៉ូលា ដើម្បីបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសអុបទិក កម្រាស់ និងភាពរដុបពិតប្រាកដ។

  6. ការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យ
    បន្ទះ​នំ​ត្រូវ​បាន​សម្អាត​ក្នុង​បន្ទប់​ស្អាត​ថ្នាក់ ISO Class 100/1000 ហើយ​ត្រូវ​បាន​ត្រួតពិនិត្យ​យ៉ាង​ម៉ត់ចត់​ដើម្បី​រក​មើល​ពិការភាព និង​ភាព​ស្រប​តាម​វិមាត្រ។

លក្ខណៈសម្បត្តិនៃបន្ទះកញ្ចក់ Quartz

លក្ខណៈបច្ចេកទេស ឯកតា 4" 6" 8" ១០ អ៊ីញ ១២អ៊ីញ
អង្កត់ផ្ចិត / ទំហំ (ឬការ៉េ) mm ១០០ ១៥០ ២០០ ២៥០ ៣០០
ភាពអត់ធ្មត់ (±) mm ០.២ ០.២ ០.២ ០.២ ០.២
កម្រាស់ mm ០,១០ ឬច្រើនជាងនេះ ០,៣០ ឬច្រើនជាងនេះ ០,៤០ ឬច្រើនជាងនេះ ០.៥០ ឬច្រើនជាងនេះ ០.៥០ ឬច្រើនជាងនេះ
សំប៉ែតយោងបឋម mm ៣២.៥ ៥៧.៥ ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ
LTV (៥មម × ៥មម) μm < ០.៥ < ០.៥ < ០.៥ < ០.៥ < ០.៥
ធីធីវី μm < ២ < ៣ < ៣ < ៥ < ៥
ធ្នូ μm ±២០ ±៣០ ±៤០ ±៤០ ±៤០
កោង μm ≤ 30 ≤ ៤០ ≤ ៥០ ≤ ៥០ ≤ ៥០
PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
ការបង្គត់គែម mm អនុលោមតាមស្តង់ដារ SEMI M1.2 / យោងទៅ IEC62276
ប្រភេទផ្ទៃ ប៉ូលាម្ខាង / ប៉ូលាសងខាង
រ៉ា​ចំហៀង​ប៉ូលា nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យផ្នែកខាងក្រោយ μm ទូទៅ 0.2-0.7 ឬប្ដូរតាមបំណង

រ៉ែថ្មខៀវទល់នឹងសម្ភារៈថ្លាផ្សេងទៀត

អចលនទ្រព្យ កញ្ចក់ Quartz កញ្ចក់បូរ៉ូស៊ីលីត ត្បូងកណ្តៀង កញ្ចក់ស្តង់ដារ
សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា ~១១០០អង្សាសេ ~៥០០អង្សាសេ ~២០០០អង្សាសេ ~២០០អង្សាសេ
ការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវី ល្អឥតខ្ចោះ (JGS1) ក្រីក្រ ល្អ ក្រីក្រ​ខ្លាំង
ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី ល្អឥតខ្ចោះ មធ្យម ល្អឥតខ្ចោះ ក្រីក្រ
ភាពបរិសុទ្ធ ខ្ពស់ខ្លាំង ទាបទៅមធ្យម ខ្ពស់ ទាប
ការពង្រីកកម្ដៅ ទាបណាស់ មធ្យម ទាប ខ្ពស់
តម្លៃ មធ្យមទៅខ្ពស់ ទាប ខ្ពស់ ទាបណាស់

សំណួរគេសួរញឹកញាប់អំពីបន្ទះកញ្ចក់ Quartz

សំណួរទី 1: តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងរ៉ែថ្មខៀវរលាយ និងស៊ីលីការលាយ?
ខណៈពេលដែលទាំងពីរជាទម្រង់អសណ្ឋាននៃ SiO₂ រ៉ែថ្មខៀវរលាយជាធម្មតាមានប្រភពមកពីរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិ ចំណែកឯស៊ីលីការលាយត្រូវបានផលិតដោយសំយោគ។ ទាក់ទងនឹងមុខងារ ពួកវាផ្តល់នូវដំណើរការស្រដៀងគ្នា ប៉ុន្តែស៊ីលីការលាយអាចមានភាពបរិសុទ្ធ និងភាពដូចគ្នាខ្ពស់ជាងបន្តិច។

សំណួរទី 2: តើបន្ទះសៀគ្វី quartz ដែលរលាយអាចប្រើក្នុងបរិយាកាសដែលមានកន្លែងទំនេរខ្ពស់បានទេ?
បាទ/ចាស៎។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិបញ្ចេញឧស្ម័នទាប និងភាពធន់នឹងកម្ដៅខ្ពស់ បន្ទះបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវរលាយគឺល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលី និងកម្មវិធីអវកាស។

សំណួរទី 3: តើបន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះសមស្របសម្រាប់កម្មវិធីឡាស៊ែរកាំរស្មីយូវីជ្រៅដែរឬទេ?
ពិតណាស់។ រ៉ែថ្មខៀវរលាយមានការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់រហូតដល់ ~185 nm ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អុបទិក DUV របាំងលីចូក្រាហ្វី និងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ excimer។

សំណួរទី 4: តើអ្នកគាំទ្រការផលិតបន្ទះសៀគ្វីតាមតម្រូវការដែរឬទេ?
បាទ/ចាស៎។ យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងពេញលេញ រួមទាំងអង្កត់ផ្ចិត កម្រាស់ គុណភាពផ្ទៃ ផ្ទៃរាបស្មើ/ស្នាមរន្ធ និងលំនាំឡាស៊ែរ ដោយផ្អែកលើតម្រូវការកម្មវិធីជាក់លាក់របស់អ្នក។

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។

 

ស្រទាប់​រ៉ែ​កណ្តៀង​ឆៅ​សុទ្ធ​ខ្ពស់​សម្រាប់​កែច្នៃ​បន្ទះ​ថ្ម​សំប៉ែត​ចំនួន ៥


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង