បន្ទះសៀគ្វី Quartz លាយបញ្ចូលគ្នាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់កម្មវិធីអុបទិកហ្វូតូនិកទំហំ 2″4″6″8″12″
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃកញ្ចក់ Quartz
បន្ទះសៀគ្វី Quartz បង្កើតបានជាឆ្អឹងខ្នងនៃឧបករណ៍ទំនើបៗរាប់មិនអស់ ដែលជំរុញពិភពឌីជីថលសព្វថ្ងៃនេះ។ ចាប់ពីការរុករកនៅក្នុងស្មាតហ្វូនរបស់អ្នក រហូតដល់ឆ្អឹងខ្នងនៃស្ថានីយ៍មូលដ្ឋាន 5G បន្ទះសៀគ្វី Quartz ផ្តល់នូវស្ថេរភាព ភាពបរិសុទ្ធ និងភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវការនៅក្នុងអេឡិចត្រូនិច និងហ្វូតូនិកដែលមានដំណើរការខ្ពស់ដោយស្ងាត់ស្ងៀម។ មិនថាគាំទ្រដល់សៀគ្វីដែលអាចបត់បែនបាន ការបើកដំណើរការឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS ឬការបង្កើតមូលដ្ឋានសម្រាប់ការគណនាកង់ទិចនោះទេ លក្ខណៈប្លែករបស់បន្ទះសៀគ្វី Quartz ធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបាននៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម។
«ស៊ីលីការលាយ» ឬ «រ៉ែថ្មខៀវរលាយ» ដែលជាដំណាក់កាលអសណ្ឋាននៃរ៉ែថ្មខៀវ (SiO2)។ នៅពេលប្រៀបធៀបទៅនឹងកញ្ចក់បូរ៉ូស៊ីលីក ស៊ីលីការលាយមិនមានសារធាតុបន្ថែមទេ។ ដូច្នេះវាមាននៅក្នុងទម្រង់សុទ្ធរបស់វាគឺ SiO2។ ស៊ីលីការលាយមានការបញ្ជូនខ្ពស់ជាងនៅក្នុងវិសាលគមអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និងអ៊ុលត្រាវីយូឡេ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងកញ្ចក់ធម្មតា។ ស៊ីលីការលាយត្រូវបានផលិតឡើងដោយការរលាយ និងធ្វើឱ្យ SiO2 បរិសុទ្ធខ្លាំងរឹងឡើងវិញ។ ម៉្យាងវិញទៀត ស៊ីលីការលាយសំយោគត្រូវបានផលិតចេញពីសារធាតុគីមីដែលសម្បូរទៅដោយស៊ីលីកុនដូចជា SiCl4 ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យឧស្ម័ន ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានកត់សុីនៅក្នុងបរិយាកាស H2 + O2។ ធូលី SiO2 ដែលបង្កើតឡើងក្នុងករណីនេះត្រូវបានរលាយទៅនឹងស៊ីលីកានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប្លុកស៊ីលីការលាយត្រូវបានកាត់ជាបន្ទះស្តើងៗ បន្ទាប់ពីបន្ទះស្តើងៗត្រូវបានប៉ូលា។
លក្ខណៈពិសេស និងអត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗនៃបន្ទះកញ្ចក់ Quartz
-
ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (≥99.99% SiO2)
ល្អបំផុតសម្រាប់ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងហ្វូតូនិកដ៏ស្អាតបំផុត ដែលការបំពុលសម្ភារៈត្រូវតែត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា។ -
ជួរប្រតិបត្តិការកម្ដៅធំទូលាយ
រក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធចាប់ពីសីតុណ្ហភាពត្រជាក់រហូតដល់លើសពី 1100°C ដោយមិនមានការរួញតូច ឬការរិចរិល។ -
ការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវី និងអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ផ្តល់នូវភាពច្បាស់លាស់ខាងអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះពីកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ (DUV) រហូតដល់កាំរស្មីអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដជិត (NIR) ដែលគាំទ្រដល់កម្មវិធីអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់។ -
មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប
បង្កើនស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព កាត់បន្ថយភាពតានតឹង និងបង្កើនភាពជឿជាក់នៃដំណើរការ។ -
ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់
មិនអសកម្មចំពោះអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងសារធាតុរំលាយភាគច្រើន — ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានដែលមានប្រតិកម្មគីមីខ្លាំង។ -
ភាពបត់បែននៃផ្ទៃបញ្ចប់
មានជាមួយនឹងការបញ្ចប់រលោងខ្លាំង ម្ខាង ឬពីរចំហៀង ឆបគ្នាជាមួយតម្រូវការហ្វូតូនិក និង MEMS។
ដំណើរការផលិតបន្ទះកញ្ចក់ Quartz
បន្ទះគ្រីស្តាល់លាយចូលគ្នាត្រូវបានផលិតតាមរយៈជំហានមួយចំនួនដែលត្រូវបានគ្រប់គ្រង និងច្បាស់លាស់៖
-
ការជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើម
ការជ្រើសរើសប្រភព SiO₂ សំយោគ ឬរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ -
ការរលាយ និងការលាយបញ្ចូលគ្នា
រ៉ែថ្ម Quartz ត្រូវបានរលាយនៅសីតុណ្ហភាព ~2000°C នៅក្នុងឡដុតអគ្គិសនីក្រោមបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រង ដើម្បីលុបបំបាត់ការរួមផ្សំ និងពពុះ។ -
ការបង្កើតប្លុក
ស៊ីលីការលាយត្រូវបានត្រជាក់ទៅជាប្លុករឹង ឬដុំដែក។ -
ការកាត់បន្ទះស្តើងៗ
ម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រ ឬខ្សែដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់ដុំដែកឲ្យទៅជាបន្ទះស្តើងៗ។ -
ការលាប និងការប៉ូលា
ផ្ទៃទាំងពីរត្រូវបានរាបស្មើ និងប៉ូលា ដើម្បីបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសអុបទិក កម្រាស់ និងភាពរដុបពិតប្រាកដ។ -
ការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យ
បន្ទះនំត្រូវបានសម្អាតក្នុងបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ ISO Class 100/1000 ហើយត្រូវបានត្រួតពិនិត្យយ៉ាងម៉ត់ចត់ដើម្បីរកមើលពិការភាព និងភាពស្របតាមវិមាត្រ។
លក្ខណៈសម្បត្តិនៃបន្ទះកញ្ចក់ Quartz
| លក្ខណៈបច្ចេកទេស | ឯកតា | 4" | 6" | 8" | ១០ អ៊ីញ | ១២អ៊ីញ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| អង្កត់ផ្ចិត / ទំហំ (ឬការ៉េ) | mm | ១០០ | ១៥០ | ២០០ | ២៥០ | ៣០០ |
| ភាពអត់ធ្មត់ (±) | mm | ០.២ | ០.២ | ០.២ | ០.២ | ០.២ |
| កម្រាស់ | mm | ០,១០ ឬច្រើនជាងនេះ | ០,៣០ ឬច្រើនជាងនេះ | ០,៤០ ឬច្រើនជាងនេះ | ០.៥០ ឬច្រើនជាងនេះ | ០.៥០ ឬច្រើនជាងនេះ |
| សំប៉ែតយោងបឋម | mm | ៣២.៥ | ៥៧.៥ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ |
| LTV (៥មម × ៥មម) | μm | < ០.៥ | < ០.៥ | < ០.៥ | < ០.៥ | < ០.៥ |
| ធីធីវី | μm | < ២ | < ៣ | < ៣ | < ៥ | < ៥ |
| ធ្នូ | μm | ±២០ | ±៣០ | ±៤០ | ±៤០ | ±៤០ |
| កោង | μm | ≤ 30 | ≤ ៤០ | ≤ ៥០ | ≤ ៥០ | ≤ ៥០ |
| PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| ការបង្គត់គែម | mm | អនុលោមតាមស្តង់ដារ SEMI M1.2 / យោងទៅ IEC62276 | ||||
| ប្រភេទផ្ទៃ | ប៉ូលាម្ខាង / ប៉ូលាសងខាង | |||||
| រ៉ាចំហៀងប៉ូលា | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យផ្នែកខាងក្រោយ | μm | ទូទៅ 0.2-0.7 ឬប្ដូរតាមបំណង | ||||
រ៉ែថ្មខៀវទល់នឹងសម្ភារៈថ្លាផ្សេងទៀត
| អចលនទ្រព្យ | កញ្ចក់ Quartz | កញ្ចក់បូរ៉ូស៊ីលីត | ត្បូងកណ្តៀង | កញ្ចក់ស្តង់ដារ |
|---|---|---|---|---|
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ~១១០០អង្សាសេ | ~៥០០អង្សាសេ | ~២០០០អង្សាសេ | ~២០០អង្សាសេ |
| ការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវី | ល្អឥតខ្ចោះ (JGS1) | ក្រីក្រ | ល្អ | ក្រីក្រខ្លាំង |
| ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី | ល្អឥតខ្ចោះ | មធ្យម | ល្អឥតខ្ចោះ | ក្រីក្រ |
| ភាពបរិសុទ្ធ | ខ្ពស់ខ្លាំង | ទាបទៅមធ្យម | ខ្ពស់ | ទាប |
| ការពង្រីកកម្ដៅ | ទាបណាស់ | មធ្យម | ទាប | ខ្ពស់ |
| តម្លៃ | មធ្យមទៅខ្ពស់ | ទាប | ខ្ពស់ | ទាបណាស់ |
សំណួរគេសួរញឹកញាប់អំពីបន្ទះកញ្ចក់ Quartz
សំណួរទី 1: តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងរ៉ែថ្មខៀវរលាយ និងស៊ីលីការលាយ?
ខណៈពេលដែលទាំងពីរជាទម្រង់អសណ្ឋាននៃ SiO₂ រ៉ែថ្មខៀវរលាយជាធម្មតាមានប្រភពមកពីរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិ ចំណែកឯស៊ីលីការលាយត្រូវបានផលិតដោយសំយោគ។ ទាក់ទងនឹងមុខងារ ពួកវាផ្តល់នូវដំណើរការស្រដៀងគ្នា ប៉ុន្តែស៊ីលីការលាយអាចមានភាពបរិសុទ្ធ និងភាពដូចគ្នាខ្ពស់ជាងបន្តិច។
សំណួរទី 2: តើបន្ទះសៀគ្វី quartz ដែលរលាយអាចប្រើក្នុងបរិយាកាសដែលមានកន្លែងទំនេរខ្ពស់បានទេ?
បាទ/ចាស៎។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិបញ្ចេញឧស្ម័នទាប និងភាពធន់នឹងកម្ដៅខ្ពស់ បន្ទះបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវរលាយគឺល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលី និងកម្មវិធីអវកាស។
សំណួរទី 3: តើបន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះសមស្របសម្រាប់កម្មវិធីឡាស៊ែរកាំរស្មីយូវីជ្រៅដែរឬទេ?
ពិតណាស់។ រ៉ែថ្មខៀវរលាយមានការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់រហូតដល់ ~185 nm ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អុបទិក DUV របាំងលីចូក្រាហ្វី និងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ excimer។
សំណួរទី 4: តើអ្នកគាំទ្រការផលិតបន្ទះសៀគ្វីតាមតម្រូវការដែរឬទេ?
បាទ/ចាស៎។ យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងពេញលេញ រួមទាំងអង្កត់ផ្ចិត កម្រាស់ គុណភាពផ្ទៃ ផ្ទៃរាបស្មើ/ស្នាមរន្ធ និងលំនាំឡាស៊ែរ ដោយផ្អែកលើតម្រូវការកម្មវិធីជាក់លាក់របស់អ្នក។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។











