ឧបករណ៍បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ Microjet កាត់ wafer ដំណើរការសម្ភារៈ SiC

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ឧបករណ៍បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ Microjet គឺជាប្រភេទប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ និងទឹកបាញ់កម្រិតមីក្រូ។ តាមរយៈការភ្ជាប់ធ្នឹមឡាស៊ែរទៅនឹងទឹកបាញ់ល្បឿនលឿន (ទឹកដែលគ្មានអ៊ីយ៉ូដ ឬទឹកពិសេស) ការកែច្នៃសម្ភារៈដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងការខូចខាតកម្ដៅទាបអាចត្រូវបានសម្រេច។ បច្ចេកវិទ្យានេះស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ការកាត់ ការខួង និងការកែច្នៃមីក្រូស្ត្រុកទ័រនៃវត្ថុធាតុរឹង និងផុយស្រួយ (ដូចជា SiC ត្បូងកណ្តៀង កញ្ចក់) ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក អេក្រង់បង្ហាញពន្លឺ ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

គោលការណ៍ធ្វើការ៖

១. ការភ្ជាប់ឡាស៊ែរ៖ ឡាស៊ែរជីពចរ (UV/បៃតង/អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ) ត្រូវបានផ្តោតនៅខាងក្នុងស្ទ្រីមរាវ ដើម្បីបង្កើតជាបណ្តាញបញ្ជូនថាមពលដែលមានស្ថេរភាព។

2. ការណែនាំអំពីសារធាតុរាវ៖ ស្ព្រីងល្បឿនលឿន (អត្រាលំហូរ 50-200 ម៉ែត្រ/វិនាទី) ធ្វើឱ្យតំបន់កែច្នៃត្រជាក់ និងយកកំទេចកំទីចេញ ដើម្បីជៀសវាងការប្រមូលផ្តុំកំដៅ និងការបំពុល។

៣. ការដកយកសម្ភារៈចេញ៖ ថាមពលឡាស៊ែរបណ្តាលឱ្យមានប្រសិទ្ធភាព cavitation នៅក្នុងអង្គធាតុរាវដើម្បីសម្រេចបាននូវដំណើរការត្រជាក់នៃសម្ភារៈ (តំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅ <1μm)។

៤. ការគ្រប់គ្រងថាមវន្ត៖ ការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រឡាស៊ែរ (ថាមពល ប្រេកង់) និងសម្ពាធទឹកតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃសម្ភារៈ និងរចនាសម្ព័ន្ធផ្សេងៗគ្នា។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ៖

១. ថាមពលឡាស៊ែរ៖ ១០-៥០០វ៉ាត់ (អាចលៃតម្រូវបាន)

2. អង្កត់ផ្ចិតយន្តហោះប្រតិកម្ម៖ 50-300μm

៣. ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកែច្នៃ៖ ±០.៥μm (កាត់) សមាមាត្រជម្រៅទៅនឹងទទឹង ១០:១ (ខួង)

គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេស៖

(1) ស្ទើរតែគ្មានការខូចខាតដោយសារកំដៅ
- ការត្រជាក់ដោយទឹកថ្នាំរាវគ្រប់គ្រងតំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅ (HAZ) ដល់ **<1μm** ដោយជៀសវាងស្នាមប្រេះតូចៗដែលបណ្តាលមកពីដំណើរការឡាស៊ែរធម្មតា (HAZ ជាធម្មតា >10μm)។

(2) ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ខ្លាំង
- ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់/ខួងរហូតដល់ **±0.5μm** ភាពរដុបនៃគែម Ra<0.2μm កាត់បន្ថយតម្រូវការសម្រាប់ការប៉ូលាជាបន្តបន្ទាប់។

- គាំទ្រដល់ដំណើរការរចនាសម្ព័ន្ធ 3D ដ៏ស្មុគស្មាញ (ដូចជារន្ធរាងសាជី រន្ធរាង)។

(3) ភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈយ៉ាងទូលំទូលាយ
- វត្ថុធាតុរឹង និងផុយស្រួយ៖ SiC ត្បូងកណ្តៀង កញ្ចក់ សេរ៉ាមិច (វិធីសាស្ត្រប្រពៃណីងាយនឹងបែក)។

- សម្ភារៈងាយនឹងកម្ដៅ៖ ប៉ូលីមែរ ជាលិកាជីវសាស្រ្ត (គ្មានហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយពីកម្ដៅ)។

(4) ការការពារបរិស្ថាន និងប្រសិទ្ធភាព
- គ្មានការបំពុលធូលីទេ សារធាតុរាវអាចកែច្នៃ និងច្រោះបាន។

- ល្បឿនដំណើរការកើនឡើង 30%-50% (បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការកែច្នៃ)។

(5) ការគ្រប់គ្រងឆ្លាតវៃ
- ការកំណត់ទីតាំងដែលមើលឃើញរួមបញ្ចូលគ្នា និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រ AI កម្រាស់សម្ភារៈ និងពិការភាពដែលអាចសម្របខ្លួនបាន។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

បរិមាណតុបញ្ជរ	៣០០៣០០១៥០	៤០០៤០០២០០
អ័ក្សលីនេអ៊ែរ XY	ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ។ ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ	ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ។ ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ
អ័ក្សលីនេអ៊ែរ Z	១៥០	២០០
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង μm	+/- ៥	+/- ៥
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងម្តងហើយម្តងទៀត μm	+/-២	+/-២
ការបង្កើនល្បឿន G	1	០,២៩
ការគ្រប់គ្រងលេខ	អ័ក្ស 3 / អ័ក្ស 3+1 / អ័ក្ស 3+2	អ័ក្ស 3 / អ័ក្ស 3+1 / អ័ក្ស 3+2
ប្រភេទនៃការគ្រប់គ្រងលេខ	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
រលកប្រវែង nm	៥៣២/១០៦៤	៥៣២/១០៦៤
ថាមពលដែលបានវាយតម្លៃ W	៥០/១០០/២០០	៥០/១០០/២០០
ទឹកហូរ	៤០-១០០	៤០-១០០
របារសម្ពាធក្បាលបាញ់	៥០-១០០	៥០-៦០០
វិមាត្រ (ម៉ាស៊ីន) (ទទឹង * បណ្តោយ * កម្ពស់) ម.ម	១៤៤៥១៩៤៤២២៦០	១៧០០១៥០០២១២០
ទំហំ (ទូត្រួតពិនិត្យ) (ទទឹង * បណ្តោយ * កម្ពស់)	៧០០២៥០០១៦០០	៧០០២៥០០១៦០០
ទម្ងន់ (ឧបករណ៍) T	២.៥	3
ទម្ងន់ (ទូត្រួតពិនិត្យ) គីឡូក្រាម	៨០០	៨០០
សមត្ថភាពដំណើរការ	ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra≤1.6um ល្បឿនបើក ≥1.25mm/s ការកាត់រង្វង់ ≥6mm/s ល្បឿនកាត់លីនេអ៊ែរ ≥50mm/s	ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra≤1.2um ល្បឿនបើក ≥1.25mm/s ការកាត់រង្វង់ ≥6mm/s ល្បឿនកាត់លីនេអ៊ែរ ≥50mm/s
	សម្រាប់គ្រីស្តាល់ហ្គាលីញ៉ូមនីទ្រីត សម្ភារៈពាក់កណ្តាលចម្លងចរន្តអគ្គិសនីដែលមានគម្លាតធំទូលាយ (ពេជ្រ/ហ្គាលីញ៉ូមអុកស៊ីដ) សម្ភារៈពិសេសអាកាសចរណ៍ ស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិចកាបូន LTCC ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ គ្រីស្តាល់ scintillator និងសម្ភារៈកែច្នៃផ្សេងៗទៀត។ ចំណាំ៖ សមត្ថភាពដំណើរការប្រែប្រួលអាស្រ័យលើលក្ខណៈសម្ភារៈ

ករណីដំណើរការ៖

សេវាកម្មរបស់ XKH៖

XKH ផ្តល់ជូននូវការគាំទ្រសេវាកម្មពេញលេញសម្រាប់ឧបករណ៍បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ microjet ចាប់ពីការអភិវឌ្ឍដំណើរការដំបូង និងការពិគ្រោះយោបល់ជ្រើសរើសឧបករណ៍ រហូតដល់ការរួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធផ្ទាល់ខ្លួនរយៈពេលមធ្យម (រួមទាំងការផ្គូផ្គងពិសេសនៃប្រភពឡាស៊ែរ ប្រព័ន្ធ jet និងម៉ូឌុលស្វ័យប្រវត្តិកម្ម) រហូតដល់ការបណ្តុះបណ្តាលប្រតិបត្តិការ និងថែទាំនៅពេលក្រោយ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ ដំណើរការទាំងមូលត្រូវបានបំពាក់ដោយការគាំទ្រពីក្រុមបច្ចេកទេសដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ។ ដោយផ្អែកលើបទពិសោធន៍ 20 ឆ្នាំនៃការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ យើងអាចផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយតែមួយកន្លែង រួមទាំងការផ្ទៀងផ្ទាត់ឧបករណ៍ ការណែនាំផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ និងការឆ្លើយតបរហ័សបន្ទាប់ពីការលក់ (ការគាំទ្របច្ចេកទេស 24 ម៉ោង + គ្រឿងបន្លាស់សំខាន់ៗបម្រុង) សម្រាប់ឧស្សាហកម្មផ្សេងៗគ្នាដូចជា អេឡិចត្រូនិច និងវេជ្ជសាស្ត្រ ហើយសន្យាថានឹងធានារយៈពេល 12 ខែ និងសេវាកម្មថែទាំ និងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងពេញមួយជីវិត។ ធានាថាឧបករណ៍របស់អតិថិជនតែងតែរក្សាបាននូវដំណើរការដំណើរការ និងស្ថេរភាពឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម។