ម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រច្រើនខ្សែសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមផុយស្រួយរឹងខ្លាំង SiC Sapphire
សេចក្តីផ្តើមអំពីម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រពហុខ្សែ
ម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រច្រើនខ្សែគឺជាប្រព័ន្ធកាត់ទំនើបដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការសម្ភារៈរឹង និងផុយស្រួយខ្លាំង។ តាមរយៈការដាក់ពង្រាយខ្សែស្រោបពេជ្រជាច្រើនស្របគ្នា ម៉ាស៊ីនអាចកាត់បន្ទះស្តើងៗច្រើនក្នុងពេលតែមួយ ដោយសម្រេចបានទាំងទិន្នផល និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ បច្ចេកវិទ្យានេះបានក្លាយជាឧបករណ៍សំខាន់មួយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដូចជា បន្ទះឈីប បន្ទះសូឡា បន្ទះសូឡា អំពូល LED និងសេរ៉ាមិចទំនើប ជាពិសេសសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមដូចជា SiC ត្បូងកណ្តៀង GaN ថ្ម quartz និងអាលុយមីញ៉ូម។
បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការកាត់ខ្សែតែមួយបែបប្រពៃណី ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធខ្សែច្រើនផ្តល់នូវចំណិតរាប់សិបទៅរាប់រយក្នុងមួយបាច់ ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលាវដ្តយ៉ាងច្រើន ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពសំប៉ែតដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (Ra < 0.5 μm) និងភាពជាក់លាក់នៃវិមាត្រ (±0.02 mm)។ ការរចនាម៉ូឌុលរបស់វារួមបញ្ចូលការរឹតបន្តឹងខ្សែដោយស្វ័យប្រវត្តិ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងស្នាដៃ និងការត្រួតពិនិត្យតាមអ៊ីនធឺណិត ដែលធានាបាននូវផលិតកម្មរយៈពេលវែង មានស្ថេរភាព និងស្វ័យប្រវត្តិកម្មពេញលេញ។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេសនៃម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រពហុខ្សែ
| វត្ថុ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស | វត្ថុ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស |
|---|---|---|---|
| ទំហំការងារអតិបរមា (ការ៉េ) | ២២០ × ២០០ × ៣៥០ ម.ម | ម៉ូទ័របើកបរ | ១៧.៨ គីឡូវ៉ាត់ × ២ |
| ទំហំការងារអតិបរមា (មូល) | Φ205 × 350 ម.ម | ម៉ូទ័របើកបរដោយខ្សែ | ១១,៨៦ គីឡូវ៉ាត់ × ២ |
| ចន្លោះ Spindle | Φ250 ±10 × 370 × 2 អ័ក្ស (ម.ម.) | ម៉ូទ័រលើកតុធ្វើការ | ២,៤២ គីឡូវ៉ាត់ × ១ |
| អ័ក្សសំខាន់ | ៦៥០ ម.ម. | ម៉ូទ័របង្វិល | ០,៨ គីឡូវ៉ាត់ × ១ |
| ល្បឿនដំណើរការខ្សែ | ១៥០០ ម៉ែត្រ/នាទី | ម៉ូទ័ររៀបចំ | ០,៤៥ គីឡូវ៉ាត់ × ២ |
| អង្កត់ផ្ចិតខ្សែ | Φ0.12–0.25 ម.ម | ម៉ូទ័រតានតឹង | ៤.១៥ គីឡូវ៉ាត់ × ២ |
| ល្បឿនលើក | ២២៥ ម.ម./នាទី | ម៉ូទ័រសម្រាប់ចាក់ដីល្បាប់ | ៧.៥ គីឡូវ៉ាត់ × ១ |
| ការបង្វិលតុអតិបរមា | ±១២° | សមត្ថភាពធុងសំរាម | ៣០០ លីត្រ |
| មុំយោល | ±៣° | លំហូរទឹកត្រជាក់ | ២០០ លីត្រ/នាទី |
| ប្រេកង់វិល | ~៣០ ដង/នាទី | ភាពត្រឹមត្រូវនៃសីតុណ្ហភាព | ±២ អង្សាសេ |
| អត្រាចំណី | ០,០១–៩,៩៩ ម.ម./នាទី | ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | ៣៣៥+២១០ (មម²) |
| អត្រាចំណីខ្សែ | ០.០១–៣០០ ម.ម./នាទី | ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ | ០,៤–០,៦ MPa |
| ទំហំម៉ាស៊ីន | ៣៥៥០ × ២២០០ × ៣០០០ ម.ម | ទម្ងន់ | ១៣,៥០០ គីឡូក្រាម |
យន្តការធ្វើការរបស់ម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រពហុខ្សែ
-
ចលនាកាត់ខ្សែច្រើន
ខ្សែពេជ្រច្រើនខ្សែធ្វើចលនាក្នុងល្បឿនសមកាលកម្មរហូតដល់ 1500 ម៉ែត្រ/នាទី។ រ៉កដែលមានការដឹកនាំយ៉ាងជាក់លាក់ និងការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងរង្វិលជុំបិទ (15–130 N) រក្សាខ្សែឲ្យមានស្ថេរភាព ដោយកាត់បន្ថយឱកាសនៃការបត់ឬបាក់។ -
ការផ្តល់ចំណី និងការកំណត់ទីតាំងឲ្យបានត្រឹមត្រូវ
ការកំណត់ទីតាំងដោយម៉ាស៊ីន servo សម្រេចបានភាពត្រឹមត្រូវ ±0.005 ម.ម។ ការតម្រឹមដោយឡាស៊ែរ ឬជំនួយមើលឃើញជាជម្រើសជួយបង្កើនលទ្ធផលសម្រាប់រាងស្មុគស្មាញ។ -
ការត្រជាក់ និងការដកយកកំទេចកំទីចេញ
ទឹកត្រជាក់សម្ពាធខ្ពស់ជួយលុបបន្ទះសៀគ្វីចេញជាបន្តបន្ទាប់ និងធ្វើឱ្យកន្លែងធ្វើការត្រជាក់ ដោយការពារការខូចខាតដោយកម្ដៅ។ ការច្រោះច្រើនដំណាក់កាលពន្យារអាយុកាលទឹកត្រជាក់ និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។ -
វេទិកាត្រួតពិនិត្យឆ្លាតវៃ
ឧបករណ៍បញ្ជា servo ដែលមានការឆ្លើយតបខ្ពស់ (<1 ms) កែតម្រូវល្បឿនចំណី ភាពតឹង និងល្បឿនខ្សែដោយថាមវន្ត។ ការគ្រប់គ្រងរូបមន្តរួមបញ្ចូលគ្នា និងការប្តូរប៉ារ៉ាម៉ែត្រដោយចុចតែម្តង ធ្វើឱ្យផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំមានភាពរលូន។
អត្ថប្រយោជន៍ស្នូលនៃម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រពហុខ្សែ
-
ផលិតភាពខ្ពស់
មានសមត្ថភាពកាត់បន្ទះសៀគ្វីចំនួន 50–200 បន្ទះក្នុងមួយការរត់ ជាមួយនឹងការខាតបង់ kerf <100 μm ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការប្រើប្រាស់សម្ភារៈរហូតដល់ 40%។ ទិន្នផលគឺ 5–10 ដងនៃប្រពព័ន្ធខ្សែតែមួយបែបប្រពៃណី។ -
ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់
ស្ថេរភាពភាពតានតឹងខ្សែក្នុងរង្វង់ ±0.5 N ធានានូវលទ្ធផលស៊ីសង្វាក់គ្នាលើវត្ថុធាតុផុយស្រួយជាច្រើន។ ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងនៅលើចំណុចប្រទាក់ HMI ទំហំ 10 អ៊ីញគាំទ្រដល់ការផ្ទុករូបមន្តធ្វើម្ហូប និងប្រតិបត្តិការពីចម្ងាយ។ -
ការសាងសង់ម៉ូឌុលដែលអាចបត់បែនបាន
ឆបគ្នាជាមួយអង្កត់ផ្ចិតខ្សែចាប់ពី 0.12–0.45 ម.ម សម្រាប់ដំណើរការកាត់ផ្សេងៗគ្នា។ ការគ្រប់គ្រងដោយមនុស្សយន្តជាជម្រើសអនុញ្ញាតឱ្យមានខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ។ -
ភាពជឿជាក់កម្រិតឧស្សាហកម្ម
ស៊ុមដែក/ដែកគោលដែលធន់នឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយ កាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយ (<0.01 mm)។ រ៉កណែនាំជាមួយនឹងថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច ឬកាបូអ៊ីដ ផ្តល់នូវអាយុកាលសេវាកម្មជាង 8000 ម៉ោង។

វាលកម្មវិធីនៃម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រពហុខ្សែ
-
ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ការកាត់ SiC សម្រាប់ម៉ូឌុលថាមពល EV ស្រទាប់ខាងក្រោម GaN សម្រាប់ឧបករណ៍ 5G។
-
ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យការកាត់បន្ទះស៊ីលីកុនល្បឿនលឿនជាមួយនឹងឯកសណ្ឋាន ±10 μm។
-
LED និងអុបទិកស្រទាប់ត្បូងកណ្តៀងសម្រាប់ធាតុអុបទិកអេពីតាក់ស៊ី និងធាតុអុបទិកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ជាមួយនឹងការច្រៀកគែម <20 μm។
-
សេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់៖ ការកែច្នៃអាលុយមីញ៉ូម AlN និងសម្ភារៈស្រដៀងគ្នាសម្រាប់សមាសធាតុអាកាសចរណ៍ និងការគ្រប់គ្រងកម្ដៅ។



សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – ម៉ាស៊ីនកាត់ពេជ្រច្រើនខ្សែ
សំណួរទី 1: តើអ្វីទៅជាគុណសម្បត្តិនៃការកាត់ខ្សែច្រើនបើធៀបនឹងម៉ាស៊ីនកាត់ខ្សែតែមួយ?
ក៖ ប្រព័ន្ធពហុខ្សែអាចកាត់បន្ទះសៀគ្វីរាប់សិបទៅរាប់រយក្នុងពេលដំណាលគ្នា ដែលជំរុញប្រសិទ្ធភាពពី 5-10 ដង។ ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈក៏ខ្ពស់ជាងដែរ ជាមួយនឹងការបាត់បង់ kerf ក្រោម 100 μm ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
សំណួរទី 2: តើសម្ភារៈប្រភេទណាខ្លះដែលអាចកែច្នៃបាន?
ក: ម៉ាស៊ីននេះត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់វត្ថុធាតុរឹង និងផុយស្រួយ រួមទាំងស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ត្បូងកណ្តៀង ហ្គាលីញ៉ូមនីទ្រីត (GaN) ក្វាតស៍ អាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) និងអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត (AlN)។
សំណួរទី 3: តើភាពត្រឹមត្រូវ និងគុណភាពផ្ទៃដែលអាចសម្រេចបានគឺជាអ្វី?
ក: ភាពរដុបនៃផ្ទៃអាចឡើងដល់ Ra <0.5 μm ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ ±0.02 mm។ បន្ទះច្រៀកគែមអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដល់ <20 μm ដែលបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអុបតូអេឡិចត្រូនិច។
សំណួរទី៤៖ តើដំណើរការកាត់បណ្តាលឱ្យមានស្នាមប្រេះ ឬខូចខាតដែរឬទេ?
ក: ជាមួយនឹងទឹកត្រជាក់សម្ពាធខ្ពស់ និងការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងរង្វិលជុំបិទជិត ហានិភ័យនៃការប្រេះតូចៗ និងការខូចខាតដោយសារភាពតានតឹងត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា ដែលធានាបាននូវភាពសុចរិតដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃបន្ទះ wafer។









