គុណសម្បត្តិនៃឆ្លងកាត់កញ្ចក់ (TGV)និងដំណើរការ Through Silicon Via (TSV) លើ TGV ភាគច្រើនមានដូចជា៖
(1) លក្ខណៈអគ្គិសនីប្រេកង់ខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះ។ សម្ភារៈកញ្ចក់គឺជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ ថេរឌីអេឡិចត្រិចមានត្រឹមតែប្រហែល 1/3 នៃសម្ភារៈស៊ីលីកុន ហើយកត្តាបាត់បង់គឺទាបជាងសម្ភារៈស៊ីលីកុន 2-3 លំដាប់នៃរ៉ិចទ័រ ដែលធ្វើឱ្យការបាត់បង់ស្រទាប់ខាងក្រោម និងផលប៉ះពាល់ប៉ារ៉ាស៊ីតត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង និងធានានូវភាពសុចរិតនៃសញ្ញាបញ្ជូន។
(២)ស្រទាប់កញ្ចក់ទំហំធំ និងស្តើងបំផុតងាយស្រួលរកណាស់។ Corning, Asahi និង SCHOTT ព្រមទាំងក្រុមហ៊ុនផលិតកញ្ចក់ផ្សេងទៀតអាចផ្គត់ផ្គង់កញ្ចក់បន្ទះទំហំធំខ្លាំង (>2m × 2m) និងស្តើងខ្លាំង (<50µm) ព្រមទាំងសម្ភារៈកញ្ចក់ដែលអាចបត់បែនបានស្តើងខ្លាំង។
៣) តម្លៃទាប។ ទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការចូលទៅកាន់បន្ទះកញ្ចក់ស្តើងខ្លាំងទំហំធំយ៉ាងងាយស្រួល ហើយមិនតម្រូវឱ្យមានការដាក់ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ទេ តម្លៃផលិតបន្ទះអាដាប់ទ័រកញ្ចក់គឺប្រហែល 1/8 នៃបន្ទះអាដាប់ទ័រដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុន។
៤) ដំណើរការសាមញ្ញ។ មិនចាំបាច់ដាក់ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃ TGV ទេ ហើយមិនចាំបាច់ធ្វើឱ្យបន្ទះអាដាប់ទ័រស្តើងខ្លាំងស្តើងនោះទេ។
(5) ស្ថេរភាពមេកានិចខ្លាំង។ សូម្បីតែពេលដែលកម្រាស់នៃបន្ទះអាដាប់ទ័រមានតិចជាង 100µm ក៏ដោយ ក៏ការរួញនៅតែតូចដែរ។
(6) កម្មវិធីជាច្រើនប្រភេទ គឺជាបច្ចេកវិទ្យាភ្ជាប់បណ្តោយដែលកំពុងលេចចេញមក ដែលត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងវិស័យវេចខ្ចប់កម្រិតវ៉ាហ្វឺរ ដើម្បីសម្រេចបានចម្ងាយខ្លីបំផុតរវាងវ៉ាហ្វឺរ និងវ៉ាហ្វឺរ ទីលានអប្បបរមានៃការតភ្ជាប់ផ្តល់នូវផ្លូវបច្ចេកវិទ្យាថ្មី ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី កម្ដៅ និងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ នៅក្នុងបន្ទះឈីប RF ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS កម្រិតខ្ពស់ ការរួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងផ្នែកផ្សេងទៀតដែលមានគុណសម្បត្តិពិសេស គឺជាបន្ទះឈីបប្រេកង់ខ្ពស់ 5G ជំនាន់ក្រោយ 6G 3D វាគឺជាជម្រើសដំបូងមួយសម្រាប់ការវេចខ្ចប់ 3D នៃបន្ទះឈីបប្រេកង់ខ្ពស់ 5G និង 6G ជំនាន់ក្រោយ។
ដំណើរការផលិតផ្សិតរបស់ TGV ភាគច្រើនរួមមានការបាញ់ខ្សាច់ ការខួងដោយអ៊ុលត្រាសោន ការឆ្លាក់សើម ការឆ្លាក់អ៊ីយ៉ុងប្រតិកម្មជ្រៅ ការឆ្លាក់ដោយពន្លឺ ការឆ្លាក់ដោយឡាស៊ែរ ការឆ្លាក់ជម្រៅដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរ និងការបង្កើតរន្ធបញ្ចេញដោយការផ្តោតអារម្មណ៍។
លទ្ធផលស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ថ្មីៗបង្ហាញថា បច្ចេកវិទ្យានេះអាចរៀបចំរន្ធឆ្លងកាត់ និងរន្ធខ្វាក់ 5:1 ជាមួយនឹងសមាមាត្រជម្រៅទៅនឹងទទឹង 20:1 និងមានរូបរាងល្អ។ ការឆ្លាក់ជ្រៅដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពរដុបលើផ្ទៃតូច គឺជាវិធីសាស្ត្រដែលត្រូវបានសិក្សាច្រើនបំផុតនាពេលបច្ចុប្បន្ន។ ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 1 មានស្នាមប្រេះជាក់ស្តែងនៅជុំវិញការខួងឡាស៊ែរធម្មតា ខណៈដែលជញ្ជាំងជុំវិញ និងចំហៀងនៃការឆ្លាក់ជ្រៅដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរគឺស្អាត និងរលោង។
ដំណើរការកែច្នៃនៃរថភ្លើងល្បឿនលឿន TGVឧបករណ៍បញ្ចូលស្រទាប់ការពារត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 2។ គ្រោងការណ៍ទូទៅគឺត្រូវខួងរន្ធលើស្រទាប់កញ្ចក់ជាមុនសិន រួចដាក់ស្រទាប់របាំង និងស្រទាប់គ្រាប់ពូជលើជញ្ជាំងចំហៀង និងផ្ទៃ។ ស្រទាប់របាំងការពារការសាយភាយនៃ Cu ទៅស្រទាប់កញ្ចក់ ខណៈពេលដែលបង្កើនភាពស្អិតនៃស្រទាប់ទាំងពីរ ជាការពិតណាស់ ក្នុងការសិក្សាមួយចំនួនក៏បានរកឃើញថា ស្រទាប់របាំងមិនចាំបាច់ទេ។ បន្ទាប់មក Cu ត្រូវបានដាក់ដោយការស្រោបដោយអគ្គិសនី បន្ទាប់មកដុតឲ្យរឹង ហើយស្រទាប់ Cu ត្រូវបានយកចេញដោយ CMP។ ជាចុងក្រោយ ស្រទាប់តភ្ជាប់ខ្សែភ្លើង RDL ត្រូវបានរៀបចំដោយការបោះពុម្ពថ្នាំកូត PVD ហើយស្រទាប់អសកម្មត្រូវបានបង្កើតឡើងបន្ទាប់ពីកាវត្រូវបានយកចេញ។
(ក) ការរៀបចំបន្ទះស្តើង (ខ) ការបង្កើត TGV (គ) ការស្រោបលោហៈដោយអគ្គិសនីទាំងសងខាង – ការដាក់ទង់ដែង (ឃ) ការដុត និង ការប៉ូលាគីមី-មេកានិច CMP ការដកស្រទាប់ទង់ដែងចេញ (ង) ថ្នាំកូត PVD និង លីតូក្រាហ្វី (ច) ការដាក់ស្រទាប់តភ្ជាប់ខ្សែភ្លើង RDL (ឆ) ការដកកាវចេញ និងការឆ្លាក់ Cu/Ti (ជ) ការបង្កើតស្រទាប់អសកម្ម។
សរុបមកកញ្ចក់ឆ្លងកាត់រន្ធ (TGV)ទស្សនវិស័យនៃការអនុវត្តគឺទូលំទូលាយ ហើយទីផ្សារក្នុងស្រុកបច្ចុប្បន្នកំពុងស្ថិតក្នុងដំណាក់កាលកើនឡើង ចាប់ពីឧបករណ៍រហូតដល់ការរចនាផលិតផល និងអត្រាកំណើនស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍គឺខ្ពស់ជាងមធ្យមភាគសកល។
ប្រសិនបើមានការបំពានសូមទាក់ទងលុបចេញ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៤