ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័រ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងសូម្បីតែឧស្សាហកម្ម photovoltaic តម្រូវការសម្រាប់គុណភាពផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម wafer ឬសន្លឹក epitaxial ក៏មានភាពតឹងរ៉ឹងខ្លាំងផងដែរ។ ដូច្នេះ តើតម្រូវការគុណភាពសម្រាប់ wafer មានអ្វីខ្លះ?បន្ទះសូហ្វាយឺរជាឧទាហរណ៍ តើសូចនាករអ្វីខ្លះដែលអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីវាយតម្លៃគុណភាពផ្ទៃនៃបន្ទះសៀគ្វី?
តើសូចនាករវាយតម្លៃវ៉ាហ្វឺរមានអ្វីខ្លះ?
សូចនាករទាំងបី
ចំពោះបន្ទះស៊ីលីកុន សូចនាករវាយតម្លៃរបស់វាគឺ គម្លាតកម្រាស់សរុប (TTV) ការពត់ (Bow) និងការកោង (Warp)។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងបីនេះឆ្លុះបញ្ចាំងពីភាពរាបស្មើ និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់នៃបន្ទះស៊ីលីកុន ហើយអាចវាស់កម្រិតនៃរលកនៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ ភាពកោងអាចត្រូវបានផ្សំជាមួយនឹងភាពរាបស្មើ ដើម្បីវាយតម្លៃគុណភាពនៃផ្ទៃបន្ទះស៊ីលីកុន។
តើ TTV, BOW, Warp ជាអ្វី?
ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប (TTV)
TTV គឺជាភាពខុសគ្នារវាងកម្រាស់អតិបរមា និងអប្បបរមានៃបន្ទះសៀគ្វី។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនេះគឺជាសន្ទស្សន៍សំខាន់មួយដែលប្រើដើម្បីវាស់ស្ទង់ឯកសណ្ឋានកម្រាស់បន្ទះសៀគ្វី។ នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីពាក់កណ្តាលចរន្តអគ្គិសនី កម្រាស់នៃបន្ទះសៀគ្វីត្រូវតែមានឯកសណ្ឋានខ្លាំងលើផ្ទៃទាំងមូល។ ការវាស់វែងជាធម្មតាត្រូវបានធ្វើឡើងនៅទីតាំងចំនួនប្រាំនៅលើបន្ទះសៀគ្វី ហើយភាពខុសគ្នាត្រូវបានគណនា។ នៅទីបំផុត តម្លៃនេះគឺជាមូលដ្ឋានសំខាន់សម្រាប់វិនិច្ឆ័យគុណភាពនៃបន្ទះសៀគ្វី។
ធ្នូ
ធ្នូក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រសំដៅទៅលើការពត់នៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ដែលធ្វើឲ្យចម្ងាយរវាងចំណុចកណ្តាលនៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលមិនមានការគៀប និងប្លង់យោងមានសេរីភាព។ ពាក្យនេះទំនងជាមកពីការពិពណ៌នាអំពីរូបរាងរបស់វត្ថុមួយនៅពេលវាត្រូវបានពត់ ដូចជារូបរាងកោងនៃធ្នូ។ តម្លៃធ្នូត្រូវបានកំណត់ដោយការវាស់គម្លាតរវាងចំណុចកណ្តាល និងគែមនៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរស៊ីលីកុន។ តម្លៃនេះជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញជាមីក្រូម៉ែត្រ (µm)។
កោង
រួញជាលក្ខណៈសកលនៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ដែលវាស់ពីភាពខុសគ្នារវាងចម្ងាយអតិបរមា និងអប្បបរមារវាងចំណុចកណ្តាលនៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលមិនមានការគៀបដោយសេរី និងប្លង់យោង។ តំណាងឲ្យចម្ងាយពីផ្ទៃនៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរស៊ីលីកុនទៅប្លង់នោះ។
តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាង TTV, Bow, និង Warp?
TTV ផ្តោតលើការផ្លាស់ប្តូរកម្រាស់ ហើយមិនពាក់ព័ន្ធនឹងការពត់កោង ឬការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះ wafer នោះទេ។
ធ្នូផ្តោតលើការពត់ទាំងមូល ដោយពិចារណាជាចម្បងលើការពត់នៃចំណុចកណ្តាល និងគែម។
ការរួញមានលក្ខណៈទូលំទូលាយជាងមុន រួមទាំងការពត់កោង និងការរមួលនៃផ្ទៃបន្ទះទាំងមូល។
ទោះបីជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងបីនេះទាក់ទងនឹងរូបរាង និងលក្ខណៈសម្បត្តិធរណីមាត្រនៃបន្ទះស៊ីលីកុនក៏ដោយ ក៏វាត្រូវបានវាស់វែង និងពិពណ៌នាខុសគ្នា ហើយផលប៉ះពាល់របស់វាទៅលើដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុនក៏ខុសគ្នាដែរ។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងបីកាន់តែតូច កាន់តែល្អ ហើយប៉ារ៉ាម៉ែត្រកាន់តែធំ ផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានកាន់តែខ្លាំងទៅលើដំណើរការ semiconductor។ ដូច្នេះ ក្នុងនាមជាអ្នកអនុវត្ត semiconductor យើងត្រូវតែដឹងពីសារៈសំខាន់នៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រទម្រង់ wafer សម្រាប់ដំណើរការទាំងមូល ធ្វើដំណើរការ semiconductor ត្រូវតែយកចិត្តទុកដាក់លើព័ត៌មានលម្អិត។
(ការត្រួតពិនិត្យ)
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤