តើ​ការ​បំប្លែង​បន្ទះ​ស្តើង​ជា​អ្វី ហើយ​តើ​វា​អាច​ដោះស្រាយ​បាន​ដោយ​របៀប​ណា?

ការកាត់បន្ទះសៀគ្វីបន្ទះស្តើងៗជាដំណើរការដ៏សំខាន់មួយក្នុងការផលិតបន្ទះឈីបអេឡិចត្រូនិច ហើយមានផលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាព និងដំណើរការបន្ទះឈីបចុងក្រោយ។ នៅក្នុងការផលិតជាក់ស្តែងការ​ច្រឹប​បន្ទះ​ស្តើង​លើ​បន្ទះ​ស្តើង—ជាពិសេសការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាង​មុខនិងការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាងក្រោយ—គឺជាពិការភាពញឹកញាប់ និងធ្ងន់ធ្ងរដែលកំណត់យ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងទិន្នផល។ ការប្រេះស្រាំមិនត្រឹមតែប៉ះពាល់ដល់រូបរាងរបស់បន្ទះសៀគ្វីប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតដែលមិនអាចត្រឡប់វិញបានចំពោះដំណើរការអគ្គិសនី និងភាពជឿជាក់ខាងមេកានិចរបស់វាផងដែរ។

និយមន័យ និងប្រភេទនៃការច្រឹបបន្ទះសៀគ្វី

ការ​ច្រឹប​បន្ទះ​ស្តើង​សំដៅ​ទៅ​លើស្នាមប្រេះ ឬការបាក់សម្ភារៈនៅគែមនៃបន្ទះសៀគ្វីកំឡុងពេលដំណើរការកាត់ជាដុំៗជាទូទៅវាត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាង​មុខនិងការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាងក្រោយ:

• ការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាង​មុខកើតឡើងនៅលើផ្ទៃសកម្មនៃបន្ទះឈីបដែលមានលំនាំសៀគ្វី។ ប្រសិនបើបន្ទះឈីបលាតសន្ធឹងចូលទៅក្នុងតំបន់សៀគ្វី វាអាចធ្វើឱ្យខូចដំណើរការអគ្គិសនី និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។

• ការ​ឆ្លាក់​ផ្នែក​ខាងក្រោយជាធម្មតាកើតឡើងបន្ទាប់ពីការស្តើងនៃបន្ទះ wafer ដែលការបាក់ឆ្អឹងលេចឡើងនៅក្នុងដី ឬស្រទាប់ដែលខូចនៅផ្នែកខាងក្រោយ។

ពីទស្សនៈរចនាសម្ព័ន្ធមួយ,ការប្រេះស្រាំផ្នែកខាងមុខច្រើនតែបណ្តាលមកពីការបាក់ឆ្អឹងនៅក្នុងស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ី ឬស្រទាប់ផ្ទៃ។, ខណៈពេលដែលស្នាមប្រេះផ្នែកខាងក្រោយកើតចេញពីស្រទាប់ខូចខាតដែលបង្កើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលស្តើងបន្ទះសៀគ្វី និងការដកយកសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមចេញ។.

ការ​ច្រេះ​ផ្នែក​ខាង​មុខ​អាច​ត្រូវ​បាន​ចាត់​ថ្នាក់​បន្ថែម​ទៀត​ជា​បី​ប្រភេទ៖

1. ការ​ច្រឹប​ដំបូង– ជាធម្មតាកើតឡើងក្នុងដំណាក់កាលមុនកាត់ នៅពេលដែលដាវថ្មីត្រូវបានដំឡើង ដែលត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយការខូចខាតគែមមិនទៀងទាត់។

2. ការ​កាត់​បន្ទះ​តាម​កាលកំណត់ (វដ្ត)– លេចឡើងម្តងហើយម្តងទៀត និងទៀងទាត់ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការកាត់ជាបន្តបន្ទាប់។

3. ការ​ច្រេះ​មិន​ប្រក្រតី– បណ្តាលមកពីការរត់ចេញនៃផ្លែកាំបិត អត្រាចំណីមិនត្រឹមត្រូវ ជម្រៅកាត់លើស ការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់បន្ទះស្តើង ឬការខូចទ្រង់ទ្រាយ។

មូលហេតុចម្បងនៃការប្រេះស្រាំនៃបន្ទះសៀគ្វី

១. មូលហេតុនៃការប្រេះដំបូង

• ភាពត្រឹមត្រូវនៃការដំឡើងកាំបិតមិនគ្រប់គ្រាន់

• កាំបិតមិនត្រូវបានតម្រង់ឱ្យសមល្អទៅជារាងរង្វង់ល្អឥតខ្ចោះទេ

• ការប៉ះពាល់គ្រាប់ពេជ្រមិនពេញលេញ

ប្រសិនបើ​ផ្លែ​ពេជ្រ​ត្រូវ​បាន​ដំឡើង​ដោយ​ផ្អៀង​បន្តិច កម្លាំង​កាត់​មិន​ស្មើគ្នា​នឹង​កើតឡើង។ ផ្លែ​ពេជ្រ​ថ្មី​ដែល​មិន​ត្រូវ​បាន​រៀបចំ​គ្រប់គ្រាន់​នឹង​បង្ហាញ​ពី​ការ​ផ្តោត​អារម្មណ៍​មិន​ល្អ ដែល​នាំ​ឱ្យ​ផ្លូវ​កាត់​ខុស។ ប្រសិនបើ​គ្រាប់​ពេជ្រ​មិន​ត្រូវ​បាន​លាតត្រដាង​ទាំងស្រុង​ក្នុង​ដំណាក់កាល​មុន​កាត់​ទេ ចន្លោះ​បន្ទះ​ដែល​មាន​ប្រសិទ្ធភាព​នឹង​បរាជ័យ​ក្នុង​ការ​បង្កើត ដែល​បង្កើន​លទ្ធភាព​នៃ​ការ​ប្រេះ។

2. មូលហេតុនៃការច្រេះតាមកាលកំណត់

• ការខូចខាតដល់ផ្ទៃនៃកាំបិត

• ភាគល្អិតពេជ្រទំហំធំដែលលេចចេញមក

• ការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិតបរទេស (ជ័រ កំទេចកំទីលោហៈ។ល។)

អំឡុងពេលកាត់ ស្នាមរន្ធតូចៗអាចកើតឡើងដោយសារតែផលប៉ះពាល់នៃបន្ទះសៀគ្វី។ គ្រាប់ពេជ្រធំៗដែលលេចចេញមកប្រមូលផ្តុំភាពតានតឹងក្នុងតំបន់ ខណៈពេលដែលសំណល់ ឬសារធាតុបំពុលបរទេសនៅលើផ្ទៃកាំបិតអាចរំខានដល់ស្ថេរភាពនៃការកាត់។

៣. មូលហេតុនៃការប្រេះស្រាំមិនប្រក្រតី

• ការរត់ចេញរបស់កាំបិតដោយសារតុល្យភាពថាមវន្តមិនល្អក្នុងល្បឿនលឿន

• អត្រាចំណីមិនត្រឹមត្រូវ ឬជម្រៅកាត់លើស

• ការផ្លាស់ទីលំនៅ ឬការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃបន្ទះឈើកំឡុងពេលកាត់

កត្តាទាំងនេះនាំឱ្យមានកម្លាំងកាត់មិនស្ថិតស្ថេរ និងគម្លាតពីផ្លូវកាត់ដែលបានកំណត់ជាមុន ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបាក់គែមដោយផ្ទាល់។

៤. មូលហេតុនៃការប្រេះផ្នែកខាងក្រោយ

ការ​ច្រេះ​ផ្នែក​ខាងក្រោយ​ភាគច្រើន​កើតចេញពីការប្រមូលផ្តុំភាពតានតឹងក្នុងអំឡុងពេលស្តើង wafer និងការរួញ wafer.

ក្នុងអំឡុងពេលស្តើង ស្រទាប់ដែលខូចខាតមួយបង្កើតនៅផ្នែកខាងក្រោយ ដែលរំខានដល់រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ និងបង្កើតភាពតានតឹងខាងក្នុង។ ក្នុងអំឡុងពេលកាត់ជាដុំៗ ការបញ្ចេញភាពតានតឹងនាំឱ្យមានការចាប់ផ្តើមប្រេះតូចៗ ដែលរីករាលដាលបន្តិចម្តងៗទៅជាការបាក់ផ្នែកខាងក្រោយធំៗ។ នៅពេលដែលកម្រាស់បន្ទះស្តើងថយចុះ ភាពធន់នឹងភាពតានតឹងរបស់វាចុះខ្សោយ ហើយការកោងកើនឡើង ដែលធ្វើឱ្យការប្រេះផ្នែកខាងក្រោយទំនងជាកើតឡើង។

ផលប៉ះពាល់នៃការប្រើបន្ទះឈីបលើបន្ទះឈីប និងវិធានការទប់ទល់

ផលប៉ះពាល់លើដំណើរការបន្ទះឈីប

ការច្រេះកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងកម្លាំងមេកានិចសូម្បីតែស្នាមប្រេះគែមតូចៗក៏អាចបន្តរីករាលដាលក្នុងអំឡុងពេលវេចខ្ចប់ ឬការប្រើប្រាស់ជាក់ស្តែង ដែលនៅទីបំផុតនាំឱ្យមានការបាក់បន្ទះឈីប និងការខូចខាតអគ្គិសនី។ ប្រសិនបើបន្ទះឈីបផ្នែកខាងមុខឈ្លានពានតំបន់សៀគ្វី វាធ្វើឱ្យខូចដល់ដំណើរការអគ្គិសនី និងភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍រយៈពេលវែង។

ដំណោះស្រាយដ៏មានប្រសិទ្ធភាពសម្រាប់ការច្រោះបន្ទះសៀគ្វី

១. ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ

ល្បឿនកាត់ អត្រាចំណី និងជម្រៅកាត់គួរតែត្រូវបានកែតម្រូវដោយថាមវន្តដោយផ្អែកលើផ្ទៃបន្ទះស្តើង ប្រភេទសម្ភារៈ កម្រាស់ និងវឌ្ឍនភាពកាត់ ដើម្បីកាត់បន្ថយកំហាប់ភាពតានតឹង។
ដោយការរួមបញ្ចូលគ្នាចក្ខុវិស័យម៉ាស៊ីន និងការត្រួតពិនិត្យផ្អែកលើ AIស្ថានភាព​ផ្លែ​កាំបិត​ក្នុង​ពេល​ជាក់ស្តែង និង​ឥរិយាបថ​នៃ​ការ​ច្រៀក​អាច​ត្រូវ​បាន​រកឃើញ ហើយ​ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ​ដំណើរការ​ត្រូវ​បាន​កែតម្រូវ​ដោយ​ស្វ័យប្រវត្តិ​សម្រាប់​ការ​គ្រប់គ្រង​ដ៏​ច្បាស់លាស់។

២. ការថែទាំ និងការគ្រប់គ្រងឧបករណ៍

ការថែទាំម៉ាស៊ីនកាត់ជាទៀងទាត់គឺមានសារៈសំខាន់ដើម្បីធានាថា៖

• ភាពជាក់លាក់នៃ Spindle

• ស្ថេរភាពប្រព័ន្ធបញ្ជូន

• ប្រសិទ្ធភាពប្រព័ន្ធត្រជាក់

ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអាយុកាលរបស់ដាវគួរតែត្រូវបានអនុវត្ត ដើម្បីធានាថាដាវដែលខូចធ្ងន់ធ្ងរត្រូវបានជំនួស មុនពេលការធ្លាក់ចុះនៃដំណើរការបណ្តាលឱ្យប្រេះ។

៣. ការជ្រើសរើស និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃកាំបិត

លក្ខណៈសម្បត្តិនៃកាំបិតដូចជាទំហំគ្រាប់ពេជ្រ ភាពរឹងនៃចំណង និងដង់ស៊ីតេគ្រាប់ពេជ្រមានឥទ្ធិពលខ្លាំងទៅលើឥរិយាបថនៃការច្រេះ៖

• គ្រាប់ពេជ្រធំជាងនេះបង្កើនការប្រេះផ្នែកខាងមុខ។

• គ្រាប់​តូចៗ​កាត់បន្ថយ​ការ​ប្រេះ ប៉ុន្តែ​ប្រសិទ្ធភាព​កាត់​ទាប។

• ដង់ស៊ីតេ​គ្រាប់​ទាប​កាត់បន្ថយ​ការ​ប្រេះ ប៉ុន្តែ​ធ្វើឱ្យ​អាយុកាល​ឧបករណ៍​ខ្លី​។

• សម្ភារៈ​ភ្ជាប់​ទន់​ជាង​មុន​កាត់​បន្ថយ​ការ​ប្រេះ ប៉ុន្តែ​បង្កើនល្បឿន​ការ​ពាក់។

សម្រាប់ឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនទំហំគ្រាប់ពេជ្រគឺជាកត្តាសំខាន់បំផុតការជ្រើសរើស​ដាវ​ដែល​មាន​គុណភាព​ខ្ពស់​ដែល​មាន​គ្រាប់​ធំៗ​តិចតួច​បំផុត និង​ការគ្រប់គ្រង​ទំហំ​គ្រាប់​តឹង​ណែន​ជួយ​ទប់ស្កាត់​ការ​ប្រេះ​នៅ​ផ្នែក​ខាងមុខ​បាន​យ៉ាង​មាន​ប្រសិទ្ធភាព ខណៈ​ពេល​ដែល​រក្សា​ការគ្រប់គ្រង​ថ្លៃដើម​បាន​យ៉ាង​ល្អ។

៤. វិធានការគ្រប់គ្រងការប្រេះបែកផ្នែកខាងក្រោយ

យុទ្ធសាស្ត្រសំខាន់ៗរួមមាន៖

• ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពល្បឿន spindle

• ការជ្រើសរើសសំណឹកពេជ្រដែលមានគ្រាប់ល្អិតល្អន់

• ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈភ្ជាប់ទន់ និងកំហាប់សំណឹកទាប

• ធានាបាននូវការដំឡើងដាវយ៉ាងច្បាស់លាស់ និងរំញ័ររបស់ spindle ដែលមានស្ថេរភាព

ល្បឿនបង្វិលខ្ពស់ ឬទាបពេក សុទ្ធតែបង្កើនហានិភ័យនៃការបាក់ផ្នែកខាងក្រោយ។ ការផ្អៀងរបស់ផ្លែកាំបិត ឬរំញ័ររបស់ស្ពីនអាចបណ្តាលឱ្យមានការប្រេះផ្នែកខាងក្រោយក្នុងទំហំធំ។ សម្រាប់បន្ទះស្តើងខ្លាំងការព្យាបាលក្រោយការព្យាបាលដូចជា CMP (ការប៉ូលាដោយគីមី) ការឆ្លាក់ស្ងួត និងការឆ្លាក់ដោយគីមីសើមជួយលុបស្រទាប់ខូចខាតដែលនៅសេសសល់ បញ្ចេញភាពតានតឹងខាងក្នុង កាត់បន្ថយការកោង និងបង្កើនកម្លាំងបន្ទះឈីបយ៉ាងសំខាន់។

៥. បច្ចេកវិទ្យាកាត់កម្រិតខ្ពស់

វិធីសាស្ត្រកាត់ដែលមិនប៉ះពាល់ និងភាពតានតឹងទាបដែលកំពុងលេចចេញមកផ្តល់នូវភាពប្រសើរឡើងបន្ថែមទៀត៖

• ការកាត់ឡាស៊ែរកាត់បន្ថយ​ការ​ប៉ះ​មេកានិច និង​កាត់បន្ថយ​ការ​ប្រេះ​តាមរយៈ​ដំណើរការ​ដង់ស៊ីតេ​ថាមពល​ខ្ពស់។

• ការកាត់ជាដុំៗដោយប្រើទឹកប្រើប្រាស់ទឹកសម្ពាធខ្ពស់លាយជាមួយសារធាតុសំណឹកតូចៗ ដែលកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ និងមេកានិចបានយ៉ាងច្រើន។

ការពង្រឹងការគ្រប់គ្រងគុណភាព និងអធិការកិច្ច

ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹងមួយគួរតែត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មទាំងមូល — ចាប់ពីការត្រួតពិនិត្យវត្ថុធាតុដើមរហូតដល់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ផលិតផលចុងក្រោយ។ ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាមីក្រូទស្សន៍អុបទិក និងមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុងស្កេន (SEM)គួរតែត្រូវបានប្រើដើម្បីពិនិត្យយ៉ាងហ្មត់ចត់នូវបន្ទះបន្ទះបន្ទាប់ពីការហាន់ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការរកឃើញដំបូង និងកែតម្រូវពិការភាពនៃការប្រេះ។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការ​បែក​បន្ទះ​បន្ទះ​ស្តើង​គឺជា​ពិការភាព​ស្មុគស្មាញ​ និង​ច្រើន​កត្តា​ដែល​ពាក់ព័ន្ធ​នឹងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ ស្ថានភាពឧបករណ៍ លក្ខណៈសម្បត្តិរបស់កាំបិត ភាពតានតឹងនៃបន្ទះសៀគ្វី និងការគ្រប់គ្រងគុណភាពមានតែតាមរយៈការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពជាប្រព័ន្ធនៅក្នុងគ្រប់វិស័យទាំងអស់នេះទេ ទើបអាចគ្រប់គ្រងការកែច្នៃបន្ទះឈីបបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព — ដោយហេតុនេះអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងទិន្នផលផលិតកម្ម ភាពជឿជាក់នៃបន្ទះឈីប និងដំណើរការឧបករណ៍ទាំងមូល.