ឧបករណ៍ទប់លំនឹង/ចុងសមសេរ៉ាមិច SiC – ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់កម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ឧបករណ៍ចាប់ដៃ/ឧបករណ៍ចាប់ចុងដែកសេរ៉ាមិច SiC – ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់កម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ដៃសមសេរ៉ាមិច SiC ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ជាញឹកញាប់ថាជាឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច គឺជាសមាសធាតុគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់ដែលមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូន ការតម្រឹម និងការកំណត់ទីតាំងក្នុងឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ជាពិសេសក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ ផលិតដោយប្រើសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សមាសធាតុនេះរួមបញ្ចូលគ្នានូវកម្លាំងមេកានិចពិសេស ការពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត និងភាពធន់ខ្ពស់ចំពោះការឆក់កម្ដៅ និងការច្រេះ។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផល

មិនដូចឧបករណ៍បញ្ចប់បែបប្រពៃណីដែលផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក ឬសូម្បីតែរ៉ែថ្មខៀវទេ ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC ផ្តល់នូវដំណើរការដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលី បន្ទប់ស្អាត និងបរិយាកាសដំណើរការដ៏លំបាក ដែលធ្វើឱ្យពួកវាក្លាយជាផ្នែកសំខាន់មួយរបស់មនុស្សយន្តដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីជំនាន់ក្រោយ។ ជាមួយនឹងតម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់ការផលិតដែលគ្មានការបំពុល និងការអត់ធ្មត់កាន់តែតឹងរ៉ឹងក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចកំពុងក្លាយជាស្តង់ដារឧស្សាហកម្មយ៉ាងឆាប់រហ័ស។

គោលការណ៍ផលិតកម្ម

ការផលិតនៃឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiCពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការមួយចំនួនដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលធានាបានទាំងដំណើរការ និងភាពធន់។ ដំណើរការសំខាន់ពីរត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាធម្មតា៖

ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលមានប្រតិកម្ម (RB-SiC)

នៅក្នុងដំណើរការនេះ ផ្លាស្ទិចដែលផលិតពីម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីត និងសារធាតុចងត្រូវបានជ្រៀតចូលជាមួយស៊ីលីកុនរលាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (~1500°C) ដែលមានប្រតិកម្មជាមួយកាបូនដែលនៅសេសសល់ ដើម្បីបង្កើតជាសមាសធាតុ SiC-Si ក្រាស់ និងរឹង។ វិធីសាស្ត្រនេះផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងមានប្រសិទ្ធភាពចំណាយសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។

ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដស៊ីនធឺរគ្មានសម្ពាធ (SSiC)

SSiC ត្រូវបានផលិតឡើងដោយការដុតម្សៅ SiC ដ៏ល្អិតល្អន់ និងមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុត (>2000°C) ដោយមិនប្រើសារធាតុបន្ថែម ឬដំណាក់កាលចង។ នេះបណ្តាលឱ្យផលិតផលមានដង់ស៊ីតេជិត 100% និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកម្ដៅខ្ពស់បំផុតដែលមានក្នុងចំណោមវត្ថុធាតុដើម SiC។ វាល្អសម្រាប់កម្មវិធីដោះស្រាយបន្ទះ wafer ដ៏សំខាន់បំផុត។

ការកែច្នៃក្រោយ

ការកែច្នៃ CNC ដ៏ជាក់លាក់៖ សម្រេចបានភាពរាបស្មើ និងភាពស្របគ្នាខ្ពស់។
ការបញ្ចប់ផ្ទៃការប៉ូលាពេជ្រកាត់បន្ថយភាពរដុបលើផ្ទៃមកត្រឹម <0.02 µm។
ការត្រួតពិនិត្យ៖ វិធីសាស្ត្រអន្តរាគមន៍អុបទិក CMM និងការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លាញ ត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់បំណែកនីមួយៗ។

ជំហានទាំងនេះធានាថាសារធាតុបញ្ចប់ SiCផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់បន្ទះ wafer ដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា ភាពរាបស្មើដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការបង្កើតភាគល្អិតតិចតួចបំផុត។

លក្ខណៈពិសេស និងអត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗ

លក្ខណៈពិសេស	ការពិពណ៌នា
ភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង	ភាពរឹងរបស់ Vickers > 2500 HV ធន់នឹងការពាក់ និងការប្រេះ។
ការពង្រីកកម្ដៅទាប	CTE ~4.5×10⁻⁶/K ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានស្ថេរភាពវិមាត្រក្នុងវដ្តកម្ដៅ។
ភាពអសកម្មគីមី	ធន់នឹង HF, HCl, ឧស្ម័នប្លាស្មា និងសារធាតុกัดกร่อนផ្សេងៗទៀត។
ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ	ស័ក្តិសមសម្រាប់កំដៅ/ត្រជាក់យ៉ាងរហ័សនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលី និងឡ។
ភាពរឹងមាំ និងកម្លាំងខ្ពស់	ទ្រដៃសមវែងដែលអាចទ្របានដោយមិនមានការពត់កោង។
ការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប	ល្អសម្រាប់បរិស្ថានដែលមានកន្លែងទំនេរខ្ពស់ខ្លាំង (UHV)។
បន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 1 រួចរាល់ហើយ	ប្រតិបត្តិការដែលគ្មានភាគល្អិតធានានូវភាពសុចរិតនៃបន្ទះ wafer ។

កម្មវិធី

ឧបករណ៍ទប់លំនឹង/ចុងសមសេរ៉ាមិច SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលត្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ អនាម័យ និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី។ សេណារីយ៉ូកម្មវិធីសំខាន់ៗរួមមាន៖

ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ការផ្ទុក/ការផ្ទុកបន្ទះស្តើងៗក្នុងប្រព័ន្ធដាក់លោហៈ (CVD, PVD) ការឆ្លាក់ (RIE, DRIE) និងប្រព័ន្ធសម្អាត។
ការដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីដោយមនុស្សយន្តរវាង FOUP កាសែត និងឧបករណ៍ដំណើរការ។
ការដោះស្រាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អំឡុងពេលដំណើរការកម្ដៅ ឬការដុត។

ការផលិតកោសិកា photovoltaic

ការដឹកជញ្ជូនបន្ទះស៊ីលីកុនដែលផុយស្រួយ ឬស្រទាប់ខាងក្រោមថាមពលព្រះអាទិត្យយ៉ាងឆ្ងាញ់ពិសារ នៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ស្វ័យប្រវត្តិ។

ឧស្សាហកម្មអេក្រង់រាបស្មើ (FPD)

ការផ្លាស់ទីបន្ទះកញ្ចក់ធំៗ ឬស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម OLED/LCD។

ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្សំ / MEMS

ប្រើប្រាស់ក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម GaN, SiC និង MEMS ដែលការគ្រប់គ្រងការបំពុល និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងមានសារៈសំខាន់។

តួនាទីនៃឧបករណ៍បញ្ចប់របស់វាមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសក្នុងការធានាបាននូវការគ្រប់គ្រងដែលគ្មានបញ្ហា និងមានស្ថេរភាពក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការដែលងាយរងគ្រោះ។

សមត្ថភាពប្ដូរតាមបំណង

យើងផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងយ៉ាងទូលំទូលាយ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការឧបករណ៍ និងដំណើរការផ្សេងៗគ្នា៖

ការរចនាសមប្លង់ពីរចង្អុល ច្រើនម្រាមដៃ ឬប្លង់កម្រិតបំបែក។
ភាពឆបគ្នានៃទំហំបន្ទះ៖ ចាប់ពីបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 2 អ៊ីញ ដល់ 12 អ៊ីញ។
ចំណុចប្រទាក់ម៉ោនឆបគ្នាជាមួយដៃមនុស្សយន្ត OEM។
កម្រាស់ និងការអត់ធ្មត់លើផ្ទៃ: មានភាពរាបស្មើកម្រិតមីក្រូន និងការមូលគែម។
លក្ខណៈពិសេសប្រឆាំងនឹងការរអិល៖ វាយនភាពផ្ទៃ ឬថ្នាំកូតជាជម្រើសសម្រាប់ការក្តាប់បន្ទះ wafer ប្រកបដោយសុវត្ថិភាព។

នីមួយៗឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចត្រូវបានរចនាឡើងរួមគ្នាជាមួយអតិថិជន ដើម្បីធានាបាននូវភាពសមស្របយ៉ាងច្បាស់លាស់ ជាមួយនឹងការផ្លាស់ប្តូរឧបករណ៍តិចតួចបំផុត។

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ (FAQ)

សំណួរទី 1: តើ SiC ល្អជាងរ៉ែថ្មខៀវសម្រាប់កម្មវិធី end effector យ៉ាងដូចម្តេច?
ក១៖ខណៈពេលដែលរ៉ែថ្មខៀវត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធរបស់វា វាខ្វះភាពរឹងមាំខាងមេកានិច ហើយងាយនឹងបាក់បែកក្រោមបន្ទុក ឬការប៉ះទង្គិចសីតុណ្ហភាព។ SiC ផ្តល់នូវកម្លាំងខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការពាក់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃពេលវេលារងចាំ និងការខូចខាតបន្ទះសៀគ្វីបានយ៉ាងច្រើន។

សំណួរទី 2៖ តើដៃសមសេរ៉ាមិចនេះឆបគ្នាជាមួយឧបករណ៍ដោះស្រាយ wafer រ៉ូបូតទាំងអស់ដែរឬទេ?
ចម្លើយទី ២៖មែនហើយ ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចរបស់យើងគឺឆបគ្នាជាមួយប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសំខាន់ៗភាគច្រើន ហើយអាចសម្របទៅនឹងម៉ូដែលរ៉ូបូតជាក់លាក់របស់អ្នកជាមួយនឹងគំនូរវិស្វកម្មដ៏ច្បាស់លាស់។

សំណួរទី 3: តើវាអាចទ្របន្ទះស្តើងកម្រាស់ 300 មីលីម៉ែត្រដោយមិនរួញបានទេ?
ក៣៖ពិតណាស់។ ភាពរឹងមាំខ្ពស់នៃ SiC អនុញ្ញាតឱ្យសូម្បីតែដៃសមស្តើង និងវែងក៏អាចកាន់បន្ទះបន្ទះកម្រាស់ 300 មីលីម៉ែត្របានយ៉ាងរឹងមាំដោយមិនយារធ្លាក់ ឬកោងអំឡុងពេលធ្វើចលនា។

សំណួរទី៤៖ តើអាយុកាលសេវាកម្មធម្មតារបស់ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC គឺជាអ្វី?
លេខ ៤៖ជាមួយនឹងការប្រើប្រាស់ត្រឹមត្រូវ ឧបករណ៍បញ្ចប់ SiC អាចមានអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរជាងម៉ូដែលរ៉ែថ្មខៀវ ឬអាលុយមីញ៉ូមប្រពៃណីពី 5 ទៅ 10 ដង ដោយសារភាពធន់នឹងភាពតានតឹងកម្ដៅ និងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា។

សំណួរទី 5: តើអ្នកផ្តល់ជូននូវសេវាកម្មជំនួស ឬសេវាកម្មបង្កើតគំរូដើមរហ័សដែរឬទេ?
ក៥៖បាទ/ចាស៎ យើងខ្ញុំគាំទ្រការផលិតគំរូរហ័ស និងផ្តល់ជូនសេវាកម្មជំនួសដោយផ្អែកលើគំនូរ CAD ឬគ្រឿងបន្លាស់ដែលបានវិស្វកម្មបញ្ច្រាសពីឧបករណ៍ដែលមានស្រាប់។

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។