ថាសសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ដាក់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (ថាស SiC)
សមាសធាតុសេរ៉ាមិចដែលមានដំណើរការខ្ពស់ដែលផ្អែកលើសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មកម្រិតខ្ពស់ដូចជាការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលចរន្ត និងការផលិត LED។ មុខងារស្នូលរបស់វារួមមានការបម្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វី វេទិកាដំណើរការឆ្លាក់ ឬជាឧបករណ៍ទ្រទ្រង់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមី ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋានដំណើរការ និងទិន្នផលផលិតផល។
លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ
១. ប្រសិទ្ធភាពកម្ដៅ
- ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ 140–300 W/m·K ដែលលើសពីក្រាហ្វីតប្រពៃណី (85 W/m·K) យ៉ាងខ្លាំង ដែលអាចឱ្យមានការរលាយកំដៅបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។
- មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប៖ ៤.០ × ១០⁻⁶/℃ (២៥–១០០០℃) ដែលត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងស៊ីលីកុន (២.៦ × ១០⁻⁶/℃) ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។
២. លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច
- កម្លាំងខ្ពស់៖ កម្លាំងពត់ ≥320 MPa (20℃) ធន់នឹងការបង្ហាប់ និងផលប៉ះពាល់។
- ភាពរឹងខ្ពស់៖ ភាពរឹងរបស់ Mohs 9.5 ដែលជាប់ចំណាត់ថ្នាក់លេខពីរបន្ទាប់ពីពេជ្រ ដែលផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ជាង។
៣. ស្ថេរភាពគីមី
- ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ ធន់នឹងអាស៊ីតខ្លាំង (ឧ. HF, H₂SO₄) ស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានដំណើរការឆ្លាក់។
- មិនមែនម៉ាញេទិក៖ ភាពងាយរងគ្រោះម៉ាញេទិកខាងក្នុង <1×10⁻⁶ emu/g ដែលជៀសវាងការជ្រៀតជ្រែកជាមួយឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
៤. ភាពធន់នឹងបរិស្ថានខ្លាំង
- ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែងរហូតដល់ 1600–1900℃; ភាពធន់រយៈពេលខ្លីរហូតដល់ 2200℃ (បរិស្ថានគ្មានអុកស៊ីសែន)។
- ភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ៖ ទប់ទល់នឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពភ្លាមៗ (ΔT >1000℃) ដោយមិនប្រេះ។
កម្មវិធី
| វាលដាក់ពាក្យ | សេណារីយ៉ូជាក់លាក់ | តម្លៃបច្ចេកទេស |
| ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក | ការឆ្លាក់បន្ទះស្តើង (ICP) ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង (MOCVD) ការប៉ូលា CMP | ចរន្តកំដៅខ្ពស់ធានានូវដែនសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាន; ការពង្រីកកម្ដៅទាបកាត់បន្ថយការរួញនៃបន្ទះសៀគ្វី។ |
| ការផលិត LED | ការលូតលាស់ Epitaxial (ឧ. GaN) ការកាត់ជាចំណិតៗ និងការវេចខ្ចប់ | ទប់ស្កាត់ពិការភាពច្រើនប្រភេទ ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពពន្លឺ LED និងអាយុកាលប្រើប្រាស់។ |
| ឧស្សាហកម្មថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ | ឡដុតស៊ីលីកុនវ៉ាហ្វឺរ ការគាំទ្រឧបករណ៍ PECVD | ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឆក់កម្ដៅ ពន្យារអាយុកាលឧបករណ៍។ |
| ឡាស៊ែរ និង អុបទិក | ស្រទាប់ត្រជាក់ឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ ការគាំទ្រប្រព័ន្ធអុបទិក | ចរន្តកំដៅខ្ពស់អាចឱ្យមានការរលាយកំដៅយ៉ាងឆាប់រហ័ស ដែលធ្វើឱ្យសមាសធាតុអុបទិកមានស្ថេរភាព។ |
| ឧបករណ៍វិភាគ | អ្នកកាន់គំរូ TGA/DSC | សមត្ថភាពកំដៅទាប និងការឆ្លើយតបកម្ដៅលឿន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។ |
គុណសម្បត្តិផលិតផល
- ការអនុវត្តដ៏ទូលំទូលាយ៖ ចរន្តកំដៅ កម្លាំង និងភាពធន់នឹងការច្រេះលើសពីសេរ៉ាមិចអាលុយមីណា និងស៊ីលីកុននីទ្រីត ដែលបំពេញតម្រូវការប្រតិបត្តិការខ្លាំង។
- ការរចនាទម្ងន់ស្រាល៖ ដង់ស៊ីតេ 3.1–3.2 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប (40% នៃដែកថែប) កាត់បន្ថយបន្ទុកនិចលភាព និងបង្កើនភាពជាក់លាក់នៃចលនា។
- អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ និងភាពជឿជាក់៖ អាយុកាលសេវាកម្មលើសពី 5 ឆ្នាំនៅសីតុណ្ហភាព 1600 ℃ ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការចំនួន 30%។
- ការប្ដូរតាមបំណង៖ គាំទ្រធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ (ឧទាហរណ៍ ពែងបឺតដែលមានរន្ធញើស ថាសច្រើនស្រទាប់) ជាមួយនឹងកំហុសរាបស្មើ <15 μm សម្រាប់កម្មវិធីដែលមានភាពជាក់លាក់។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស
| ប្រភេទប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | សូចនាករ |
| លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត | |
| ដង់ស៊ីតេ | ≥៣.១០ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| កម្លាំងបត់បែន (20℃) | ៣២០–៤១០ MPa |
| ចរន្តកំដៅ (20℃) | ១៤០–៣០០ វ៉ាត់/(មីលីម៉ែត្រ·ខេ) |
| មេគុណពង្រីកកម្ដៅ (25–1000℃) | ៤.០ × ១០⁻⁶/℃ |
| លក្ខណៈសម្បត្តិគីមី | |
| ភាពធន់នឹងអាស៊ីត (HF/H₂SO₄) | គ្មានការច្រេះបន្ទាប់ពីជ្រមុជទឹករយៈពេល 24 ម៉ោង |
| ភាពជាក់លាក់នៃការកែច្នៃ | |
| ភាពរាបស្មើ | ≤15 μm (300 × 300 ម.ម) |
| ភាពរដុបនៃផ្ទៃ (Ra) | ≤0.4 μm |
សេវាកម្មរបស់ XKH
XKH ផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយឧស្សាហកម្មដ៏ទូលំទូលាយ ដែលគ្របដណ្តប់លើការអភិវឌ្ឍតាមតម្រូវការ ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់ និងការគ្រប់គ្រងគុណភាពយ៉ាងម៉ត់ចត់។ សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍតាមតម្រូវការ វាផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (>99.999%) និង porous (30–50%) រួមផ្សំជាមួយនឹងការធ្វើគំរូ 3D និងការក្លែងធ្វើ ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពធរណីមាត្រស្មុគស្មាញសម្រាប់កម្មវិធីដូចជា semiconductor និងអវកាស។ ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់ អនុវត្តតាមដំណើរការដែលមានលក្ខណៈសាមញ្ញ៖ ការកែច្នៃម្សៅ → ការចុច isostatic/dry → ការ sintering 2200°C → ការកិន CNC/ពេជ្រ → ការត្រួតពិនិត្យ ដោយធានាបាននូវការប៉ូលាកម្រិតណាណូម៉ែត្រ និងការអត់ធ្មត់វិមាត្រ ±0.01 mm។ ការគ្រប់គ្រងគុណភាព រួមមានការធ្វើតេស្តដំណើរការពេញលេញ (សមាសធាតុ XRD មីក្រូស្ត្រុកទ័រ SEM ការពត់កោង 3 ចំណុច) និងការគាំទ្របច្ចេកទេស (ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ ការពិគ្រោះយោបល់ 24/7 ការផ្តល់គំរូ 48 ម៉ោង) ដោយផ្តល់នូវសមាសធាតុដែលអាចទុកចិត្តបាន និងមានដំណើរការខ្ពស់សម្រាប់តម្រូវការឧស្សាហកម្មកម្រិតខ្ពស់។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ (FAQ)
១. សំណួរ៖ តើឧស្សាហកម្មអ្វីខ្លះដែលប្រើប្រាស់ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត?
ក: ប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក (ការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វី) ថាមពលព្រះអាទិត្យ (ដំណើរការ PECVD) ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ (សមាសធាតុ MRI) និងអាកាសចរណ៍ (គ្រឿងបន្លាស់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់) ដោយសារតែភាពធន់នឹងកំដៅខ្លាំង និងស្ថេរភាពគីមីរបស់វា។
2. សំណួរ៖ តើស៊ីលីកុនកាបៃមានដំណើរការល្អជាងថាសរ៉ែថ្មខៀវ/កញ្ចក់យ៉ាងដូចម្តេច?
ក៖ ធន់នឹងការប៉ះទង្គិចកម្ដៅខ្ពស់ជាង (រហូតដល់ 1800°C បើប្រៀបធៀបទៅនឹង 1100°C របស់ quartz) គ្មានការជ្រៀតជ្រែកម៉ាញេទិក និងអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាង (5+ ឆ្នាំ បើប្រៀបធៀបទៅនឹង 6-12 ខែរបស់ quartz)។
៣. សំណួរ៖ តើថាសស៊ីលីកុនកាប៊ីតអាចទប់ទល់នឹងបរិស្ថានអាស៊ីតបានទេ?
ក: បាទ/ចាស៎។ ធន់នឹង HF, H2SO4 និង NaOH ដែលមានការច្រេះតិចជាង 0.01 មីលីម៉ែត្រ/ឆ្នាំ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការឆ្លាក់គីមី និងការសម្អាតបន្ទះសៀគ្វី។
៤. សំណួរ៖ តើថាសស៊ីលីកុនកាប៊ីតឆបគ្នាជាមួយប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មដែរឬទេ?
ក: បាទ/ចាស៎។ រចនាឡើងសម្រាប់ការទទួលយកដោយបូមធូលី និងការគ្រប់គ្រងដោយមនុស្សយន្ត ជាមួយនឹងផ្ទៃរាបស្មើ <0.01 ម.ម ដើម្បីការពារការចម្លងរោគភាគល្អិតនៅក្នុងរោងចក្រស្វ័យប្រវត្តិ។
៥. សំណួរ៖ តើការប្រៀបធៀបតម្លៃធៀបនឹងសម្ភារៈប្រពៃណីមានតម្លៃប៉ុន្មាន?
ក៖ ថ្លៃដើមដំបូងខ្ពស់ជាង (៣-៥ ដងនៃថ្ម quartz) ប៉ុន្តែ TCO ទាបជាង ៣០-៥០% ដោយសារតែអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ ពេលវេលារងចាំថយចុះ និងការសន្សំសំចៃថាមពលពីចរន្តកំដៅខ្ពស់។
