ចង្កឹះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដសម្រាប់បន្ទះស៊ីអ៊ីតត្បូងកណ្តៀង SiC GAAs

រូបភាពពិសេសនៃចង្កឹះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតសម្រាប់បន្ទះ SiC sapphire Si GAAs

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ប្រដាប់ដោតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ គឺជាវេទិកាដែលមានដំណើរការខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការផលិតបន្ទះបន្ទះ និងកម្មវិធីភ្ជាប់។ ផលិតឡើងដោយវត្ថុធាតុដើមសេរ៉ាមិចទំនើបៗ — រួមមាន SiC ស៊ីនធឺរ (SSiC) SiC ភ្ជាប់ដោយប្រតិកម្ម (RSiC) ស៊ីលីកុននីទ្រីត និងអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត — វាផ្តល់នូវភាពរឹងខ្ពស់ ការពង្រីកកម្ដៅទាប ភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរ។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃចង្កឹះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (SiC)

ទីចង្កឹះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតគឺជាវេទិកាដំណើរការខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការផលិតបន្ទះសៀគ្វី និងកម្មវិធីភ្ជាប់។ សាងសង់ឡើងជាមួយនឹងសម្ភារៈសេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់ រួមទាំងស៊ីអ៊ីកដែលបានដុតដោយស៊ីនទ័រ (SSiC), SiC ដែលមានប្រតិកម្មភ្ជាប់ (RSiC), ស៊ីលីកុននីទ្រីតនិងអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត— វាផ្តល់ជូនភាពរឹងខ្ពស់, ការពង្រីកកម្ដៅទាប, ភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ.

ជាមួយនឹងវិស្វកម្មភាពជាក់លាក់ និងការប៉ូលាទំនើបៗ ក្បាលម៉ាស៊ីនផ្តល់នូវភាពរាបស្មើក្រោមមីក្រូន ផ្ទៃដែលមានគុណភាពកញ្ចក់ និងស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែងដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អសម្រាប់ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រដ៏សំខាន់។

គុណសម្បត្តិសំខាន់ៗ

ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ភាពរាបស្មើត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅខាងក្នុង០.៣–០.៥ មីក្រូម៉ែត្រធានាបាននូវស្ថេរភាព wafer និងភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា។
ការប៉ូលាកញ្ចក់
សម្រេចបានRa 0.02 μmភាពរដុបនៃផ្ទៃ កាត់បន្ថយការកោស និងការបំពុលនៃបន្ទះសៀគ្វី — ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់បរិស្ថានស្អាតបំផុត។
ទម្ងន់ស្រាលខ្លាំង
ខ្លាំងជាង ប៉ុន្តែស្រាលជាងស្រទាប់ថ្ម quartz ឬលោហៈ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការគ្រប់គ្រងចលនា ការឆ្លើយតប និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំង។
ភាពរឹងខ្ពស់
ម៉ូឌុលរបស់ Exceptional Young ធានានូវស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមបន្ទុកធ្ងន់ និងប្រតិបត្តិការល្បឿនលឿន។
ការពង្រីកកម្ដៅទាប
CTE ត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងបន្ទះស៊ីលីកុន ដែលកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ និងបង្កើនភាពជឿជាក់នៃដំណើរការ។
ភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ភាពរឹងខ្លាំងរក្សាបាននូវភាពរាបស្មើ និងភាពជាក់លាក់ សូម្បីតែស្ថិតក្រោមការប្រើប្រាស់ប្រេកង់ខ្ពស់រយៈពេលវែងក៏ដោយ។

ដំណើរការផលិត

ការរៀបចំវត្ថុធាតុដើម
ម្សៅ SiC មានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ជាមួយនឹងទំហំភាគល្អិតដែលបានគ្រប់គ្រង និងភាពមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត។
ការបង្កើត និង ការដុត
បច្ចេកទេសដូចជាការដុតដោយគ្មានសម្ពាធ (SSiC) or ចំណងប្រតិកម្ម (RSiC)ផលិតស្រទាប់សេរ៉ាមិចក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន។
ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់
ការកិន CNC ការកាត់តម្រឹមឡាស៊ែរ និងការផលិតដោយប្រើភាពជាក់លាក់ខ្ពស់សម្រេចបាននូវការអត់ឱន ±0.01 មីលីម៉ែត្រ និងភាពស្របគ្នា ≤3 μm។
ការព្យាបាលលើផ្ទៃ
ការកិន និងប៉ូលាច្រើនដំណាក់កាលដល់ Ra 0.02 μm; ថ្នាំកូតស្រេចចិត្តអាចរកបានសម្រាប់ភាពធន់នឹងការច្រេះ ឬលក្ខណៈសម្បត្តិកកិតផ្ទាល់ខ្លួន។
ការត្រួតពិនិត្យ និងការគ្រប់គ្រងគុណភាព
ឧបករណ៍វាស់អាំងតេក្រាល និងឧបករណ៍សាកល្បងភាពរដុប ផ្ទៀងផ្ទាត់ការអនុលោមតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសថ្នាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ	តម្លៃ	ឯកតា
ភាពរាបស្មើ	≤0.5	μm
ទំហំបន្ទះសៀគ្វី	៦អ៊ីញ, ៨អ៊ីញ, ១២អ៊ីញ (អាចប្ដូរតាមបំណងបាន)	—
ប្រភេទផ្ទៃ	ប្រភេទម្ជុល / ប្រភេទចិញ្ចៀន	—
កម្ពស់ម្ជុល	០.០៥–០.២	mm
អង្កត់ផ្ចិតម្ជុលអប្បបរមា	ϕ០.២	mm
ចន្លោះម្ជុលអប្បបរមា	3	mm
ទទឹងចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់អប្បបរមា	០.៧	mm
ភាពរដុបនៃផ្ទៃ	រ៉ា ០,០២	μm
ភាពអត់ធ្មត់កម្រាស់	±០.០១	mm
ភាពអត់ធ្មត់នៃអង្កត់ផ្ចិត	±០.០១	mm
ការអត់ធ្មត់ស្របគ្នា	≤3	μm

កម្មវិធីសំខាន់ៗ

ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច
ប្រព័ន្ធផលិត និងផ្ទេរ Wafer
ឧបករណ៍ភ្ជាប់ និងវេចខ្ចប់បន្ទះសៀគ្វី
ការផលិតឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិចកម្រិតខ្ពស់
ឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលតម្រូវឱ្យមានផ្ទៃរាបស្មើខ្លាំង និងស្អាតខ្លាំង

សំណួរ និងចម្លើយ – ចង្កឹះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត

សំណួរទី 1: តើចង្កឹះសេរ៉ាមិច SiC ប្រៀបធៀបជាមួយចង្កឹះរ៉ែថ្មខៀវ ឬដែកយ៉ាងដូចម្តេច?
ចម្លើយទី 1: ក្បាលស៊ីឡាំង SiC មានទម្ងន់ស្រាលជាង រឹងមាំជាង និងមាន CTE ជិតនឹងបន្ទះស៊ីលីកុន ដែលកាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។ ពួកវាក៏ផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរជាងផងដែរ។

សំណួរទី 2: តើភាពរាបស្មើអ្វីខ្លះដែលអាចសម្រេចបាន?
A2: គ្រប់គ្រងនៅក្នុង០.៣–០.៥ មីក្រូម៉ែត្រដោយបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

សំណួរទី 3: តើផ្ទៃនឹងកោសបន្ទះឈើដែរឬទេ?
A3: ទេ—ប៉ូលាដោយកញ្ចក់ទៅRa 0.02 μmធានាបាននូវការដោះស្រាយដោយគ្មានស្នាមឆ្កូត និងកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។

សំណួរទី៤៖ តើទំហំ wafer អ្វីខ្លះដែលត្រូវបានគាំទ្រ?
A4: ទំហំស្តង់ដារនៃ៦អ៊ីញ, ៨អ៊ីញ និង ១២អ៊ីញ, ជាមួយនឹងការប្ដូរតាមបំណងដែលអាចរកបាន។

សំណួរទី 5: តើភាពធន់នឹងកម្ដៅយ៉ាងដូចម្តេច?
A5: សេរ៉ាមិច SiC ផ្តល់នូវដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយតិចតួចបំផុតក្រោមវដ្តកម្ដៅ។

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។