ខ្សែសង្វាក់ស្វ័យប្រវត្តិកម្មប៉ូលាភ្ជាប់បួនដំណាក់កាល ស៊ីលីកុន / ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) (ខ្សែសង្វាក់ប្រតិបត្តិការក្រោយប៉ូលារួមបញ្ចូលគ្នា)

ខ្សែសង្វាក់ស្វ័យប្រវត្តិកម្មប៉ូលាភ្ជាប់បួនដំណាក់កាលនេះគឺជាដំណោះស្រាយរួមបញ្ចូលគ្នាក្នុងជួរដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ក្រោយ​ប៉ូលា / ក្រោយ CMPប្រតិបត្តិការរបស់ស៊ីលីកុននិងស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)បន្ទះ​ស្តើង។ សាងសង់​ឡើង​ជុំវិញថាសសេរ៉ាមិច (ចានសេរ៉ាមិច)ប្រព័ន្ធនេះរួមបញ្ចូលគ្នានូវកិច្ចការជាច្រើននៅខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មដែលសម្របសម្រួលគ្នាតែមួយ — ជួយរោងចក្រកាត់បន្ថយការដោះស្រាយដោយដៃ ធ្វើឱ្យពេលវេលាផលិតមានស្ថេរភាព និងពង្រឹងការគ្រប់គ្រងការបំពុល។

នៅក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រការសម្អាតក្រោយ CMP ដែលមានប្រសិទ្ធភាពត្រូវបានទទួលស្គាល់យ៉ាងទូលំទូលាយថាជាជំហានសំខាន់មួយដើម្បីកាត់បន្ថយពិការភាពមុនដំណើរការបន្ទាប់ និងវិធីសាស្រ្តជឿនលឿន (រួមទាំងការសម្អាតមេហ្គាសូនិក) ត្រូវបានពិភាក្សាជាទូទៅសម្រាប់ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាពនៃការដកយកភាគល្អិតចេញ។

ជាពិសេសសម្រាប់ SiC របស់វាភាពរឹងខ្ពស់ និង ភាពអសកម្មខាងគីមីធ្វើឱ្យការប៉ូលាមានការលំបាក (ជារឿយៗត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ជាមួយនឹងអត្រាដកសម្ភារៈចេញទាប និងហានិភ័យខ្ពស់នៃការខូចខាតផ្ទៃ/ក្រោមដី) ដែលធ្វើឱ្យស្វ័យប្រវត្តិកម្មក្រោយការប៉ូលាដែលមានស្ថេរភាព និងការសម្អាត/ការគ្រប់គ្រងដែលមានការគ្រប់គ្រងមានតម្លៃជាពិសេស។