តើ TGV ជាអ្វី?
TGV (ឆ្លងកាត់កញ្ចក់)ដែលជាបច្ចេកវិទ្យានៃការបង្កើតរន្ធឆ្លងកាត់លើស្រទាប់កញ្ចក់ និយាយឱ្យសាមញ្ញទៅ TGV គឺជាអគារខ្ពស់ៗដែលដាល់ បំពេញ និងភ្ជាប់ឡើងលើ និងចុះក្រោមកញ្ចក់ ដើម្បីបង្កើតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នានៅលើកម្រាលកញ្ចក់។ បច្ចេកវិទ្យានេះត្រូវបានចាត់ទុកថាជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់សម្រាប់ការវេចខ្ចប់ 3D ជំនាន់ក្រោយ។
តើលក្ខណៈពិសេសរបស់ TGV មានអ្វីខ្លះ?
១. រចនាសម្ព័ន្ធ៖ TGV គឺជារន្ធឆ្លងកាត់ដែលអាចជ្រាបចូលបញ្ឈរបាន ដែលផលិតនៅលើស្រទាប់កញ្ចក់។ តាមរយៈការដាក់ស្រទាប់លោហៈដែលមានសមត្ថភាពចម្លងចរន្តនៅលើជញ្ជាំងរន្ធ ស្រទាប់ខាងលើ និងខាងក្រោមនៃសញ្ញាអគ្គិសនីត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាទៅវិញទៅមក។
២. ដំណើរការផលិត៖ ការផលិត TGV រួមមាន ការព្យាបាលជាមុនលើស្រទាប់ខាងក្រោម ការធ្វើរន្ធ ការដាក់ស្រទាប់ដែក ការបំពេញរន្ធ និងជំហានធ្វើឱ្យរាបស្មើ។ វិធីសាស្រ្តផលិតទូទៅគឺ ការឆ្លាក់គីមី ការខួងឡាស៊ែរ ការស្រោបដោយអគ្គិសនី និងផ្សេងៗទៀត។
៣. គុណសម្បត្តិនៃការប្រើប្រាស់៖ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងរន្ធឆ្លងកាត់ដែកប្រពៃណី TGV មានគុណសម្បត្តិនៃទំហំតូចជាង ដង់ស៊ីតេខ្សែភ្លើងខ្ពស់ជាង មានដំណើរការរលាយកំដៅល្អជាង និងផ្សេងៗទៀត។ ប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងមីក្រូអេឡិចត្រូនិច អុបតូអេឡិចត្រូនិច MEMS និងវិស័យផ្សេងទៀតនៃការតភ្ជាប់ដង់ស៊ីតេខ្ពស់។
៤. និន្នាការអភិវឌ្ឍន៍៖ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍផលិតផលអេឡិចត្រូនិចឆ្ពោះទៅរកការបង្រួមទំហំ និងការធ្វើសមាហរណកម្មខ្ពស់ បច្ចេកវិទ្យា TGV កំពុងទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍ និងការអនុវត្តកាន់តែច្រើនឡើងៗ។ នាពេលអនាគត ដំណើរការផលិតរបស់វានឹងបន្តធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ហើយទំហំ និងដំណើរការរបស់វានឹងបន្តប្រសើរឡើង។
តើដំណើរការ TGV ជាអ្វី?
១. ការរៀបចំស្រទាប់កញ្ចក់ (ក)៖ រៀបចំស្រទាប់កញ្ចក់នៅដើមដំបូង ដើម្បីធានាថាផ្ទៃរបស់វារលោង និងស្អាត។
2. ការខួងកញ្ចក់ (ខ)៖ ឡាស៊ែរត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតរន្ធជ្រៀតចូលទៅក្នុងស្រទាប់កញ្ចក់។ រូបរាងនៃរន្ធជាទូទៅមានរាងកោណ ហើយបន្ទាប់ពីការព្យាបាលដោយឡាស៊ែរនៅម្ខាង វាត្រូវបានបង្វែរ និងដំណើរការនៅម្ខាងទៀត។
៣. ការធ្វើលោហៈលើជញ្ជាំងរន្ធ (គ): ការធ្វើលោហៈត្រូវបានអនុវត្តលើជញ្ជាំងរន្ធ ជាធម្មតាតាមរយៈ PVD, CVD និងដំណើរការផ្សេងៗទៀត ដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់គ្រាប់លោហៈដែលអាចដឹកនាំបានលើជញ្ជាំងរន្ធ ដូចជា Ti/Cu, Cr/Cu ជាដើម។
៤. លីថូក្រាហ្វី (d): ផ្ទៃនៃស្រទាប់កញ្ចក់ត្រូវបានស្រោបដោយសារធាតុ photoresist និងមានលំនាំ photopatterned។ បង្ហាញផ្នែកដែលមិនត្រូវការស្រោប ដើម្បីឱ្យមានតែផ្នែកដែលត្រូវការស្រោបប៉ុណ្ណោះដែលត្រូវបានលាតត្រដាង។
៥. ការបំពេញរន្ធ (ង)៖ ការស្រោបទង់ដែងដោយអគ្គិសនី ដើម្បីបំពេញកញ្ចក់តាមរន្ធ ដើម្បីបង្កើតជាផ្លូវដឹកនាំពេញលេញ។ ជាទូទៅ វាត្រូវបានទាមទារឱ្យរន្ធនោះត្រូវបានបំពេញទាំងស្រុង ដោយគ្មានរន្ធ។ ចំណាំថា Cu នៅក្នុងដ្យាក្រាមមិនត្រូវបានបំពេញពេញលេញទេ។
៦. ផ្ទៃរាបស្មើនៃស្រទាប់ខាងក្រោម (f): ដំណើរការ TGV មួយចំនួននឹងធ្វើឱ្យផ្ទៃនៃស្រទាប់កញ្ចក់ដែលបានបំពេញរាបស្មើ ដើម្បីធានាថាផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមរលោង ដែលអំណោយផលដល់ជំហានដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។
៧.ស្រទាប់ការពារ និងការតភ្ជាប់ចុង (g): ស្រទាប់ការពារមួយ (ដូចជាប៉ូលីអ៊ីមីត) ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់កញ្ចក់។
សរុបមក ជំហាននីមួយៗនៃដំណើរការ TGV គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ ហើយទាមទារការគ្រប់គ្រង និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពយ៉ាងច្បាស់លាស់។ បច្ចុប្បន្នយើងផ្តល់ជូននូវបច្ចេកវិទ្យាកញ្ចក់ TGV តាមរយៈរន្ធប្រសិនបើចាំបាច់។ សូមទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ!
(ព័ត៌មានខាងលើគឺមកពីអ៊ីនធឺណិត ការត្រួតពិនិត្យ)
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៥ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤