តើ TGV ជាអ្វី?
TGV, (Through-Glass via) បច្ចេកវិទ្យានៃការបង្កើតរន្ធនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ បើនិយាយសាមញ្ញ TGV គឺជាអគារខ្ពស់ដែលដាល់ បំពេញ និងតភ្ជាប់ឡើងលើ និងចុះក្រោមកញ្ចក់ដើម្បីបង្កើតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នានៅលើកញ្ចក់។ ជាន់។បច្ចេកវិទ្យានេះត្រូវបានចាត់ទុកថាជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់សម្រាប់ការវេចខ្ចប់ 3D ជំនាន់ក្រោយ។
តើ TGV មានលក្ខណៈអ្វីខ្លះ?
1. រចនាសម្ព័នៈ TGV គឺជាការជ្រៀតចូលបញ្ឈរតាមរយៈរន្ធដែលធ្វើឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់។តាមរយៈការដាក់ស្រទាប់ដែកដែលមានចរន្តនៅលើជញ្ជាំងរន្ធ ស្រទាប់ខាងលើ និងខាងក្រោមនៃសញ្ញាអគ្គិសនីត្រូវបានទាក់ទងគ្នាទៅវិញទៅមក។
2. ដំណើរការផលិត៖ ការផលិត TGV រួមមាន ការរៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោម ការបង្កើតរន្ធ ការដាក់ស្រទាប់ដែក ការបំពេញរន្ធ និងជំហានរុញ។វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតទូទៅគឺ etching គីមី, ការខួងឡាស៊ែរ, electroplating និងដូច្នេះនៅលើ។
3. គុណសម្បត្តិនៃកម្មវិធី៖ បើប្រៀបធៀបជាមួយលោហៈបុរាណតាមរន្ធ TGV មានគុណសម្បត្តិនៃទំហំតូចជាង ដង់ស៊ីតេខ្សែភ្លើងខ្ពស់ ប្រសិទ្ធភាពនៃការសាយភាយកំដៅបានប្រសើរជាង ហើយដូច្នេះនៅលើ។ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងមីក្រូអេឡិចត្រូនិច អុបតូអេឡិចត្រូនិច MEMS និងផ្នែកផ្សេងទៀតនៃទំនាក់ទំនងអន្តរដង់ស៊ីតេខ្ពស់។
4. និន្នាការនៃការអភិវឌ្ឍន៍៖ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍ផលិតផលអេឡិចត្រូនិចឆ្ពោះទៅរកការធ្វើសមាហរណកម្មខ្នាតតូច និងការរួមបញ្ចូលខ្ពស់ បច្ចេកវិទ្យា TGV កំពុងទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍ និងការអនុវត្តកាន់តែច្រើនឡើងៗ។នៅពេលអនាគត ដំណើរការផលិតរបស់វានឹងបន្តធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ហើយទំហំ និងដំណើរការរបស់វានឹងបន្តប្រសើរឡើង។
តើអ្វីជាដំណើរការ TGV៖
1. ការរៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ (ក): រៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់នៅដើម ដើម្បីធានាថាផ្ទៃរបស់វារលោង និងស្អាត។
2. ការខួងកញ្ចក់ (ខ) : ឡាស៊ែរត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតរន្ធជ្រាបចូលទៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់។រូបរាងនៃរន្ធជាទូទៅគឺរាងសាជីហើយបន្ទាប់ពីការព្យាបាលដោយឡាស៊ែរនៅម្ខាងវាត្រូវបានបង្វិលនិងដំណើរការនៅម្ខាងទៀត។
3. ការលោហៈជញ្ជាំងប្រហោង (គ)៖ លោហៈធាតុត្រូវបានអនុវត្តនៅលើជញ្ជាំងប្រហោង ជាធម្មតាតាមរយៈ PVD, CVD និងដំណើរការផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតស្រទាប់គ្រាប់ពូជដែកដែលមានចរន្តនៅលើជញ្ជាំងប្រហោង ដូចជា Ti/Cu, Cr/Cu ជាដើម។
4. Lithography (d): ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ត្រូវបាន coated ជាមួយ photoresist និង photopatterned ។លាតត្រដាងផ្នែកដែលមិនត្រូវការការដាក់ចាន ដូច្នេះមានតែផ្នែកដែលត្រូវការបន្ទះប៉ុណ្ណោះត្រូវលាតត្រដាង។
5. ការបំពេញរន្ធ (e): ទង់ដែង electroplating ដើម្បីបំពេញកញ្ចក់តាមរយៈរន្ធដើម្បីបង្កើតជាផ្លូវ conductive ពេញលេញ។ជាទូទៅវាត្រូវបានទាមទារថារន្ធត្រូវបានបំពេញទាំងស្រុងដោយគ្មានរន្ធ។ចំណាំថា Cu នៅក្នុងដ្យាក្រាមមិនត្រូវបានបញ្ចូលពេញទេ។
6. ផ្ទៃរាបស្មើនៃស្រទាប់ខាងក្រោម (f): ដំណើរការ TGV មួយចំនួននឹងធ្វើឱ្យផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់រាបស្មើ ដើម្បីធានាថាផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមមានភាពរលោង ដែលអំណោយផលដល់ដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។
7.ស្រទាប់ការពារ និងការតភ្ជាប់ស្ថានីយ (g): ស្រទាប់ការពារ (ដូចជា polyimide) ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់។
សរុបមក រាល់ជំហាននៃដំណើរការ TGV គឺមានសារៈសំខាន់ ហើយទាមទារឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពច្បាស់លាស់។បច្ចុប្បន្នយើងផ្តល់ជូននូវកញ្ចក់ TGV តាមរយៈបច្ចេកវិទ្យារន្ធប្រសិនបើចាំបាច់។សូមទាក់ទងមកយើងខ្ញុំដោយសេរី!
(ព័ត៌មានខាងលើគឺបានមកពីអ៊ីនធឺណេត ការត្រួតពិនិត្យ)
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៥ មិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤