ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានបែងចែកទៅជាប្រភេទពាក់កណ្ដាលអ៊ីសូឡង់ និងប្រភេទដែលមានចរន្តអគ្គិសនី។ បច្ចុប្បន្ន លក្ខណៈបច្ចេកទេសចម្បងនៃផលិតផលស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្ដាលអ៊ីសូឡង់គឺ ៤ អ៊ីញ។ នៅក្នុងទីផ្សារស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានចរន្តអគ្គិសនី លក្ខណៈបច្ចេកទេសផលិតផលស្រទាប់សំខាន់ៗបច្ចុប្បន្នគឺ ៦ អ៊ីញ។
ដោយសារតែកម្មវិធីនៅផ្នែកខាងក្រោមនៃវាល RF ស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ដែលមានអ៊ីសូឡង់ពាក់កណ្តាល និងសម្ភារៈ epitaxial គឺស្ថិតនៅក្រោមការគ្រប់គ្រងការនាំចេញដោយក្រសួងពាណិជ្ជកម្មសហរដ្ឋអាមេរិក។ SiC ដែលមានអ៊ីសូឡង់ពាក់កណ្តាលជាស្រទាប់ខាងក្រោមគឺជាសម្ភារៈដែលពេញចិត្តសម្រាប់ heteroepitaxy GaN ហើយមានទស្សនវិស័យកម្មវិធីសំខាន់ៗនៅក្នុងវាលមីក្រូវ៉េវ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងភាពមិនស៊ីគ្នានៃគ្រីស្តាល់ sapphire 14% និង Si 16.9% ភាពមិនស៊ីគ្នានៃគ្រីស្តាល់នៃសម្ភារៈ SiC និង GaN គឺមានតែ 3.4% ប៉ុណ្ណោះ។ រួមជាមួយនឹងចរន្តកំដៅខ្ពស់ខ្លាំងនៃ SiC ឧបករណ៍ LED និង GaN ដែលមានប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់ និងប្រេកង់ខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់ដែលរៀបចំដោយវាមានគុណសម្បត្តិដ៏អស្ចារ្យនៅក្នុងរ៉ាដា ឧបករណ៍មីក្រូវ៉េវថាមពលខ្ពស់ និងប្រព័ន្ធទំនាក់ទំនង 5G។
ការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍស្រទាប់ SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ តែងតែជាចំណុចសំខាន់នៃការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយ SiC។ មានការលំបាកចម្បងពីរក្នុងការលូតលាស់សម្ភារៈ SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់៖
១) កាត់បន្ថយភាពមិនបរិសុទ្ធនៃអ្នកផ្តល់ N ដែលបញ្ចូលដោយចង្ក្រានក្រាហ្វីត ការស្រូបយកអ៊ីសូឡង់កម្ដៅ និងសារធាតុដូបក្នុងម្សៅ។
2) ខណៈពេលកំពុងធានាគុណភាព និងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីរបស់គ្រីស្តាល់ ចំណុចកណ្តាលជ្រៅមួយត្រូវបានណែនាំដើម្បីទូទាត់សងភាពមិនបរិសុទ្ធកម្រិតរាក់ដែលនៅសេសសល់ជាមួយនឹងសកម្មភាពអគ្គិសនី។
បច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានសមត្ថភាពផលិត SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ភាគច្រើនគឺ SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.។
គ្រីស្តាល់ SiC ដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីត្រូវបានសម្រេចដោយការចាក់អាសូតចូលទៅក្នុងបរិយាកាសដែលកំពុងលូតលាស់។ ស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការផលិតឧបករណ៍ថាមពល ឧបករណ៍ថាមពលស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានវ៉ុលខ្ពស់ ចរន្តខ្ពស់ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ ការខាតបង់ទាប និងគុណសម្បត្តិពិសេសផ្សេងទៀត នឹងធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពបំលែងថាមពលនៃឧបករណ៍ថាមពលដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនដែលមានស្រាប់ មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ និងទូលំទូលាយលើវិស័យបំលែងថាមពលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ វិស័យអនុវត្តសំខាន់ៗគឺយានយន្តអគ្គិសនី/គំនរសាកថ្ម ថាមពលថ្មី photovoltaic ការដឹកជញ្ជូនតាមផ្លូវដែក បណ្តាញឆ្លាតវៃ និងផ្សេងៗទៀត។ ដោយសារតែផលិតផលដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីភាគច្រើនជាឧបករណ៍ថាមពលនៅក្នុងយានយន្តអគ្គិសនី photovoltaic និងវិស័យផ្សេងទៀត ការរំពឹងទុកនៃការអនុវត្តគឺទូលំទូលាយជាង ហើយក្រុមហ៊ុនផលិតមានច្រើន។
ប្រភេទគ្រីស្តាល់កាបូនស៊ីលីកុន៖ រចនាសម្ព័ន្ធធម្មតានៃកាបូនស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ 4H ល្អបំផុតអាចបែងចែកជាពីរប្រភេទ មួយគឺជាប្រភេទគ្រីស្តាល់កាបូនស៊ីលីកុនគូបនៃរចនាសម្ព័ន្ធ sphalerite ដែលគេស្គាល់ថាជា 3C-SiC ឬ β-SiC និងមួយទៀតគឺជារចនាសម្ព័ន្ធឆកោន ឬពេជ្រនៃរចនាសម្ព័ន្ធរយៈពេលធំ ដែលជាតួយ៉ាងនៃ 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC ជាដើម ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ជារួមថា α-SiC។ 3C-SiC មានគុណសម្បត្តិនៃភាពធន់ខ្ពស់នៅក្នុងឧបករណ៍ផលិត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ភាពមិនស៊ីគ្នាខ្ពស់រវាងថេរបន្ទះ Si និង SiC និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅអាចនាំឱ្យមានពិការភាពមួយចំនួនធំនៅក្នុងស្រទាប់ epitaxial 3C-SiC។ 4H-SiC មានសក្តានុពលដ៏អស្ចារ្យក្នុងការផលិត MOSFETs ពីព្រោះការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ និងដំណើរការលូតលាស់ស្រទាប់ epitaxial របស់វាមានភាពល្អឥតខ្ចោះជាង ហើយទាក់ទងនឹងការចល័តអេឡិចត្រុង 4H-SiC គឺខ្ពស់ជាង 3C-SiC និង 6H-SiC ដែលផ្តល់នូវលក្ខណៈមីក្រូវ៉េវកាន់តែប្រសើរសម្រាប់ MOSFETs 4H-SiC។
ប្រសិនបើមានការបំពានសូមទាក់ទងលុបចេញ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៤