ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) មិនត្រឹមតែជាបច្ចេកវិទ្យាដ៏សំខាន់សម្រាប់ការពារជាតិប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាសម្ភារៈស្នូលសម្រាប់ឧស្សាហកម្មរថយន្ត និងថាមពលសកលផងដែរ។ ក្នុងនាមជាជំហានដ៏សំខាន់ដំបូងក្នុងដំណើរការគ្រីស្តាល់តែមួយ SiC ការកាត់បន្ទះបន្ទះកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវគុណភាពនៃការស្តើង និងការប៉ូលាជាបន្តបន្ទាប់។ វិធីសាស្រ្តកាត់បែបប្រពៃណីច្រើនតែបង្កើតស្នាមប្រេះលើផ្ទៃ និងក្រោមផ្ទៃ ដែលបង្កើនអត្រាបាក់បន្ទះបន្ទះ និងថ្លៃដើមផលិតកម្ម។ ដូច្នេះ ការគ្រប់គ្រងការខូចខាតស្នាមប្រេះលើផ្ទៃគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការជំរុញការផលិតឧបករណ៍ SiC។
បច្ចុប្បន្ននេះ ការកាត់ដែក SiC ប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាប្រឈមធំៗពីរ៖
- ការខាតបង់សម្ភារៈខ្ពស់ក្នុងការកាត់ខ្សែច្រើនបែបប្រពៃណី៖ភាពរឹង និងភាពផុយស្រួយខ្លាំងរបស់ SiC ធ្វើឱ្យវាងាយនឹងរួញ និងប្រេះអំឡុងពេលកាត់ កិន និងប៉ូលា។ យោងតាមទិន្នន័យរបស់ Infineon ការកាត់ខ្សែច្រើនដែលភ្ជាប់ជាមួយជ័រពេជ្របែបប្រពៃណីសម្រេចបានការប្រើប្រាស់សម្ភារៈត្រឹមតែ 50% ប៉ុណ្ណោះក្នុងការកាត់ ដោយការបាត់បង់បន្ទះដែកតែមួយសរុបឈានដល់ ~250 μm បន្ទាប់ពីការប៉ូលា ដែលបន្សល់ទុកសម្ភារៈដែលអាចប្រើបានតិចតួចបំផុត។
- ប្រសិទ្ធភាពទាប និងវដ្តផលិតកម្មវែង៖ស្ថិតិផលិតកម្មអន្តរជាតិបង្ហាញថា ការផលិតបន្ទះសៀគ្វីចំនួន 10,000 ដោយប្រើការកាត់ខ្សែច្រើនជាបន្តបន្ទាប់រយៈពេល 24 ម៉ោងចំណាយពេលប្រហែល 273 ថ្ងៃ។ វិធីសាស្ត្រនេះតម្រូវឱ្យមានឧបករណ៍ និងសម្ភារៈប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ ខណៈពេលដែលបង្កើតភាពរដុបលើផ្ទៃ និងការបំពុលខ្ពស់ (ធូលី ទឹកសំណល់)។
ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាទាំងនេះ ក្រុមរបស់សាស្ត្រាចារ្យ Xiu Xiangqian នៅសាកលវិទ្យាល័យ Nanjing បានបង្កើតឧបករណ៍កាត់ឡាស៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់សម្រាប់ SiC ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីបច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរលឿនបំផុតដើម្បីកាត់បន្ថយពិការភាព និងបង្កើនផលិតភាព។ សម្រាប់ដុំ SiC ទំហំ 20 មីលីម៉ែត្រ បច្ចេកវិទ្យានេះបង្កើនទិន្នផលបន្ទះសៀគ្វីទ្វេដងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងការកាត់ខ្សែបែបប្រពៃណី។ លើសពីនេះ បន្ទះសៀគ្វីដែលកាត់ដោយឡាស៊ែរបង្ហាញពីឯកសណ្ឋានធរណីមាត្រខ្ពស់ជាង ដែលអាចឱ្យកាត់បន្ថយកម្រាស់ដល់ 200 μm ក្នុងមួយបន្ទះសៀគ្វី និងបង្កើនទិន្នផលបន្ថែមទៀត។
គុណសម្បត្តិសំខាន់ៗ៖
- បានបញ្ចប់ការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) លើឧបករណ៍គំរូដើមទ្រង់ទ្រាយធំ ដែលត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់សម្រាប់ការកាត់បន្ទះ SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ទំហំ ៤-៦ អ៊ីញ និងបន្ទះ SiC ដែលអាចដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីបានទំហំ ៦ អ៊ីញ។
- ការកាត់ដុំដែកទំហំ ៨ អ៊ីញកំពុងស្ថិតក្រោមការផ្ទៀងផ្ទាត់។
- ពេលវេលាកាត់ខ្លីជាងមុនគួរឱ្យកត់សម្គាល់ ទិន្នផលប្រចាំឆ្នាំខ្ពស់ជាងមុន និងការកែលម្អទិន្នផល >50%។
ស្រទាប់ SiC របស់ XKH ប្រភេទ 4H-N
សក្តានុពលទីផ្សារ៖
ឧបករណ៍នេះត្រៀមខ្លួនរួចជាស្រេចដើម្បីក្លាយជាដំណោះស្រាយស្នូលសម្រាប់ការកាត់ដែក SiC ទំហំ 8 អ៊ីញ ដែលបច្ចុប្បន្នត្រូវបានគ្របដណ្ដប់ដោយការនាំចូលរបស់ជប៉ុនជាមួយនឹងការចំណាយខ្ពស់ និងការរឹតបន្តឹងការនាំចេញ។ តម្រូវការក្នុងស្រុកសម្រាប់ឧបករណ៍កាត់/ស្តើងដោយឡាស៊ែរលើសពី 1,000 គ្រឿង ប៉ុន្តែមិនមានជម្រើសចាស់ទុំដែលផលិតនៅប្រទេសចិនទេ។ បច្ចេកវិទ្យារបស់សាកលវិទ្យាល័យណានជីងមានតម្លៃទីផ្សារ និងសក្តានុពលសេដ្ឋកិច្ចយ៉ាងច្រើន។
ភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈច្រើនប្រភេទ៖
ក្រៅពី SiC ឧបករណ៍នេះគាំទ្រដល់ដំណើរការឡាស៊ែរនៃហ្គាលីញ៉ូមនីទ្រីត (GaN) អុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) និងពេជ្រ ដែលពង្រីកកម្មវិធីឧស្សាហកម្មរបស់វា។
តាមរយៈបដិវត្តន៍ដំណើរការបន្ទះ SiC ការច្នៃប្រឌិតនេះដោះស្រាយបញ្ហាកកស្ទះសំខាន់ៗក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ខណៈពេលដែលស្របនឹងនិន្នាការសកលឆ្ពោះទៅរកវត្ថុធាតុដើមដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងសន្សំសំចៃថាមពល។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការផ្តល់ស្រទាប់ SiC ទំហំពេញ 2-12 អ៊ីញ (រួមទាំងប្រភេទ 4H-N/SEMI, ប្រភេទ 4H/6H/3C) ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់វិស័យដែលមានការរីកចម្រើនខ្ពស់ដូចជា យានយន្តថាមពលថ្មី (NEVs) ការផ្ទុកថាមពល photovoltaic (PV) និងការទំនាក់ទំនង 5G។ ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីបច្ចេកវិទ្យាកាត់បន្ទះ wafer ទំហំធំដែលមានការខាតបង់ទាប និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ យើងសម្រេចបានការផលិតស្រទាប់ទំហំ 8 អ៊ីញយ៉ាងច្រើន និងរបកគំហើញថ្មីៗក្នុងបច្ចេកវិទ្យាលូតលាស់គ្រីស្តាល់ SiC ដែលអាចដឹកនាំបានទំហំ 12 អ៊ីញ ដែលកាត់បន្ថយថ្លៃដើមបន្ទះឈីបក្នុងមួយឯកតាយ៉ាងច្រើន។ ចាប់ពីពេលនេះតទៅ យើងនឹងបន្តធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការកាត់បន្ទះឡាស៊ែរកម្រិត ingot និងដំណើរការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងឆ្លាតវៃ ដើម្បីលើកកម្ពស់ទិន្នផលស្រទាប់ទំហំ 12 អ៊ីញដល់កម្រិតប្រកួតប្រជែងជាសកល ដោយផ្តល់អំណាចដល់ឧស្សាហកម្ម SiC ក្នុងស្រុកឱ្យបំបែកភាពផ្តាច់មុខអន្តរជាតិ និងពន្លឿនកម្មវិធីដែលអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានបាននៅក្នុងដែនកម្រិតខ្ពស់ដូចជាបន្ទះឈីបថ្នាក់រថយន្ត និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលម៉ាស៊ីនមេ AI។
ស្រទាប់ SiC របស់ XKH ប្រភេទ 4H-N
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៥