ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ក្នុងនាមជាសម្ភារៈពាក់កណ្តាលចរន្តអគ្គិសនីដែលមានគម្លាតធំទូលាយមួយប្រភេទ ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការអនុវត្តវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។ ស៊ីលីកុនកាបៃមានស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងដែនអគ្គិសនីខ្ពស់ ចរន្តអគ្គិសនីដោយចេតនា និងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះផ្សេងទៀត ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ ដោយសារតែតម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងមានស្ថេរភាពជាងមុន ការស្ទាត់ជំនាញបច្ចេកវិទ្យារីកចម្រើននៃស៊ីលីកុនកាបៃបានក្លាយជាចំណុចក្តៅ។
ដូច្នេះតើអ្នកដឹងប៉ុន្មានអំពីដំណើរការលូតលាស់ SiC?
ថ្ងៃនេះ យើងនឹងពិភាក្សាអំពីបច្ចេកទេសសំខាន់ៗចំនួនបីសម្រាប់ការលូតលាស់នៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបៃតែមួយ៖ ការដឹកជញ្ជូនចំហាយរូបវន្ត (PVT) អេពីតាក់ស៊ីដំណាក់កាលរាវ (LPE) និងការដាក់ចំហាយគីមីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (HT-CVD)។
វិធីសាស្ត្រផ្ទេរចំហាយទឹករូបវន្ត (PVT)
វិធីសាស្ត្រផ្ទេរចំហាយទឹករូបវន្ត គឺជាដំណើរការលូតលាស់ស៊ីលីកុនកាបៃមួយក្នុងចំណោមដំណើរការលូតលាស់ដែលប្រើជាទូទៅបំផុត។ ការលូតលាស់នៃស៊ីលីកុនកាបៃគ្រីស្តាល់តែមួយ ភាគច្រើនពឹងផ្អែកទៅលើការរលាយម្សៅស៊ីលីកុន និងការរលាយឡើងវិញលើគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ ក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នៅក្នុងចង្ក្រានក្រាហ្វីតបិទជិត ម្សៅស៊ីលីកុនកាបៃត្រូវបានកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ តាមរយៈការគ្រប់គ្រងជម្រាលសីតុណ្ហភាព ចំហាយស៊ីលីកុនកាបៃនឹងរួមតូចនៅលើផ្ទៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ ហើយបន្តិចម្តងៗ គ្រីស្តាល់តែមួយទំហំធំមួយនឹងដុះឡើង។
ភាគច្រើនលើសលប់នៃ SiC ម៉ូណូគ្រីស្តាលីនដែលយើងផ្គត់ផ្គង់នាពេលបច្ចុប្បន្នត្រូវបានផលិតឡើងតាមរបៀបនៃការរីកចម្រើននេះ។ វាក៏ជាវិធីសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផងដែរ។
ដំណាក់កាលរាវ epitaxy (LPE)
គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានរៀបចំដោយវិធីសាស្ត្រ epitaxy ដំណាក់កាលរាវតាមរយៈដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់នៅចំណុចប្រសព្វរឹង-រាវ។ នៅក្នុងវិធីសាស្ត្រនេះ ម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានរំលាយនៅក្នុងដំណោះស្រាយស៊ីលីកុន-កាបូននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយបន្ទាប់មកសីតុណ្ហភាពត្រូវបានបន្ទាប ដូច្នេះស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានធ្លាក់ចេញពីដំណោះស្រាយ ហើយលូតលាស់លើគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ។ គុណសម្បត្តិចម្បងនៃវិធីសាស្ត្រ LPE គឺសមត្ថភាពក្នុងការទទួលបានគ្រីស្តាល់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពលូតលាស់ទាប តម្លៃទាប ហើយវាសមស្របសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
ការបញ្ចេញចំហាយគីមីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (HT-CVD)
តាមរយៈការណែនាំឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកស៊ីលីកុន និងកាបូនចូលទៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយនៃស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានដាក់ដោយផ្ទាល់នៅលើផ្ទៃនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។ គុណសម្បត្តិនៃវិធីសាស្ត្រនេះគឺថាអត្រាលំហូរ និងលក្ខខណ្ឌប្រតិកម្មនៃឧស្ម័នអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់ ដើម្បីទទួលបានគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងមានបញ្ហាតិចតួច។ ដំណើរការ HT-CVD អាចផលិតគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះ ដែលមានតម្លៃជាពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការសម្ភារៈដែលមានគុណភាពខ្ពស់ខ្លាំង។
ដំណើរការលូតលាស់របស់ស៊ីលីកុនកាបៃគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការអនុវត្ត និងការអភិវឌ្ឍរបស់វា។ តាមរយៈការច្នៃប្រឌិតបច្ចេកវិទ្យា និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពជាបន្តបន្ទាប់ វិធីសាស្រ្តលូតលាស់ទាំងបីនេះដើរតួនាទីរៀងៗខ្លួន ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃឱកាសផ្សេងៗគ្នា ដោយធានាបាននូវទីតាំងសំខាន់នៃស៊ីលីកុនកាបៃ។ ជាមួយនឹងការស្រាវជ្រាវ និងវឌ្ឍនភាពបច្ចេកវិទ្យាកាន់តែស៊ីជម្រៅ ដំណើរការលូតលាស់នៃសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបៃនឹងបន្តធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ហើយដំណើរការនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចនឹងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងបន្ថែមទៀត។
(ការត្រួតពិនិត្យ)
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤