ព័ត៌មាន - តើ Wafer TTV, Bow, Warp ជាអ្វី ហើយតើវាត្រូវបានវាស់វែងយ៉ាងដូចម្តេច?

បញ្ជី

១. គោលគំនិតស្នូល និងរង្វាស់

២. បច្ចេកទេសវាស់វែង

៣. ដំណើរការទិន្នន័យ និងកំហុស

៤. ផលប៉ះពាល់នៃដំណើរការ

នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឯកសណ្ឋានកម្រាស់ និងភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃបន្ទះបន្ទះ គឺជាកត្តាសំខាន់ៗដែលប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផលដំណើរការ។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗដូចជា ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប (TTV) កោង (ការកោងកោង) កោង (ការកោងសកល) និង កោងតូច (ណាណូ-សណ្ឋានវិទ្យា) ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពនៃដំណើរការស្នូលដូចជា ការផ្តោតអារម្មណ៍ដោយពន្លឺ ការប៉ូលាគីមីមេកានិច (CMP) និងការរលាយស្រទាប់ស្តើង។

គោលគំនិតស្នូល និងរង្វាស់

TTV (ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប)

TTV សំដៅលើភាពខុសគ្នានៃកម្រាស់អតិបរមានៅទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូលនៅក្នុងតំបន់វាស់វែងដែលបានកំណត់ Ω (ជាធម្មតាមិនរាប់បញ្ចូលតំបន់ដកចេញគែម និងតំបន់នៅជិតស្នាមរន្ធ ឬរាបស្មើ)។ តាមគណិតវិទ្យា TTV = max(t(x,y)) – min(t(x,y))។ វាផ្តោតលើឯកសណ្ឋានកម្រាស់ខាងក្នុងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមបន្ទះសៀគ្វី ដែលខុសពីភាពរដុបនៃផ្ទៃ ឬឯកសណ្ឋានស្រទាប់ស្តើង។

ធ្នូ

បូវពិពណ៌នាអំពីគម្លាតបញ្ឈរនៃចំណុចកណ្តាលវ៉ាហ្វើរពីប្លង់យោងដែលសមល្មមនឹងការេតិចបំផុត។ តម្លៃវិជ្ជមាន ឬអវិជ្ជមានបង្ហាញពីកោងឡើងលើ ឬចុះក្រោមសកល។

កោង

Warp វាស់វែងភាពខុសគ្នាអតិបរមាពីកំពូលទៅជ្រលងភ្នំនៅទូទាំងចំណុចផ្ទៃទាំងអស់ទាក់ទងទៅនឹងប្លង់យោង ដោយវាយតម្លៃភាពរាបស្មើទាំងមូលរបស់ wafer ក្នុងស្ថានភាពសេរី។

មីក្រូវ៉ាប

មីក្រូវ៉ាប (ឬណាណូតូប៉ូក្រាហ្វី) ពិនិត្យមើលរលកតូចៗលើផ្ទៃក្នុងជួររលកលំហជាក់លាក់ (ឧទាហរណ៍ ០.៥-២០ មីលីម៉ែត្រ)។ ទោះបីជាមានទំហំតូចក៏ដោយ ការប្រែប្រួលទាំងនេះប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ដល់ជម្រៅនៃការផ្តោតអារម្មណ៍ (DOF) នៃលីចូក្រាហ្វី និងឯកសណ្ឋាន CMP។

ក្របខ័ណ្ឌយោងវាស់វែង

ម៉ែត្រទាំងអស់ត្រូវបានគណនាដោយប្រើបន្ទាត់មូលដ្ឋានធរណីមាត្រ ជាធម្មតាជាប្លង់ដែលសមល្មមតិចបំផុត (ប្លង់ LSQ)។ ការវាស់កម្រាស់តម្រូវឱ្យមានការតម្រឹមទិន្នន័យផ្ទៃខាងមុខ និងខាងក្រោយតាមរយៈគែមបន្ទះស្តើង ស្នាមរន្ធ ឬសញ្ញាតម្រឹម។ ការវិភាគមីក្រូវ៉ាបពាក់ព័ន្ធនឹងការច្រោះលំហដើម្បីទាញយកសមាសធាតុជាក់លាក់នៃរលក។

បច្ចេកទេសវាស់វែង

១. វិធីសាស្ត្រវាស់ស្ទង់ TTV

ទម្រង់ផ្ទៃពីរ
អន្តរកម្ម Fizeau៖ប្រើគែមជ្រៀតជ្រែករវាងប្លង់យោង និងផ្ទៃបន្ទះបន្ទះ។ ស័ក្តិសមសម្រាប់ផ្ទៃរលោង ប៉ុន្តែមានកម្រិតដោយបន្ទះបន្ទះបន្ទះកោងធំ។
អន្តរកម្មស្កេនពន្លឺពណ៌ស (SWLI):វាស់កម្ពស់ដាច់ខាតតាមរយៈស្រោមពន្លឺដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាទាប។ មានប្រសិទ្ធភាពសម្រាប់ផ្ទៃដូចជំហាន ប៉ុន្តែត្រូវបានរារាំងដោយល្បឿនស្កេនមេកានិច។
វិធីសាស្ត្រ Confocal៖សម្រេចបាននូវគុណភាពបង្ហាញក្រោមមីក្រូនតាមរយៈគោលការណ៍រន្ធម្ជុល ឬគោលការណ៍បំបែក។ ល្អសម្រាប់ផ្ទៃរដុប ឬថ្លា ប៉ុន្តែយឺតដោយសារតែការស្កេនចំណុចៗ។
ត្រីកោណឡាស៊ែរ៖ឆ្លើយតបរហ័ស ប៉ុន្តែងាយនឹងបាត់បង់ភាពត្រឹមត្រូវពីការប្រែប្រួលនៃការឆ្លុះបញ្ចាំងលើផ្ទៃ។

ការភ្ជាប់បញ្ជូន/ការឆ្លុះបញ្ចាំង
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសមត្ថភាពក្បាលពីរ៖ ការដាក់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាស៊ីមេទ្រីនៅសងខាងវាស់កម្រាស់ជា T = L – d₁ – d₂ (L = ចម្ងាយមូលដ្ឋាន)។ លឿនប៉ុន្តែងាយនឹងរងឥទ្ធិពលចំពោះលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈ។
អេលីបសូមេទ្រី/ស្ពិចត្រូស្កុប រេហ្វ្លាតូមេទ្រី៖ វិភាគអន្តរកម្មពន្លឺ-រូបធាតុសម្រាប់កម្រាស់ស្រទាប់ស្តើង ប៉ុន្តែមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ TTV ភាគច្រើនទេ។

២. ការវាស់វែងធ្នូ និងរួញ

អារេសមត្ថភាពពហុស៊ើបអង្កេត៖ ចាប់យកទិន្នន័យកម្ពស់វាលពេញលេញនៅលើឆាកផ្ទុកខ្យល់សម្រាប់ការកសាងឡើងវិញនូវរូបភាព 3D យ៉ាងរហ័ស។
ការបញ្ចាំងពន្លឺដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធ៖ ការបង្កើតទម្រង់ 3D ក្នុងល្បឿនលឿនដោយប្រើការបង្កើតរូបរាងអុបទិក។
អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូមេទ្រី NA ទាប៖ ការគូសផែនទីផ្ទៃដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ ប៉ុន្តែងាយនឹងរំញ័រ។

៣. ការវាស់វែងមីក្រូវ៉េវ

ការវិភាគប្រេកង់លំហ៖

ទទួលបានរូបភាពផ្ទៃដីដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់។
ដង់ស៊ីតេវិសាលគមថាមពលគណនា (PSD) តាមរយៈ 2D FFT។
អនុវត្តតម្រង bandpass (ឧ. 0.5–20 ម.ម) ដើម្បីញែករលកពន្លឺសំខាន់ៗ។
គណនាតម្លៃ RMS ឬ PV ពីទិន្នន័យដែលបានត្រង។

ការក្លែងធ្វើម៉ាស៊ីនបូមធូលី៖ធ្វើត្រាប់តាមឥទ្ធិពលនៃការគៀបក្នុងពិភពពិតអំឡុងពេលបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី។

ដំណើរការទិន្នន័យ និងប្រភពកំហុស

ដំណើរការការងារ

ធីធីវី៖តម្រឹមកូអរដោនេផ្ទៃខាងមុខ/ខាងក្រោយ គណនាភាពខុសគ្នានៃកម្រាស់ និងដកកំហុសជាប្រព័ន្ធ (ឧទាហរណ៍ ការរសាត់កម្ដៅ)។
ធ្នូ/រលក៖ធ្វើឲ្យប្លង់ LSQ សមទៅនឹងទិន្នន័យកម្ពស់; ធ្នូ = សំណល់ចំណុចកណ្តាល, កោង = សំណល់ពីកំពូលទៅជ្រលងភ្នំ។
មីក្រូវ៉េវ៖ត្រងប្រេកង់លំហ គណនាស្ថិតិ (RMS/PV)។

ប្រភពកំហុសសំខាន់ៗ

កត្តាបរិស្ថាន៖រំញ័រ (សំខាន់សម្រាប់អន្តរេហ្វេរ៉ូមេទ្រី) ភាពចលាចលខ្យល់ ការរសាត់កម្ដៅ។
ដែនកំណត់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា៖សំឡេងរំខានដំណាក់កាល (អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូមេទ្រី) កំហុសក្នុងការក្រិតតាមខ្នាតរលក (ខនហ្វូកាល់) ការឆ្លើយតបអាស្រ័យលើសម្ភារៈ (កាប៉ាស៊ីតង់)។
ការដោះស្រាយបន្ទះស្តើង៖ការមិនស៊ីគ្នានៃគែមដែលដកចេញ ភាពមិនត្រឹមត្រូវនៃដំណាក់កាលចលនាក្នុងការដេរ។

ផលប៉ះពាល់លើភាពសំខាន់នៃដំណើរការ

លីថូក្រាហ្វី៖ការរួញតូចក្នុងតំបន់ធ្វើឲ្យ DOF ថយចុះ ដែលបណ្តាលឲ្យមានការប្រែប្រួលនៃ CD និងកំហុសលើ Overlay។
ស៊ីអឹមភី៖អតុល្យភាព TTV ដំបូងនាំឱ្យមានសម្ពាធប៉ូលាមិនស្មើគ្នា។
ការវិភាគភាពតានតឹង៖ការវិវត្តន៍នៃធ្នូ/រួញបង្ហាញពីឥរិយាបថស្ត្រេសកម្ដៅ/មេកានិច។
ការវេចខ្ចប់៖TTV លើសបង្កើតជាចន្លោះប្រហោងនៅក្នុងចំណុចប្រទាក់ភ្ជាប់។

នំ Sapphire របស់ XKH

ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៨ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៥