នៅពេលពិនិត្យមើលបន្ទះស៊ីលីកុនស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឬស្រទាប់ខាងក្រោមដែលធ្វើពីវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត យើងតែងតែជួបប្រទះសូចនាករបច្ចេកទេសដូចជា៖ TTV, BOW, WARP និងប្រហែលជា TIR, STIR, LTV ជាដើម។ តើប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះតំណាងឱ្យអ្វីខ្លះ?
TTV - ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប
ធ្នូ — ធ្នូ
វ៉ាប - វ៉ាប
TIR — ការអានដែលបានបង្ហាញសរុប
STIR — ការអានដែលបានបង្ហាញសរុបរបស់គេហទំព័រ
LTV - ការប្រែប្រួលកម្រាស់ក្នុងស្រុក
១. ការប្រែប្រួលកម្រាស់សរុប — TTV
ភាពខុសគ្នារវាងកម្រាស់អតិបរមា និងអប្បបរមានៃបន្ទះ wafer ទាក់ទងទៅនឹងប្លង់យោងនៅពេលដែលបន្ទះ wafer ត្រូវបានគៀប និងប៉ះគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធ។ ជាទូទៅវាត្រូវបានបង្ហាញជាមីក្រូម៉ែត្រ (μm) ដែលជារឿយៗត្រូវបានតំណាងជា៖ ≤15 μm។
២. បូ — បូ
គម្លាតរវាងចម្ងាយអប្បបរមា និងអតិបរមាពីចំណុចកណ្តាលនៃផ្ទៃបន្ទះ wafer ទៅកាន់ប្លង់យោង នៅពេលដែលបន្ទះ wafer ស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពសេរី (មិនជាប់គាំង)។ នេះរួមបញ្ចូលទាំងករណីប៉ោង (កោងអវិជ្ជមាន) និងប៉ោង (កោងវិជ្ជមាន)។ ជាធម្មតាវាត្រូវបានបង្ហាញជាមីក្រូម៉ែត្រ (μm) ដែលជារឿយៗត្រូវបានតំណាងជា៖ ≤40 μm។
៣. វ៉ាប — វ៉ាប
គម្លាតរវាងចម្ងាយអប្បបរមា និងអតិបរមាពីផ្ទៃបន្ទះ wafer ទៅកាន់ប្លង់យោង (ជាធម្មតាផ្ទៃខាងក្រោយនៃបន្ទះ wafer) នៅពេលដែលបន្ទះ wafer ស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពសេរី (មិនជាប់គាំង)។ នេះរួមបញ្ចូលទាំងករណីប៉ោង (កោងអវិជ្ជមាន) និងប៉ោង (កោងវិជ្ជមាន)។ ជាទូទៅវាត្រូវបានបង្ហាញជាមីក្រូម៉ែត្រ (μm) ដែលជារឿយៗត្រូវបានតំណាងជា៖ ≤30 μm។
៤. ការអានសរុបដែលបានចង្អុលបង្ហាញ — TIR
នៅពេលដែលបន្ទះ wafer ត្រូវបានគៀប និងប៉ះគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធ ដោយប្រើប្លង់យោងដែលកាត់បន្ថយផលបូកនៃចំណុចប្រសព្វនៃចំណុចទាំងអស់នៅក្នុងតំបន់គុណភាព ឬតំបន់ក្នុងស្រុកជាក់លាក់មួយនៅលើផ្ទៃបន្ទះ wafer នោះ TIR គឺជាគម្លាតរវាងចម្ងាយអតិបរមា និងអប្បបរមាពីផ្ទៃបន្ទះ wafer ទៅកាន់ប្លង់យោងនេះ។
ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយផ្អែកលើជំនាញយ៉ាងស៊ីជម្រៅក្នុងការបញ្ជាក់សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដូចជា TTV, BOW, WARP និង TIR ក្រុមហ៊ុន XKH ផ្តល់ជូននូវសេវាកម្មកែច្នៃបន្ទះសៀគ្វីតាមតម្រូវការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងស្របតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មដ៏តឹងរ៉ឹង។ យើងផ្គត់ផ្គង់ និងគាំទ្រសម្ភារៈដំណើរការខ្ពស់ជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងបន្ទះសៀគ្វីត្បូងកណ្តៀង បន្ទះសៀគ្វីស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) បន្ទះសៀគ្វីស៊ីលីកុន SOI និងបន្ទះសៀគ្វីក្វាត ដែលធានាបាននូវភាពរាបស្មើ ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃកម្រាស់ និងគុណភាពផ្ទៃពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីកម្រិតខ្ពស់នៅក្នុងអុបតូអេឡិចត្រូនិច ឧបករណ៍ថាមពល និង MEMS។ ជឿទុកចិត្តលើយើងក្នុងការផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលអាចទុកចិត្តបាន និងការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលបំពេញតម្រូវការរចនាដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុតរបស់អ្នក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៥