ការផ្គត់ផ្គង់ថេររយៈពេលវែងនៃការជូនដំណឹង SiC 8 អ៊ីញ

នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនរបស់យើងអាចបន្តផ្គត់ផ្គង់ដុំតូចៗនៃប្រភេទ SiC wafers 8inchN ប្រសិនបើអ្នកមានតម្រូវការគំរូ សូមទាក់ទងមកខ្ញុំដោយសេរី។យើងមានគំរូ wafers មួយចំនួនត្រៀមដឹកជញ្ជូន។

ការផ្គត់ផ្គង់ថេររយៈពេលវែងនៃការជូនដំណឹង SiC 8 អ៊ីញ
ការផ្គត់ផ្គង់ថេររយៈពេលវែងនៃការជូនដំណឹង 8 អ៊ីញ SiC1

នៅក្នុងផ្នែកនៃសម្ភារៈ semiconductor ក្រុមហ៊ុនបានធ្វើឱ្យមានរបកគំហើញដ៏សំខាន់ក្នុងការស្រាវជ្រាវ និងការអភិវឌ្ឍនៃគ្រីស្តាល់ SiC ដែលមានទំហំធំ។ដោយប្រើគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជផ្ទាល់ខ្លួនបន្ទាប់ពីការពង្រីកអង្កត់ផ្ចិតជាច្រើនជុំ ក្រុមហ៊ុនបានរីកចម្រើនដោយជោគជ័យនូវគ្រីស្តាល់ N-type SiC ទំហំ 8 អ៊ីង ដែលដោះស្រាយបញ្ហាលំបាកៗដូចជា វាលសីតុណ្ហភាពមិនស្មើគ្នា ការបំបែកគ្រីស្តាល់ និងការចែកចាយវត្ថុធាតុដើមដំណាក់កាលឧស្ម័នក្នុងដំណើរការលូតលាស់នៃ គ្រីស្តាល់ SIC ទំហំ 8 អ៊ីញ និងបង្កើនល្បឿននៃការលូតលាស់នៃគ្រីស្តាល់ SIC ដែលមានទំហំធំ និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការដោយស្វយ័ត និងអាចគ្រប់គ្រងបាន។ពង្រឹងយ៉ាងខ្លាំងនូវការប្រកួតប្រជែងស្នូលរបស់ក្រុមហ៊ុននៅក្នុងឧស្សាហកម្មស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ SiC ។ជាមួយគ្នានេះ ក្រុមហ៊ុនបានជំរុញយ៉ាងសកម្មនូវការប្រមូលផ្តុំបច្ចេកវិជ្ជា និងដំណើរការនៃខ្សែពិសោធន៍រៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានទំហំធំ ពង្រឹងការផ្លាស់ប្តូរបច្ចេកទេស និងកិច្ចសហការឧស្សាហកម្មក្នុងវិស័យទឹកឡើង និងផ្នែកខាងក្រោម ព្រមទាំងសហការជាមួយអតិថិជនដើម្បីធ្វើប្រតិបត្តិការផលិតផលឡើងវិញជាបន្តបន្ទាប់ និងរួមគ្នា។ ជំរុញល្បឿននៃការអនុវត្តឧស្សាហកម្មនៃសមា្ភារៈស៊ីលីកុន carbide ។

លក្ខណៈពិសេស 8 អ៊ីញ N-type SiC DSP

ចំនួន ធាតុ ឯកតា ផលិតផល ស្រាវជ្រាវ អត់ចេះសោះ
1. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ
១.១ ពហុប្រភេទ -- 4H 4H 4H
១.២ ការតំរង់ទិសផ្ទៃ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី
២.១ សារធាតុពុល -- n-ប្រភេទអាសូត n-ប្រភេទអាសូត n-ប្រភេទអាសូត
២.២ ភាពធន់ អូម · សង់ទីម៉ែត្រ 0.015 ~ 0.025 0.01 ~ 0.03 NA
3. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិច
៣.១ អង្កត់ផ្ចិត mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
៣.២ កម្រាស់ μm 500 ± 25 500 ± 25 500 ± 25
៣.៣ ការតំរង់ទិសស្នាមរន្ធ ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
៣.៤ ជម្រៅស្នាមរន្ធ mm ១~១.៥ ១~១.៥ ១~១.៥
៣.៥ LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
៣.៦ ធីធីវី μm ≤10 ≤10 ≤15
៣.៧ ធ្នូ μm -២៥-២៥ -45~45 -៦៥~៦៥
៣.៨ Warp μm ≤30 ≤50 ≤70
៣.៩ AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. រចនាសម្ព័ន្ធ
៤.១ ដង់ស៊ីតេមីក្រូ ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
៤.២ មាតិកាលោហៈ អាតូម/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
៤.៣ TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
៤.៤ BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
៤.៥ TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. គុណភាពវិជ្ជមាន
៥.១ ខាងមុខ -- Si Si Si
៥.២ ការបញ្ចប់ផ្ទៃ -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
៥.៣ ភាគល្អិត ea/wafer ≤100(ទំហំ≥0.3μm) NA NA
៥.៤ កោស ea/wafer ≤5, ប្រវែងសរុប≤200mm NA NA
៥.៥ គែម
បន្ទះសៀគ្វី / ការចូលបន្ទាត់ / ការបំបែក / ស្នាមប្រឡាក់ / ការចម្លងរោគ
-- គ្មាន គ្មាន NA
៥.៦ តំបន់ពហុប្រភេទ -- គ្មាន តំបន់ ≤10% តំបន់ ≤30%
៥.៧ ការសម្គាល់ខាងមុខ -- គ្មាន គ្មាន គ្មាន
6. គុណភាពខាងក្រោយ
៦.១ ការបញ្ចប់ត្រឡប់មកវិញ -- C-មុខ MP C-មុខ MP C-មុខ MP
៦.២ កោស mm NA NA NA
៦.៣ គែមខាងក្រោយខូច
បន្ទះសៀគ្វី/ចូលបន្ទាត់
-- គ្មាន គ្មាន NA
៦.៤ ភាពរដុបនៃខ្នង nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
៦.៥ ការសម្គាល់ខាងក្រោយ -- ស្នាមរន្ធ ស្នាមរន្ធ ស្នាមរន្ធ
7. គែម
៧.១ គែម -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. កញ្ចប់
៨.១ ការវេចខ្ចប់ -- Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
៨.២ ការវេចខ្ចប់ -- ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត
ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត
ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត

ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-១៨-២០២៣