បន្ទះស៊ីអ៊ីកទំហំ 6 អ៊ីញ 4H/6H-P ថ្នាក់ MPD សូន្យ ថ្នាក់ផលិតកម្ម ថ្នាក់ក្លែងក្លាយ
តារាងប៉ារ៉ាម៉ែត្រទូទៅនៃស្រទាប់ SiC ប្រភេទ 4H/6H-P
6 ស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (SiC) ដែលមានអង្កត់ផ្ចិតអ៊ីញ លក្ខណៈបច្ចេកទេស
| ថ្នាក់ | ផលិតកម្ម MPD សូន្យថ្នាក់ (Z ថ្នាក់) | ផលិតកម្មស្តង់ដារថ្នាក់ (P ថ្នាក់) | ថ្នាក់ក្លែងក្លាយ (D ថ្នាក់) | ||
| អង្កត់ផ្ចិត | ១៤៥.៥ ម.ម. ~ ១៥០.០ ម.ម. | ||||
| កម្រាស់ | ៣៥០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ២៥ មីក្រូម៉ែត្រ | ||||
| ការតំរង់ទិសបន្ទះ | -Offអ័ក្ស៖ 2.0°-4.0° ឆ្ពោះទៅ [1120] ± 0.5° សម្រាប់ 4H/6H-P, លើអ័ក្ស៖ 〈111〉± 0.5° សម្រាប់ 3C-N | ||||
| ដង់ស៊ីតេមីក្រូភីភី | ០ សង់ទីម៉ែត្រ-២ | ||||
| ភាពធន់ | ប្រភេទ p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏសង់ទីម៉ែត្រ | ≤0.3 Ωꞏសង់ទីម៉ែត្រ | ||
| ប្រភេទ n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏសង់ទីម៉ែត្រ | ≤1 ម៉ែត្រ Ωꞏសង់ទីម៉ែត្រ | |||
| ទិសដៅសំប៉ែតចម្បង | 4H/6H-P | -{១០១០} ± ៥.០° | |||
| 3C-N | -{១១០} ± ៥.០° | ||||
| ប្រវែងសំប៉ែតបឋម | ៣២.៥ ម.ម ± ២.០ ម.ម | ||||
| ប្រវែងរាបស្មើបន្ទាប់បន្សំ | ១៨.០ ម.ម ± ២.០ ម.ម | ||||
| ទិសដៅរាបស្មើបន្ទាប់បន្សំ | ស៊ីលីកុនបែរមុខឡើងលើ៖ 90° CW. ពីផ្ទៃរាបស្មើបឋម ± 5.0° | ||||
| ការដកចេញគែម | ៣ ម.ម. | ៦ ម.ម. | |||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| ភាពរដុប | ប៉ូឡូញ Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| ស្នាមប្រេះគែមដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ | គ្មាន | ប្រវែងសរុប ≤ 10 ម.ម, ប្រវែងតែមួយ ≤ 2 ម.ម | |||
| បន្ទះ Hex ដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ | ផ្ទៃសរុប ≤0.05% | ផ្ទៃសរុប ≤0.1% | |||
| តំបន់ពហុប្រភេទដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ | គ្មាន | ផ្ទៃសរុប ≤3% | |||
| ការរួមបញ្ចូលកាបូនដែលមើលឃើញ | ផ្ទៃសរុប ≤0.05% | ផ្ទៃសរុប ≤3% | |||
| ស្នាមឆ្កូតលើផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ | គ្មាន | ប្រវែងសរុប ≤1 ×អង្កត់ផ្ចិតបន្ទះ | |||
| បន្ទះសៀគ្វីគែមខ្ពស់ដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេ | គ្មានអ្វីត្រូវបានអនុញ្ញាតទេ ≥0.2mm ទទឹង និងជម្រៅ | អនុញ្ញាត 5, ≤1 ម.ម ក្នុងមួយៗ | |||
| ការចម្លងរោគលើផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ | គ្មាន | ||||
| ការវេចខ្ចប់ | កាសែតវ៉ាហ្វើរច្រើន ឬកុងតឺន័រវ៉ាហ្វើរតែមួយ | ||||
កំណត់ចំណាំ៖
※ ដែនកំណត់នៃពិការភាពអនុវត្តចំពោះផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូលលើកលែងតែតំបន់ដកចេញគែម។ # ស្នាមឆ្កូតគួរតែត្រូវបានពិនិត្យនៅលើផ្ទៃ Si
បន្ទះសៀគ្វី SiC ប្រភេទ 4H/6H-P ទំហំ 6 អ៊ីញ ដែលមានថ្នាក់ Zero MPD និងកម្រិតផលិតកម្ម ឬកម្រិតសាកល្បង ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចកម្រិតខ្ពស់។ ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ វ៉ុលបំបែកខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់របស់វា ធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អេឡិចត្រូនិចថាមពល ដូចជាកុងតាក់វ៉ុលខ្ពស់ និងអាំងវឺរទ័រ។ ថ្នាក់ Zero MPD ធានានូវពិការភាពតិចតួចបំផុត ដែលសំខាន់សម្រាប់ឧបករណ៍ដែលមានភាពជឿជាក់ខ្ពស់។ បន្ទះសៀគ្វីកម្រិតផលិតកម្មត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍ថាមពលទ្រង់ទ្រាយធំ និងកម្មវិធី RF ដែលដំណើរការ និងភាពជាក់លាក់មានសារៈសំខាន់។ ម្យ៉ាងវិញទៀត បន្ទះសៀគ្វីកម្រិតសាកល្បង ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការក្រិតតាមខ្នាតដំណើរការ ការធ្វើតេស្តឧបករណ៍ និងការបង្កើតគំរូដើម ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងគុណភាពស្របគ្នានៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
គុណសម្បត្តិនៃស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ប្រភេទ N រួមមាន
- ចរន្តកំដៅខ្ពស់បន្ទះស៊ីលីកា 4H/6H-P បញ្ចេញកំដៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិកដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់។
- វ៉ុលបំបែកខ្ពស់សមត្ថភាពរបស់វាក្នុងការដោះស្រាយវ៉ុលខ្ពស់ដោយគ្មានការបរាជ័យធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អេឡិចត្រូនិចថាមពល និងកម្មវិធីប្តូរវ៉ុលខ្ពស់។
- ថ្នាក់ MPD សូន្យ (កំហុសបំពង់តូច)ដង់ស៊ីតេពិការភាពតិចតួចបំផុតធានានូវភាពជឿជាក់ និងដំណើរការកាន់តែខ្ពស់ ដែលសំខាន់សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលត្រូវការកម្លាំងខ្លាំង។
- កម្រិតផលិតកម្មសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំស័ក្តិសមសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំនៃឧបករណ៍ semiconductor ដំណើរការខ្ពស់ជាមួយនឹងស្តង់ដារគុណភាពតឹងរ៉ឹង។
- ថ្នាក់សាកល្បងសម្រាប់ការធ្វើតេស្ត និងការក្រិតតាមខ្នាត៖ អាចឱ្យមានការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ ការធ្វើតេស្តឧបករណ៍ និងការបង្កើតគំរូដើមដោយមិនចាំបាច់ប្រើបន្ទះសៀគ្វីកម្រិតផលិតកម្មដែលមានតម្លៃខ្ពស់។
ជារួម បន្ទះសៀគ្វី SiC ទំហំ 6 អ៊ីញ 4H/6H-P ដែលមានកម្រិត Zero MPD កម្រិតផលិតកម្ម និងកម្រិត dummy ផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិយ៉ាងសំខាន់សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានដំណើរការខ្ពស់។ បន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះមានប្រយោជន៍ជាពិសេសនៅក្នុងកម្មវិធីដែលត្រូវការប្រតិបត្តិការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់ និងការបំប្លែងថាមពលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ កម្រិត Zero MPD ធានានូវពិការភាពតិចតួចបំផុតសម្រាប់ដំណើរការឧបករណ៍ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងមានស្ថេរភាព ខណៈពេលដែលបន្ទះសៀគ្វីកម្រិតផលិតកម្មគាំទ្រដល់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងគុណភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ បន្ទះសៀគ្វីកម្រិត Dummy ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសន្សំសំចៃសម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ និងការក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍ ដែលធ្វើឱ្យពួកវាមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
ដ្យាក្រាមលម្អិត
