8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer ថ្នាក់ស្រាវជ្រាវអត់ចេះសោះ

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

នៅពេលដែលទីផ្សារដឹកជញ្ជូន ថាមពល និងឧស្សាហកម្មវិវឌ្ឍ តម្រូវការសម្រាប់គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចដែលមានថាមពលខ្ពស់ និងគួរឱ្យទុកចិត្តបានបន្តកើនឡើង។ដើម្បីបំពេញតម្រូវការសម្រាប់ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃ semiconductor ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍កំពុងស្វែងរកសម្ភារៈ semiconductor bandgap ធំទូលាយ ដូចជាផលប័ត្រ 4H SiC Prime Grade របស់យើងនៃ 4H n -type silicon carbide (SiC) wafers ។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងអេឡិចត្រូនិចតែមួយគត់របស់វា សម្ភារៈ semiconductor SiC wafer 200mm ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងវិទ្យុសកម្ម និងប្រេកង់ខ្ពស់។តម្លៃស្រទាប់ខាងក្រោម 8inch SiC កំពុងធ្លាក់ចុះបន្តិចម្តងៗ ដោយសារបច្ចេកវិទ្យាកាន់តែជឿនលឿន ហើយតម្រូវការកើនឡើង។ការវិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិជ្ជាថ្មីៗនាំទៅដល់ការផលិតខ្នាតផលិតកម្មនៃ 200mm SiC wafers ។គុណសម្បត្តិចម្បងនៃសមា្ភារៈ SiC wafer semiconductor ក្នុងការប្រៀបធៀបជាមួយ Si និង GaAs wafers: កម្លាំងវាលអគ្គិសនីនៃ 4H-SiC កំឡុងពេលការបាក់ធ្លាក់ព្រិលគឺច្រើនជាងលំដាប់នៃរ៉ិចទ័រខ្ពស់ជាងតម្លៃដែលត្រូវគ្នាសម្រាប់ Si និង GaAs ។នេះនាំឱ្យមានការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពធន់ទ្រាំនៅលើរដ្ឋ Ron ។ធន់ទ្រាំនឹងរដ្ឋទាប រួមផ្សំជាមួយនឹងដង់ស៊ីតេចរន្តខ្ពស់ និងចរន្តកំដៅ អនុញ្ញាតឱ្យប្រើការស្លាប់តូចបំផុតសម្រាប់ឧបករណ៍ថាមពល។ចរន្តកំដៅខ្ពស់របស់ SiC កាត់បន្ថយភាពធន់កំដៅរបស់បន្ទះឈីប។លក្ខណៈសម្បត្តិអេឡិចត្រូនិចនៃឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានលើ SiC wafers មានស្ថេរភាពខ្លាំងតាមពេលវេលា និងសីតុណ្ហភាពមានស្ថេរភាព ដែលធានានូវភាពជឿជាក់ខ្ពស់នៃផលិតផល។Silicon carbide មានភាពធន់ទ្រាំខ្លាំងចំពោះវិទ្យុសកម្មរឹងដែលមិនធ្វើឱ្យខូចលក្ខណៈសម្បត្តិអេឡិចត្រូនិចរបស់បន្ទះឈីប។សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការដែលមានកម្រិតខ្ពស់នៃគ្រីស្តាល់ (ច្រើនជាង 6000C) អនុញ្ញាតឱ្យអ្នកបង្កើតឧបករណ៍ដែលអាចទុកចិត្តបានខ្ពស់សម្រាប់លក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការដ៏លំបាក និងកម្មវិធីពិសេស។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ យើងអាចផ្គត់ផ្គង់ដុំតូច 200mmSiC wafers ជាបន្តបន្ទាប់ និងជាបន្តបន្ទាប់ និងមានស្តុកមួយចំនួននៅក្នុងឃ្លាំង។

ការបញ្ជាក់

ចំនួន ធាតុ ឯកតា ផលិតផល ស្រាវជ្រាវ អត់ចេះសោះ
1. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ
១.១ ពហុប្រភេទ -- 4H 4H 4H
១.២ ការតំរង់ទិសផ្ទៃ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី
២.១ សារធាតុពុល -- n-ប្រភេទអាសូត n-ប្រភេទអាសូត n-ប្រភេទអាសូត
២.២ ភាពធន់ អូម · សង់ទីម៉ែត្រ 0.015 ~ 0.025 0.01 ~ 0.03 NA
3. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិច
៣.១ អង្កត់ផ្ចិត mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
៣.២ កម្រាស់ μm 500 ± 25 500 ± 25 500 ± 25
៣.៣ ការតំរង់ទិសស្នាមរន្ធ ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
៣.៤ ជម្រៅស្នាមរន្ធ mm ១~១.៥ ១~១.៥ ១~១.៥
៣.៥ LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
៣.៦ ធីធីវី μm ≤10 ≤10 ≤15
៣.៧ ធ្នូ μm -២៥-២៥ -45~45 -៦៥~៦៥
៣.៨ Warp μm ≤30 ≤50 ≤70
៣.៩ AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. រចនាសម្ព័ន្ធ
៤.១ ដង់ស៊ីតេមីក្រូ ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
៤.២ មាតិកាលោហៈ អាតូម/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
៤.៣ TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
៤.៤ BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
៤.៥ TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. គុណភាពវិជ្ជមាន
៥.១ ខាងមុខ -- Si Si Si
៥.២ ការបញ្ចប់ផ្ទៃ -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
៥.៣ ភាគល្អិត ea/wafer ≤100(ទំហំ≥0.3μm) NA NA
៥.៤ កោស ea/wafer ≤5, ប្រវែងសរុប≤200mm NA NA
៥.៥ គែម
បន្ទះសៀគ្វី / ការចូលបន្ទាត់ / ការបំបែក / ស្នាមប្រឡាក់ / ការចម្លងរោគ
-- គ្មាន គ្មាន NA
៥.៦ តំបន់ពហុប្រភេទ -- គ្មាន តំបន់ ≤10% តំបន់ ≤30%
៥.៧ ការសម្គាល់ខាងមុខ -- គ្មាន គ្មាន គ្មាន
6. គុណភាពខាងក្រោយ
៦.១ ការបញ្ចប់ត្រឡប់មកវិញ -- C-មុខ MP C-មុខ MP C-មុខ MP
៦.២ កោស mm NA NA NA
៦.៣ គែមខាងក្រោយខូច
បន្ទះសៀគ្វី/ចូលបន្ទាត់
-- គ្មាន គ្មាន NA
៦.៤ ភាពរដុបនៃខ្នង nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
៦.៥ ការសម្គាល់ខាងក្រោយ -- ស្នាមរន្ធ ស្នាមរន្ធ ស្នាមរន្ធ
7. គែម
៧.១ គែម -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. កញ្ចប់
៨.១ ការវេចខ្ចប់ -- Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
Epi-រួចរាល់ជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ការវេចខ្ចប់
៨.២ ការវេចខ្ចប់ -- ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត
ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត
ពហុវែរ
ការវេចខ្ចប់កាសែត

ដ្យាក្រាមលម្អិត

8 អ៊ីញ SiC03
8 អ៊ីញ SiC4
8 អ៊ីញ SiC5
8 អ៊ីញ SiC6

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង