បន្ទះ SiC Epi ទំហំ 4 អ៊ីញ សម្រាប់ MOS ឬ SBD

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

SiCC មានខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មស្រទាប់បន្ទះសៀគ្វី SiC (Silicon Carbide) ពេញលេញ ដោយរួមបញ្ចូលការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ ការកែច្នៃបន្ទះសៀគ្វី ការផលិតបន្ទះសៀគ្វី ការប៉ូលា ការសម្អាត និងការធ្វើតេស្ត។ បច្ចុប្បន្ននេះ យើងអាចផ្គត់ផ្គង់បន្ទះសៀគ្វី SiC 4H និង 6H ដែលមានទំហំ 5x5mm2, 10x10mm2, 2″, 3″, 4″ និង 6″ ដែលទម្លុះការទប់ស្កាត់ពិការភាព ការកែច្នៃគ្រាប់ពូជគ្រីស្តាល់ និងការលូតលាស់លឿន និងបច្ចេកវិទ្យាផ្សេងៗទៀត។ វាបានទម្លុះបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ៗដូចជាការទប់ស្កាត់ពិការភាព ការកែច្នៃគ្រាប់ពូជគ្រីស្តាល់ និងការលូតលាស់លឿន និងបានលើកកម្ពស់ការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ជាមូលដ្ឋាននៃ epitaxy ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ ឧបករណ៍ និងការស្រាវជ្រាវជាមូលដ្ឋានពាក់ព័ន្ធផ្សេងទៀត។


លក្ខណៈពិសេស

អេពីតាស៊ី (Epitaxial) សំដៅលើការលូតលាស់នៃស្រទាប់សម្ភារៈគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ ក្នុងចំណោមនោះ ការលូតលាស់នៃស្រទាប់អេពីតាស៊ីលហ្គាលីញ៉ូមនីទ្រីតនៅលើស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ត្រូវបានគេហៅថា អេពីតាស៊ីមិនដូចគ្នា; ការលូតលាស់នៃស្រទាប់អេពីតាស៊ីលស៊ីលីកុនកាប៊ីតនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលដឹកនាំបានត្រូវបានគេហៅថា អេពីតាស៊ីដូចគ្នា។

Epitaxial គឺស្របតាមតម្រូវការរចនាឧបករណ៍នៃការលូតលាស់នៃស្រទាប់មុខងារសំខាន់ ដែលភាគច្រើនកំណត់ដំណើរការរបស់បន្ទះឈីប និងឧបករណ៍ ដែលមានតម្លៃ 23%។ វិធីសាស្រ្តសំខាន់ៗនៃ epitaxy ខ្សែភាពយន្តស្តើង SiC នៅដំណាក់កាលនេះរួមមាន៖ ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) epitaxy ធ្នឹមម៉ូលេគុល (MBE) epitaxy ដំណាក់កាលរាវ (LPE) និងការដាក់ឡាស៊ែរជីពចរ និង sublimation (PLD)។

Epitaxy គឺជាតំណភ្ជាប់ដ៏សំខាន់បំផុតមួយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មទាំងមូល។ តាមរយៈការលូតលាស់ស្រទាប់ epitaxial GaN នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ បន្ទះស្រទាប់ epitaxial GaN ដែលផ្អែកលើស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានផលិត ដែលអាចត្រូវបានផលិតបន្ថែមទៀតទៅជាឧបករណ៍ GaN RF ដូចជាត្រង់ស៊ីស្ទ័រចល័តអេឡិចត្រុងខ្ពស់ (HEMTs)។

ដោយ​ការ​ដាំ​ស្រទាប់​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ្រាត​លើ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម​ដែល​មាន​ចរន្ត​អគ្គិសនី​ដើម្បី​ទទួល​បាន​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ្រាត​ ហើយ​នៅ​ក្នុង​ស្រទាប់​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ្រាត​ដើម្បី​ផលិត​ឌីយ៉ូដ Schottky ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ​ពាក់​កណ្ដាល​វាល​មាស-អុកស៊ីសែន ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ​បាយប៉ូឡា​ច្រក​អ៊ីសូឡង់ និង​ឧបករណ៍​ថាមពល​ផ្សេងៗ​ទៀត គុណភាព​នៃ​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​លើ​ដំណើរការ​របស់​ឧបករណ៍​នេះ​មាន​ឥទ្ធិពល​យ៉ាង​ខ្លាំង​លើ​ការ​អភិវឌ្ឍ​ឧស្សាហកម្ម​ក៏​ដើរ​តួនាទី​យ៉ាង​សំខាន់​ផង​ដែរ។

ដ្យាក្រាមលម្អិត

អាសឌី (1)
អាសឌី (2)

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង