បន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃ SiC ទំហំ ៨អ៊ីញ ២០០មីលីម៉ែត្រ ប្រភេទ 4H-N កម្រិតផលិតកម្ម កម្រាស់ ៥០០អ៊ុម

បន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃ SiC ទំហំ ៨អ៊ីញ ២០០មីលីម៉ែត្រ ប្រភេទ 4H-N ថ្នាក់ផលិតកម្ម កម្រាស់ ៥០០អ៊ុម រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ក្រុមហ៊ុន Shanghai Xinkehui Tech. Co., Ltd ផ្តល់ជូននូវជម្រើស និងតម្លៃល្អបំផុតសម្រាប់បន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃ និងស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានគុណភាពខ្ពស់រហូតដល់អង្កត់ផ្ចិត 8 អ៊ីញ ជាមួយនឹងប្រភេទ N- និងប្រភេទពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់។ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចរន្តអគ្គិសនីខ្នាតតូច និងធំ និងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវទូទាំងពិភពលោកប្រើប្រាស់ និងពឹងផ្អែកលើបន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃរបស់យើង។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃស្រទាប់ SiC ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ទំហំ 8 អ៊ីញ

ទំហំ៖ ៨ អ៊ីញ;

អង្កត់ផ្ចិត: 200mm ± 0.2;

កម្រាស់: 500um ± 25;

ទិសផ្ទៃ៖ ៤ ឆ្ពោះទៅ [១១-២០]±០.៥°;

ទិសដៅស្នាមរន្ធ៖[1-100]±1°;

ជម្រៅស្នាមរន្ធ៖ 1±0.25មម

បំពង់មីក្រូ៖ <1cm2;

ចានឆកោន៖ គ្មានការអនុញ្ញាត;

ភាពធន់៖ ០.០១៥~០.០២៨Ω;

EPD: <8000cm2;

TED: <6000cm2

សម្ពាធឈាមឡើងខ្ពស់៖ <2000cm2

TSD: <1000cm2

SF: ផ្ទៃ <1%

TTV≤15um;

រួញ ≤ 40um

ធ្នូ≤25um;

តំបន់ពហុ: ≤5%;

ស្នាមឆ្កូត៖ <5 និងប្រវែងសរុប < 1 អង្កត់ផ្ចិតបន្ទះស្តើង;

បន្ទះឈីប/ការចូលបន្ទាត់៖ គ្មានអនុញ្ញាតឲ្យមានទទឹង និងជម្រៅ D > 0.5mm;

ស្នាមប្រេះ៖ គ្មាន;

ស្នាមប្រឡាក់៖ គ្មាន

គែមបន្ទះ៖ កាត់គែម;

ផ្ទៃបញ្ចប់៖ ប៉ូលាសងខាងទ្វេ, Si Face CMP;

ការវេចខ្ចប់៖ កាសែតវ៉ាហ្វើរច្រើន ឬកុងតឺន័រវ៉ាហ្វើរតែមួយ;

ការលំបាកបច្ចុប្បន្នក្នុងការរៀបចំគ្រីស្តាល់ 4H-SiC ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រសំខាន់ៗ

១) ការរៀបចំគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ 4H-SiC ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ដែលមានគុណភាពខ្ពស់;

2) ភាពមិនស្មើគ្នានៃដែនសីតុណ្ហភាពទំហំធំ និងការគ្រប់គ្រងដំណើរការបង្កើតស្នូល;

៣) ប្រសិទ្ធភាពដឹកជញ្ជូន និងការវិវត្តនៃសមាសធាតុឧស្ម័ននៅក្នុងប្រព័ន្ធលូតលាស់គ្រីស្តាល់ធំៗ;

៤) ការប្រេះគ្រីស្តាល់ និងការរីកសាយនៃពិការភាពដែលបណ្តាលមកពីការកើនឡើងនៃភាពតានតឹងកម្ដៅក្នុងទំហំធំ។

ដើម្បីជម្នះបញ្ហាប្រឈមទាំងនេះ និងទទួលបានបន្ទះ SiC ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដំណោះស្រាយត្រូវបានស្នើឡើង៖

ទាក់ទងនឹងការរៀបចំគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ វាលលំហូរសីតុណ្ហភាពសមស្រប និងការផ្គុំពង្រីកត្រូវបានសិក្សា និងរចនាឡើងដើម្បីគិតគូរពីគុណភាពគ្រីស្តាល់ និងទំហំពង្រីក។ ដោយចាប់ផ្តើមជាមួយគ្រីស្តាល់ SiC ទំហំ 150 មីលីម៉ែត្រ អនុវត្តការធ្វើឡើងវិញនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជដើម្បីពង្រីកទំហំគ្រីស្តាល់ SiC បន្តិចម្តងៗរហូតដល់វាឈានដល់ 200 មីលីម៉ែត្រ។ តាមរយៈការលូតលាស់ និងដំណើរការគ្រីស្តាល់ច្រើនដង បង្កើនប្រសិទ្ធភាពគុណភាពគ្រីស្តាល់បន្តិចម្តងៗនៅក្នុងតំបន់ពង្រីកគ្រីស្តាល់ និងបង្កើនគុណភាពនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ។

ទាក់ទងនឹងការរៀបចំគ្រីស្តាល់ដែលមានចរន្តអគ្គិសនីទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ និងស្រទាប់ខាងក្រោម ការស្រាវជ្រាវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការរចនាវាលសីតុណ្ហភាព និងវាលលំហូរសម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ទំហំធំ ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ SiC ដែលមានចរន្តអគ្គិសនីទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ និងគ្រប់គ្រងឯកសណ្ឋាននៃសារធាតុដូប៉ាមីន។ បន្ទាប់ពីដំណើរការរដុប និងការបង្កើតរូបរាងគ្រីស្តាល់រួច ដុំដែក 4H-SiC ដែលមានចរន្តអគ្គិសនីទំហំ 8 អ៊ីញ ដែលមានអង្កត់ផ្ចិតស្តង់ដារត្រូវបានទទួល។ បន្ទាប់ពីកាត់ កិន ប៉ូលា និងកែច្នៃដើម្បីទទួលបានបន្ទះ SiC ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ដែលមានកម្រាស់ប្រហែល 525 មីលីម៉ែត្រ។