ស្រទាប់ SiC 4H-N ថ្នាក់ទីផលិត 8 អ៊ីញ
តារាងខាងក្រោមបង្ហាញពីលក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃបន្ទះ SiC ទំហំ ៨អ៊ីញរបស់យើង៖
| លក្ខណៈបច្ចេកទេស DSP SiC ប្រភេទ N ទំហំ 8 អ៊ីញ | |||||
| លេខ | វត្ថុ | ឯកតា | ផលិតកម្ម | ការស្រាវជ្រាវ | តុក្កតា |
| ១:ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | |||||
| ១.១ | ពហុប្រភេទ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ១.២ | ទិសដៅផ្ទៃ | ° | <១១-២០>៤±០.៥ | <១១-២០>៤±០.៥ | <១១-២០>៤±០.៥ |
| 2: ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី | |||||
| ២.១ | សារធាតុរំលាយអាហារ | -- | អាសូតប្រភេទ n | អាសូតប្រភេទ n | អាសូតប្រភេទ n |
| ២.២ | ភាពធន់ | អូម · សង់ទីម៉ែត្រ | ០.០១៥~០.០២៥ | ០.០១~០.០៣ | NA |
| ៣: ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិច | |||||
| ៣.១ | អង្កត់ផ្ចិត | mm | ២០០±០.២ | ២០០±០.២ | ២០០±០.២ |
| ៣.២ | កម្រាស់ | μm | ៥០០ ± ២៥ | ៥០០ ± ២៥ | ៥០០ ± ២៥ |
| ៣.៣ | ទិសដៅស្នាមរន្ធ | ° | [១- ១០០] ± ៥ | [១- ១០០] ± ៥ | [១- ១០០] ± ៥ |
| ៣.៤ | ជម្រៅស្នាមរន្ធ | mm | ១~១.៥ | ១~១.៥ | ១~១.៥ |
| ៣.៥ | អត្រាជួលអចលនទ្រព្យ (LTV) | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10មម * 10មម) |
| ៣.៦ | ធីធីវី | μm | ≤១០ | ≤១០ | ≤១៥ |
| ៣.៧ | ធ្នូ | μm | -២៥~២៥ | -៤៥~៤៥ | -៦៥~៦៥ |
| ៣.៨ | កោង | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| ៣.៩ | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| ៤:រចនាសម្ព័ន្ធ | |||||
| ៤.១ | ដង់ស៊ីតេមីក្រូបំពង់ | ea/cm2 | ≤2 | ≤១០ | ≤50 |
| ៤.២ | មាតិកាលោហៈ | អាតូម/សង់ទីម៉ែត្រគូប | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| ៤.៣ | TSD | ea/cm2 | ≤៥០០ | ≤1000 | NA |
| ៤.៤ | ជំងឺរលាកថ្លើមប្រភេទ BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| ៤.៥ | ថេដ | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| ៥. គុណភាពផ្នែកខាងមុខ | |||||
| ៥.១ | ខាងមុខ | -- | Si | Si | Si |
| ៥.២ | ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | -- | ស៊ី-ហ្វ៊េស ស៊ីភីអឹមភី | ស៊ី-ហ្វ៊េស ស៊ីភីអឹមភី | ស៊ី-ហ្វ៊េស ស៊ីភីអឹមភី |
| ៥.៣ | ភាគល្អិត | ea/wafer | ≤100 (ទំហំ≥0.3μm) | NA | NA |
| ៥.៤ | កោស | ea/wafer | ≤5, ប្រវែងសរុប ≤200mm | NA | NA |
| ៥.៥ | គែម បន្ទះសៀគ្វី/ស្នាមប្រេះ/ស្នាមប្រេះ/ស្នាមប្រឡាក់/ការចម្លងរោគ | -- | គ្មាន | គ្មាន | NA |
| ៥.៦ | តំបន់ពហុប្រភេទ | -- | គ្មាន | ផ្ទៃ ≤10% | ផ្ទៃ ≤30% |
| ៥.៧ | សញ្ញាសម្គាល់ខាងមុខ | -- | គ្មាន | គ្មាន | គ្មាន |
| ៦: គុណភាពខាងក្រោយ | |||||
| ៦.១ | បញ្ចប់ផ្នែកខាងក្រោយ | -- | សមាជិកសភាមុខ C | សមាជិកសភាមុខ C | សមាជិកសភាមុខ C |
| ៦.២ | កោស | mm | NA | NA | NA |
| ៦.៣ | គែមខូចផ្នែកខាងក្រោយ បន្ទះសៀគ្វី/ការចូលបន្ទាត់ | -- | គ្មាន | គ្មាន | NA |
| ៦.៤ | ភាពរដុបខាងក្រោយ | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| ៦.៥ | ស្នាមសម្គាល់ខាងក្រោយ | -- | ស្នាមរន្ធ | ស្នាមរន្ធ | ស្នាមរន្ធ |
| ៧:គែម | |||||
| ៧.១ | គែម | -- | កាត់គែម | កាត់គែម | កាត់គែម |
| ៨:កញ្ចប់ | |||||
| ៨.១ | ការវេចខ្ចប់ | -- | ត្រៀមរួចជាស្រេចជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី ការវេចខ្ចប់ | ត្រៀមរួចជាស្រេចជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី ការវេចខ្ចប់ | ត្រៀមរួចជាស្រេចជាមួយម៉ាស៊ីនបូមធូលី ការវេចខ្ចប់ |
| ៨.២ | ការវេចខ្ចប់ | -- | បន្ទះស្តើងច្រើនស្រទាប់ ការវេចខ្ចប់កាសែត | បន្ទះស្តើងច្រើនស្រទាប់ ការវេចខ្ចប់កាសែត | បន្ទះស្តើងច្រើនស្រទាប់ ការវេចខ្ចប់កាសែត |
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ
សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង