វិធីសាស្ត្រ KY ដោយប្រើដុំថ្មត្បូងកណ្តៀងដែលដុះនៅពេលដាំ
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅ
A ប៊ូលពណ៌ខៀវស្រងាត់គឺជាគ្រីស្តាល់តែមួយដ៏ធំ ដែលដុះឡើងដោយអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដែលបម្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់បន្ទះកញ្ចក់ត្បូងកណ្តៀង បង្អួចអុបទិក គ្រឿងបន្លាស់ធន់នឹងការពាក់ និងការកាត់ត្បូង។ ជាមួយភាពរឹងរបស់ Mohs 9, ស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ(ចំណុចរលាយ ~2050 °C) និងតម្លាភាពអ៊ីនធឺណិតល្បឿនលឿនចាប់ពីកាំរស្មីយូវីរហូតដល់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដកម្រិតមធ្យម ត្បូងកណ្តៀងគឺជាវត្ថុធាតុដើមស្តង់ដារ ដែលភាពធន់ អនាម័យ និងគុណភាពអុបទិកត្រូវតែមានរួមគ្នា។
យើងផ្គត់ផ្គង់គ្រាប់ពេជ្រត្បូងកណ្តៀងគ្មានពណ៌ និងគ្រាប់ពេជ្រដែលមានសារធាតុបន្ថែម ដែលផលិតដោយវិធីសាស្ត្រដាំដុះដែលបង្ហាញឱ្យឃើញដោយឧស្សាហកម្ម ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់អ៊ីពីតាក់ស៊ី GaN/AlGaN, អុបទិកភាពជាក់លាក់និងសមាសធាតុឧស្សាហកម្មដែលមានភាពជឿជាក់ខ្ពស់.
ហេតុអ្វីបានជា Sapphire Boule ពីយើង
-
គុណភាពគ្រីស្តាល់ជាមុនសិន៖ភាពតានតឹងខាងក្នុងទាប មាតិកាពពុះ/ស្នាមទាប ការគ្រប់គ្រងការតំរង់ទិសយ៉ាងតឹងរ៉ឹងសម្រាប់ការកាត់ផ្នែកខាងក្រោម និង epitaxy។
-
ភាពបត់បែននៃដំណើរការ៖ជម្រើសនៃការដាំដុះ KY/HEM/CZ/Verneuil ដើម្បីធ្វើឱ្យទំហំ ភាពតានតឹង និងថ្លៃដើមមានតុល្យភាពសម្រាប់កម្មវិធីរបស់អ្នក។
-
ធរណីមាត្រដែលអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានបាន៖ប៊ូលរាងស៊ីឡាំង រាងការ៉ុត ឬរាងប្លុក ជាមួយនឹងសំប៉ែតផ្ទាល់ខ្លួន ការព្យាបាលគ្រាប់/ចុង និងប្លង់យោង។
-
អាចតាមដាន និងធ្វើម្តងទៀតបាន៖កំណត់ត្រាបាច់ របាយការណ៍រង្វាស់ និងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យទទួលយកដែលត្រូវគ្នានឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសរបស់អ្នក។
បច្ចេកវិទ្យាកំណើន
-
KY (គីរ៉ូពូឡូស)៖ប៊ូលអង្កត់ផ្ចិតធំ មានភាពតានតឹងទាប; ពេញនិយមសម្រាប់បន្ទះបន្ទះស្តើងៗ និងអុបទិកកម្រិតខ្ពស់ ដែលឯកសណ្ឋាននៃការបញ្ចេញពន្លឺខុសប្រក្រតីមានសារៈសំខាន់។
-
HEM (វិធីសាស្ត្រផ្លាស់ប្តូរកំដៅ):ជម្រាលកម្ដៅ និងការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ; ទាក់ទាញសម្រាប់អុបទិកក្រាស់ និងវត្ថុធាតុដើមអេពីលំដាប់ខ្ពស់។
-
CZ (Czochralski):ការគ្រប់គ្រងយ៉ាងខ្លាំងនៃការតំរង់ទិស និងលទ្ធភាពផលិតឡើងវិញ; ជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់ការកាត់ដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា និងផ្តល់ទិន្នផលខ្ពស់។
-
វើណឺអ៊ីល (អណ្តាតភ្លើង-លាយបញ្ចូលគ្នា)៖សន្សំសំចៃថ្លៃដើម ទិន្នផលខ្ពស់; សមរម្យសម្រាប់អុបទិកទូទៅ គ្រឿងបន្លាស់មេកានិច និងការផលិតត្បូងជាមុន។
ទិសដៅគ្រីស្តាល់ ធរណីមាត្រ និងទំហំ
-
ទិសដៅស្តង់ដារ៖ ប្លង់ c (០០០១), យន្តហោះ A (១១-២០), ប្លង់ r (១-១០២), ប្លង់ម៉ែត្រ (10-10); យន្តហោះផ្ទាល់ខ្លួនអាចរកបាន។
-
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតំរង់ទិស៖≤ ±0.1° ដោយ Laue/XRD (តឹងជាងនេះតាមការស្នើសុំ)។
-
រាង៖ប៊ូលរាងស៊ីឡាំង ឬរាងការ៉ុត ប្លុកការ៉េ/ចតុកោណកែង និងដំបង។
-
ស្រោមសំបុត្រទំហំធម្មតា៖ Ø30–220 ម.ម, ប្រវែង 50–400 ម.ម(ធំ/តូច ផលិតតាមការបញ្ជាទិញ)។
-
លក្ខណៈពិសេសនៃចុងបញ្ចប់/ឯកសារយោង៖ការកែច្នៃផ្ទៃខាងដើម/ចុង ផ្ទៃសំប៉ែត/ស្នាមរន្ធយោង និងឯកសារសម្គាល់សម្រាប់ការតម្រឹមខាងក្រោម។
លក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈ និងអុបទិក
-
សមាសភាព៖គ្រីស្តាល់ទោល Al₂O₃ ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុដើម ≥ 99.99%។
-
ដង់ស៊ីតេ៖~៣,៩៨ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប
-
ភាពរឹង៖ម៉ូស ៩
-
សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ (589 nm): នₒ≈ ១,៧៦៨,nₑ≈ 1.760 (អ័ក្សឯកវចនៈអវិជ្ជមាន; Δn ≈ 0.008)
-
បង្អួចបញ្ជូន៖ កាំរស្មីយូវីដល់ ~5 មីក្រូម៉ែត្រ(អាស្រ័យលើកម្រាស់ និងភាពមិនបរិសុទ្ធ)
-
ចរន្តកំដៅ (300 K):~២៥ វ៉ាត់·ម៉ែត្រ⁻¹·គីឡូវ៉ាត់⁻¹
-
CTE (២០–៣០០ អង្សាសេ)៖~៥–៨ × ១០⁻⁶ /K (អាស្រ័យលើទិសដៅ)
-
ម៉ូឌុលរបស់ Young៖~៣៤៥ ជីភីអា
-
អគ្គិសនី៖មានអ៊ីសូឡង់ខ្ពស់ (រេស៊ីស្តង់បរិមាណជាធម្មតា ≥ 10¹⁴ Ω·សង់ទីម៉ែត្រ)
ថ្នាក់ និងជម្រើស
-
ថ្នាក់ Epitaxy៖ពពុះ/ស្នាមរលកទាបបំផុត និងភាពតានតឹងនៃការបញ្ចេញពន្លឺទ្វេអប្បបរមាសម្រាប់បន្ទះ GaN/AlGaN MOCVD ដែលផ្តល់ទិន្នផលខ្ពស់ (២–៨ អ៊ីញ និងខ្ពស់ជាងនេះទៅខាងក្រោម)។
-
ថ្នាក់អុបទិក៖ការបញ្ជូនខាងក្នុងខ្ពស់ និងភាពដូចគ្នាសម្រាប់បង្អួច កញ្ចក់ និងច្រកមើល IR។
-
ថ្នាក់ទូទៅ/មេកានិច៖វត្ថុធាតុដើមប្រើប្រាស់បានយូរ និងសន្សំសំចៃសម្រាប់គ្រីស្តាល់នាឡិកា ប៊ូតុង គ្រឿងបន្លាស់ដែលពាក់ និងស្រោម។
-
ការប្រើប្រាស់សារធាតុញៀន/ពណ៌៖
-
គ្មានពណ៌(ស្តង់ដារ)
Cr:Al₂O₃(ពណ៌ Ruby),Ti:Al₂O₃(Ti:sapphire) ទម្រង់មុនៗ
ក្រូម៉ូហ្វ័រផ្សេងទៀត (Fe/Ti) តាមការស្នើសុំ
-
កម្មវិធី
បន្ទះឈីប៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមសម្រាប់អំពូល LED GaN, មីក្រូ LED, អំពូល HEMTs ថាមពល, ឧបករណ៍ RF (វត្ថុធាតុដើមធ្វើពីបន្ទះ sapphire wafer)។
អុបទិក និងហ្វូតូនិក៖ បង្អួចសីតុណ្ហភាពខ្ពស់/សម្ពាធខ្ពស់ ច្រកមើលអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ បង្អួចប្រហោងឡាស៊ែរ គម្របឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។
អ្នកប្រើប្រាស់ និងសម្ភារៈពាក់៖ គ្រីស្តាល់នាឡិកា គម្របកញ្ចក់កាមេរ៉ា គម្របឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាស្នាមម្រាមដៃ គ្រឿងបន្លាស់ខាងក្រៅលំដាប់ខ្ពស់។
ឧស្សាហកម្ម និងអវកាស៖ ក្បាលបាញ់ កៅអីវ៉ាល់ ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់ បង្អួចការពារ និងរន្ធសង្កេត។
ការលូតលាស់ដោយឡាស៊ែរ/គ្រីស្តាល់៖ សារធាតុ Ti:sapphire និង ruby ពីបាល់ដែលមានសារធាតុផ្សំ។
ទិន្នន័យសង្ខេប (ធម្មតា សម្រាប់ជាឯកសារយោង)
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | តម្លៃ (ធម្មតា) |
|---|---|
| សមាសភាព | គ្រីស្តាល់តែមួយ Al₂O₃ (ភាពបរិសុទ្ធ ≥ 99.99%) |
| ការតំរង់ទិស | c / a / r / m (ប្ដូរតាមបំណងតាមការស្នើសុំ) |
| សន្ទស្សន៍ @ 589 nm | នₒ≈ ១,៧៦៨,nₑ≈ ១.៧៦០ |
| ជួរបញ្ជូន | ~០,២–៥ មីក្រូម៉ែត្រ (អាស្រ័យលើកម្រាស់) |
| ចរន្តកំដៅ | ~២៥ វ·ម⁻¹·គីឡូ⁻¹ (៣០០ ខេ) |
| CTE (២០–៣០០ អង្សាសេ) | ~៥–៨ × ១០⁻⁶/K |
| ម៉ូឌុលរបស់យ៉ង់ | ~៣៤៥ ជីភីអា |
| ដង់ស៊ីតេ | ~៣,៩៨ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ភាពរឹង | ម៉ូស ៩ |
| អគ្គិសនី | អ៊ីសូឡង់; ភាពធន់នៃបរិមាណ ≥ 10¹⁴ Ω·សង់ទីម៉ែត្រ |
ដំណើរការផលិតបន្ទះ Sapphire
-
ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់
អាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) ត្រូវបានរលាយ ហើយកែច្នៃទៅជាដុំគ្រីស្តាល់ sapphire តែមួយដោយប្រើគីរ៉ូពូឡូស (KY) or ហ្សូចរ៉ាល់ស្គី (ឆែក)វិធីសាស្ត្រ។ -
ការកែច្នៃដុំដែក
ដុំដែកត្រូវបានម៉ាស៊ីនឲ្យបានដូចជារាងស្តង់ដារ — ការកាត់តម្រឹម ការធ្វើរាងអង្កត់ផ្ចិត និងការកែច្នៃផ្ទៃខាងចុង។ -
ការកាត់
ដុំត្បូងកណ្តៀងត្រូវបានហាន់ជាបន្ទះស្តើងៗដោយប្រើម៉ាស៊ីនកាត់ខ្សែពេជ្រ. -
ការលាបពីរជ្រុង
ជ្រុងទាំងសងខាងនៃបន្ទះ wafer ត្រូវបានលាបដើម្បីលុបស្នាមកាត់ និងសម្រេចបានកម្រាស់ឯកសណ្ឋាន។ -
ការដុតកម្ដៅ
បន្ទះវ៉ាហ្វឺរត្រូវបានព្យាបាលដោយកម្ដៅដើម្បីបញ្ចេញភាពតានតឹងខាងក្នុងនិងបង្កើនគុណភាព និងតម្លាភាពនៃគ្រីស្តាល់។ -
ការកិនគែម
គែមបន្ទះបន្ទះត្រូវបានធ្វើឲ្យជ្រុងដើម្បីការពារការប្រេះ និងប្រេះអំឡុងពេលដំណើរការបន្ថែម។ -
ការដំឡើង
បន្ទះស្តើងៗត្រូវបានម៉ោនលើឧបករណ៍ផ្ទុក ឬឧបករណ៍កាន់សម្រាប់ការប៉ូលា និងត្រួតពិនិត្យយ៉ាងជាក់លាក់។ -
DMP (ការប៉ូលាមេកានិចទ្វេភាគី)
ផ្ទៃបន្ទះបន្ទះត្រូវបានប៉ូលាដោយមេកានិច ដើម្បីធ្វើឲ្យផ្ទៃរលោងជាងមុន។ -
CMP (ការប៉ូលាដោយគីមីមេកានិច)
ជំហានប៉ូលាដ៏ល្អិតល្អន់មួយដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវសកម្មភាពគីមី និងមេកានិចដើម្បីបង្កើតជាផ្ទៃដូចកញ្ចក់. -
ការត្រួតពិនិត្យដោយមើលឃើញ
ប្រតិបត្តិករ ឬប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិពិនិត្យមើលពិការភាពលើផ្ទៃដែលអាចមើលឃើញ។ -
ការត្រួតពិនិត្យភាពរាបស្មើ
ភាពរាបស្មើ និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់ត្រូវបានវាស់វែងដើម្បីធានាបាននូវភាពជាក់លាក់នៃវិមាត្រ។ -
ការសម្អាត RCA
ការសម្អាតគីមីស្តង់ដារ យកសារធាតុសរីរាង្គ លោហធាតុ និងភាគល្អិតចេញ។ -
ការសម្អាតម៉ាស៊ីនដុសខាត់
ការដុសខាត់ដោយមេកានិច យកភាគល្អិតមីក្រូទស្សន៍ដែលនៅសេសសល់ចេញ។ -
ការត្រួតពិនិត្យកំហុសផ្ទៃ
ការត្រួតពិនិត្យអុបទិកដោយស្វ័យប្រវត្តិរកឃើញពិការភាពតូចៗដូចជា ស្នាមឆ្កូត រន្ធ ឬការបំពុល។
-
ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់
អាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) ត្រូវបានរលាយ ហើយកែច្នៃទៅជាដុំគ្រីស្តាល់ sapphire តែមួយដោយប្រើគីរ៉ូពូឡូស (KY) or ហ្សូចរ៉ាល់ស្គី (ឆែក)វិធីសាស្ត្រ។ -
ការកែច្នៃដុំដែក
ដុំដែកត្រូវបានម៉ាស៊ីនឲ្យបានដូចជារាងស្តង់ដារ — ការកាត់តម្រឹម ការធ្វើរាងអង្កត់ផ្ចិត និងការកែច្នៃផ្ទៃខាងចុង។ -
ការកាត់
ដុំត្បូងកណ្តៀងត្រូវបានហាន់ជាបន្ទះស្តើងៗដោយប្រើម៉ាស៊ីនកាត់ខ្សែពេជ្រ. -
ការលាបពីរជ្រុង
ជ្រុងទាំងសងខាងនៃបន្ទះ wafer ត្រូវបានលាបដើម្បីលុបស្នាមកាត់ និងសម្រេចបានកម្រាស់ឯកសណ្ឋាន។ -
ការដុតកម្ដៅ
បន្ទះវ៉ាហ្វឺរត្រូវបានព្យាបាលដោយកម្ដៅដើម្បីបញ្ចេញភាពតានតឹងខាងក្នុងនិងបង្កើនគុណភាព និងតម្លាភាពនៃគ្រីស្តាល់។ -
ការកិនគែម
គែមបន្ទះបន្ទះត្រូវបានធ្វើឲ្យជ្រុងដើម្បីការពារការប្រេះ និងប្រេះអំឡុងពេលដំណើរការបន្ថែម។ -
ការដំឡើង
បន្ទះស្តើងៗត្រូវបានម៉ោនលើឧបករណ៍ផ្ទុក ឬឧបករណ៍កាន់សម្រាប់ការប៉ូលា និងត្រួតពិនិត្យយ៉ាងជាក់លាក់។ -
DMP (ការប៉ូលាមេកានិចទ្វេភាគី)
ផ្ទៃបន្ទះបន្ទះត្រូវបានប៉ូលាដោយមេកានិច ដើម្បីធ្វើឲ្យផ្ទៃរលោងជាងមុន។ -
CMP (ការប៉ូលាដោយគីមីមេកានិច)
ជំហានប៉ូលាដ៏ល្អិតល្អន់មួយដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវសកម្មភាពគីមី និងមេកានិចដើម្បីបង្កើតជាផ្ទៃដូចកញ្ចក់. -
ការត្រួតពិនិត្យដោយមើលឃើញ
ប្រតិបត្តិករ ឬប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិពិនិត្យមើលពិការភាពលើផ្ទៃដែលអាចមើលឃើញ។ -
ការត្រួតពិនិត្យភាពរាបស្មើ
ភាពរាបស្មើ និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់ត្រូវបានវាស់វែងដើម្បីធានាបាននូវភាពជាក់លាក់នៃវិមាត្រ។ -
ការសម្អាត RCA
ការសម្អាតគីមីស្តង់ដារ យកសារធាតុសរីរាង្គ លោហធាតុ និងភាគល្អិតចេញ។ -
ការសម្អាតម៉ាស៊ីនដុសខាត់
ការដុសខាត់ដោយមេកានិច យកភាគល្អិតមីក្រូទស្សន៍ដែលនៅសេសសល់ចេញ។ -
ការត្រួតពិនិត្យកំហុសផ្ទៃ
ការត្រួតពិនិត្យអុបទិកដោយស្វ័យប្រវត្តិរកឃើញពិការភាពតូចៗដូចជា ស្នាមឆ្កូត រន្ធ ឬការបំពុល។
ត្បូងកណ្តៀងប៊ូល (គ្រីស្តាល់តែមួយ Al₂O₃) — សំណួរដែលសួរញឹកញាប់
សំណួរទី 1: តើប៊ូលត្បូងកណ្តៀងជាអ្វី?
ក៖ គ្រីស្តាល់តែមួយនៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដែលលូតលាស់ដូចថ្ម។ វាគឺជា “ដុំ” ខាងលើដែលប្រើសម្រាប់ផលិតបន្ទះកញ្ចក់ត្បូងកណ្តៀង បង្អួចអុបទិក និងសមាសធាតុធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់។
សំណួរទី 2: តើប៊ូលទាក់ទងនឹងបន្ទះសៀគ្វីឬបង្អួចយ៉ាងដូចម្តេច?
ក: ប៊ូលត្រូវបានតម្រង់ទិស → ហាន់ជាចំណិត → លាប → ប៉ូលា ដើម្បីផលិតបន្ទះស្តើងៗ ឬផ្នែកអុបទិក/មេកានិច។ ឯកសណ្ឋាននៃប៊ូលប្រភពប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំងដល់ទិន្នផលនៅខាងក្រោម។
សំណួរទី 3: តើវិធីសាស្ត្រដាំដុះអ្វីខ្លះដែលអាចរកបាន ហើយតើវាខុសគ្នាយ៉ាងដូចម្តេច?
A: KY (គីរ៉ូពូឡូស)និងហេមទិន្នផលធំ,ភាពតានតឹងទាបប៊ូល—ពេញនិយមសម្រាប់អុបទិកអេពីតាក់ស៊ី និងអុបទិកកម្រិតខ្ពស់។CZ (ហ្សូចរ៉ាល់ស្គី)ផ្តល់ជូនយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះការគ្រប់គ្រងទិសដៅនិងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាពីច្រើនទៅច្រើន។Verneuil (ការលាយបញ្ចូលគ្នារវាងអណ្តាតភ្លើង) is សន្សំសំចៃថ្លៃដើមសម្រាប់អុបទិកទូទៅ និង preforms ត្បូង។
សំណួរទី៤៖ តើអ្នកផ្គត់ផ្គង់ទិសដៅអ្វីខ្លះ? តើភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាដែលជារឿងធម្មតា?
A: ប្លង់ c (០០០១), ប្លង់ a (១១-២០), ប្លង់ r (១-១០២), ប្លង់ m (១០-១០)និងទំនៀមទម្លាប់។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតំរង់ទិសជាធម្មតា≤ ±0.1°បានផ្ទៀងផ្ទាត់ដោយ Laue/XRD (តឹងរ៉ឹងជាងនេះតាមការស្នើសុំ)។
គ្រីស្តាល់ថ្នាក់អុបទិកជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងសំណល់អេតចាយដែលមានការទទួលខុសត្រូវនៅក្នុងក្រុមហ៊ុន
ដុំថ្មខៀវរបស់យើងទាំងអស់ត្រូវបានផលិតឡើងដើម្បីថ្នាក់អុបទិកធានាបាននូវការបញ្ជូនខ្ពស់ ភាពដូចគ្នាតឹងណែន និងដង់ស៊ីតេនៃការរួមបញ្ចូល/ពពុះ និងការផ្លាស់ទីលំនៅទាបសម្រាប់អុបទិក និងអេឡិចត្រូនិចដែលត្រូវការកម្លាំងខ្ពស់។ យើងគ្រប់គ្រងទិសដៅគ្រីស្តាល់ និងការបញ្ចេញពន្លឺពីគ្រាប់ពូជរហូតដល់ប៊ូល ជាមួយនឹងភាពអាចតាមដានបានពេញលេញ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៅទូទាំងការរត់។ វិមាត្រ ទិសដៅ (c-, a-, r-plane) និងការអត់ធ្មត់អាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការកាត់/ប៉ូលារបស់អ្នក។
សំខាន់ជាងនេះទៅទៀត សម្ភារៈណាមួយដែលមិនត្រូវតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេស គឺដំណើរការទាំងស្រុងនៅក្នុងក្រុមហ៊ុនតាមរយៈដំណើរការការងាររង្វិលជុំបិទជិត—តម្រៀប កែច្នៃ និងបោះចោលដោយមានការទទួលខុសត្រូវ—ដូច្នេះអ្នកទទួលបានគុណភាពដែលអាចទុកចិត្តបានដោយមិនចាំបាច់ដោះស្រាយ ឬបន្ទុកអនុលោមភាព។ វិធីសាស្រ្តនេះកាត់បន្ថយហានិភ័យ កាត់បន្ថយពេលវេលានាំមុខ និងគាំទ្រដល់គោលដៅនិរន្តរភាពរបស់អ្នក។
| ទម្ងន់ដុំដែក (គីឡូក្រាម) | ២អ៊ីញ | ៤អ៊ីញ | ៦អ៊ីញ | ៨អ៊ីញ | ១២អ៊ីញ | កំណត់ចំណាំ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ១០–៣០ | សមរម្យ | សមរម្យ | មានកំណត់/អាចធ្វើទៅបាន | មិនធម្មតាទេ | មិនទាន់បានប្រើ | ការកាត់ទ្រង់ទ្រាយតូច; ៦អ៊ីញ អាស្រ័យលើអង្កត់ផ្ចិត/ប្រវែងដែលអាចប្រើបាន។ |
| ៣០–៨០ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | មានកំណត់/អាចធ្វើទៅបាន | មិនធម្មតាទេ | ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ទូលំទូលាយ; ដីឡូត៍សាកល្បងទំហំ 8 អ៊ីញម្តងម្កាល។ |
| ៨០–១៥០ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | មិនធម្មតាទេ | តុល្យភាពល្អសម្រាប់ផលិតកម្មទំហំ 6–8 អ៊ីញ។ |
| ១៥០–២៥០ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | មានកំណត់/ស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ | គាំទ្រការសាកល្បងដំបូង 12″ ជាមួយនឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសតឹងរ៉ឹង។ |
| ២៥០–៣០០ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | មានកំណត់/បញ្ជាក់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង | សំឡេងខ្លាំង ៨អ៊ីញ; ការរត់ជ្រើសរើស ១២អ៊ីញ។ |
| >៣០០ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | សមរម្យ | មាត្រដ្ឋានព្រំដែន; 12 អ៊ីញអាចធ្វើទៅបាន ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងឯកសណ្ឋាន/ទិន្នផលយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ |
ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ
-
Al2O3 99.999% ត្បូងកណ្តៀងថ្លាតាមតម្រូវការ...
-
បន្ទះស្រោបត្បូងកណ្ដៀងទំហំ 8 អ៊ីញ ទំហំ 200 មីលីម៉ែត្រ ...
-
ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីដ 2 អ៊ីញ 6H-N ទ្វេចំហៀង...
-
សម្ភារៈ Al2O3 ត្បូងកណ្តៀងពណ៌ស្វាយសម្រាប់...
-
បន្ទះ SiC ទំហំ 8 អ៊ីញ ជំនួសបន្ទះ SiC 4H-N ថ្នាក់ផលិតកម្ម...
-
ត្បូងកណ្តៀងថ្លារឹងខ្ពស់ គ្រីស្តាល់តែមួយ...