បង្អួចអុបទិក Sapphire ផ្ទាល់ខ្លួន ការបញ្ជូនភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ≥90%

បង្អួចអុបទិក Sapphire ផ្ទាល់ខ្លួន ការបញ្ជូនពន្លឺភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ≥90% រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បង្អួចកញ្ចក់ត្បូងកណ្តៀងគឺជាសមាសធាតុអុបទិកឯកទេសដែលផលិតពីអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមគ្រីស្តាល់តែមួយ (Al₂O₃) ដែលល្បីល្បាញដោយសារដំណើរការអុបទិកដ៏ពិសេស កម្លាំងមេកានិច និងស្ថេរភាពគីមីរបស់វា។ ក្នុងនាមជាគ្រីស្តាល់អុកស៊ីដរឹងបំផុត (ភាពរឹង Mohs 9) បង្អួចត្បូងកណ្តៀងបង្ហាញពីការបញ្ជូនដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (~83-85% មិនបានស្រោប) ឆ្លងកាត់វិសាលគមអ៊ុលត្រាវីយូឡេ (200nm) ដល់វិសាលគមអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដកណ្តាល (5.5μm) ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីដែលទាមទារទាំងតម្លាភាព និងភាពធន់ខ្ពស់។

ការផលិតពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការសំខាន់ៗ រួមទាំងការលូតលាស់ទិសដៅគ្រីស្តាល់ ការកាត់ជាដុំៗដោយភាពជាក់លាក់ ការប៉ូលាណាណូ និងថ្នាំកូតពិសេស។ បច្ចេកទេសលូតលាស់កម្រិតខ្ពស់ (ឧទាហរណ៍ វិធីសាស្ត្រ HEM ឬ KY) ផ្តល់នូវបាល់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ជាមួយនឹងដង់ស៊ីតេពិការភាពទាប (<10⁴/cm²)។ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ឆកោនតែមួយគត់អាចឱ្យមានលក្ខណៈសម្បត្តិអានីសូត្រូពិច ជាមួយនឹងទិសដៅដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង (អ័ក្ស C អ័ក្ស A ឬការកាត់បន្ថយប្លង់ R) ដែលកែសម្រួលដំណើរការអុបទិកសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

វត្ថុ	បង្អួចអុបទិក
សម្ភារៈ	BK7, JGS1, ស៊ីលីកាលាយបញ្ចូលគ្នាដោយកាំរស្មីយូវី, ត្បូងកណ្តៀង ជាដើម។
វិមាត្រ	១មម-៣០០មម
ការអត់ធ្មត់វិមាត្រ	±0.05មម
គុណភាពផ្ទៃ	២០-១០~៦០-៤០
ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃ	១/៤~១/៨
រន្ធច្បាស់លាស់	លើសពី 90%
ថ្នាំកូត	២០០-៤០០០ ណាណូម៉ែត្រ
ពាក្យសុំ	ឡាស៊ែរ ការបញ្ជូនពន្លឺ ការបង្ហាញ ជាដើម។

លក្ខណៈសំខាន់ៗ

១. ភាពបត់បែនបរិស្ថានខ្លាំង
បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងបង្ហាញពីដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងចំណុចរលាយ 2053°C ដោយរក្សាបាននូវភាពរឹងមាំនៃរចនាសម្ព័ន្ធក្នុងបរិយាកាសប្រតិបត្តិការបន្តក្នុងសីតុណ្ហភាព 1000°C។ ស្ថេរភាពកម្ដៅនេះត្រូវបានធ្វើឲ្យដំណើរការដោយមេគុណពង្រីកកម្ដៅ (CTE) ទាបបំផុត 5.3×10⁻⁶/K តាមអ័ក្ស C ដែលល្អជាងវ៉ែនតាអុបទិកធម្មតា។ ផ្នែកគីមី បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងបង្ហាញពីភាពអសកម្មដ៏គួរឲ្យកត់សម្គាល់ ទប់ទល់នឹងអាស៊ីតខ្លាំងទាំងអស់ (លើកលែងតែ HF) និងអាល់កាឡាំង ដែលធ្វើឲ្យវាល្អសម្រាប់ឧបករណ៍កែច្នៃគីមី និងកម្មវិធីសមុទ្រ។ ផ្នែកមេកានិច បង្អួចទាំងនេះមានកម្លាំងពត់កោងលើសពី 1000MPa (ខ្លាំងជាងកញ្ចក់អុបទិកស្តង់ដារ 5-8 ដង) ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងការប៉ះទង្គិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។

2. គុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្តអុបទិក
បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងផ្តល់នូវការបញ្ជូន >80% ឆ្លងកាត់ជួរវិសាលគមធំទូលាយ (200-5500nm នៅកម្រាស់ 2mm)។ តាមរយៈការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់ដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង (ឧទាហរណ៍ អ័ក្ស C កាត់កែងទៅនឹងផ្លូវពន្លឺ) ផលប៉ះពាល់នៃពន្លឺពីរស្រទាប់ត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមាយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ គុណភាពផ្ទៃបំពេញតាមតម្រូវការអុបទិកយ៉ាងតឹងរ៉ឹងជាមួយនឹងភាពរាបស្មើ λ/10 នៅ 633nm និងភាពរដុបនៃផ្ទៃ <0.5nm RMS។

៣. សមត្ថភាពផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់
បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងរបស់យើងគាំទ្រដល់ដំណើរការទ្រង់ទ្រាយធំ (អង្កត់ផ្ចិត >300 មីលីម៉ែត្រ) និងធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ រួមទាំងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធអស្វ៊ែរ និងជាជំហានៗ។ បច្ចេកវិទ្យាផ្សាភ្ជាប់គែមឯកទេសសម្រេចបានអត្រាលេចធ្លាយ <1×10⁻⁹Pa·m³/s សម្រាប់កម្មវិធីបូមធូលី។ ជាមួយនឹងថ្នាំកូតកាបូនដូចពេជ្រ (DLC) កម្រិតខូចខាតដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរ (LIDT) ឈានដល់ 15J/cm² (1064nm, ជីពចរ 10ns)។

កម្មវិធីចម្បង

១. ការពារជាតិ និង អវកាស
បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងបម្រើជាដូមមីស៊ីល ដែលទប់ទល់នឹងការប៉ះទង្គិចកម្ដៅខ្លាំង (>1000°C) អំឡុងពេលហោះហើរលឿនជាងសំឡេង។ វ៉ារ្យ៉ង់កម្រិតអវកាសធានាអាយុកាលសេវាកម្មគន្លងជាង 15 ឆ្នាំនៅក្នុងកម្មវិធីយានអវកាស។

២. ឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម
ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងដំណើរការជាច្រកមើលដែលធន់នឹងប្លាស្មានៅក្នុងបន្ទប់ឆ្លាក់ និងបន្ទប់ CVD។ ឧបករណ៍អង់ដូស្កូបសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ប្រើប្រាស់បង្អួចទាំងនេះសម្រាប់ការថតរូបភាពច្បាស់លាស់នៅក្នុងបរិយាកាសឡដែលមានសីតុណ្ហភាព 1500°C។

៣. ឧបករណ៍វិទ្យាសាស្ត្រ
បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (ភាពមិនបរិសុទ្ធតិចជាង 5ppm) កាត់បន្ថយការស្រូបយកកាំរស្មីអ៊ិចនៅក្នុងបន្ទាត់ធ្នឹមស៊ីនក្រូត្រុង។ ភាពមិនមែនលីនេអ៊ែរទាបរបស់ពួកវារក្សាបាននូវភាពស្មោះត្រង់នៃជីពចរ femtosecond នៅក្នុងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរលឿនបំផុត។

៤. ឧបករណ៍ពាណិជ្ជកម្ម
នាវាមុជទឹកជ្រៅប្រើប្រាស់បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងដែលមានកម្រិតសម្រាប់ជម្រៅ 6000 ម៉ែត្រ (>60MPa)។ កាមេរ៉ាស្មាតហ្វូនរួមបញ្ចូលបង្អួចទាំងនេះជាគម្របការពារ ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីភាពធន់នឹងការកោស Mohs 9 របស់វាសម្រាប់ភាពធន់កាន់តែប្រសើរ។

បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងបន្តពង្រីកកម្មវិធីរបស់ពួកគេតាមរយៈការរីកចម្រើនក្នុងដំណើរការទ្រង់ទ្រាយធំ ធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ និងលក្ខណៈប្រតិបត្តិការប្រសើរឡើង ដែលពង្រឹងជំហររបស់ពួកគេជាសមាសធាតុសំខាន់ៗនៅទូទាំងឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។

សេវាកម្ម XKH

វេទិកាសេវាកម្មដ៏ទូលំទូលាយរបស់ XKH រួមបញ្ចូលជំនាញផលិតកម្មទំនើបៗជាមួយនឹងការគាំទ្របច្ចេកទេសដ៏រឹងមាំ ដើម្បីផ្តល់នូវដំណោះស្រាយបង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងចាប់ពីដើមដល់ចប់។ ផ្នែកផលិតកម្មផ្ទាល់ខ្លួនផ្តល់ជូននូវដំណើរការផ្អែកលើគំនូរជាមួយនឹងសមត្ថភាពបំលែងឯកសារ 2D/3D ពេញលេញ បំពេញបន្ថែមដោយសេវាកម្មបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរចនាសម្រាប់ការផលិត (DFM) ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យផលិតកម្ម និងថ្លៃដើម។ យើងរក្សាសមត្ថភាពបង្កើតគំរូរហ័សឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម ដោយផ្តល់គំរូមុខងារ Φ100mm ក្នុងរយៈពេល 5 ថ្ងៃធ្វើការ ដើម្បីពន្លឿនវដ្តអភិវឌ្ឍន៍ផលិតផល។ ការព្យាបាលមុខងារកម្រិតខ្ពស់រួមមានថ្នាំកូតដែលមានចរន្តអគ្គិសនីជាក់លាក់ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងសន្លឹកដែលអាចលៃតម្រូវបានពី 10-1000Ω/□ សម្រាប់កម្មវិធីការពារ EMI រួមជាមួយនឹងខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងអ័ព្ទដែលមានកម្មសិទ្ធិ ដែលរក្សាភាពច្បាស់លាស់នៃអុបទិកនៅក្នុងបរិស្ថានដែលមានសំណើមខ្ពស់។

ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធជំនួយបច្ចេកទេសមានក្រុមវិស្វករដែលខិតខំប្រឹងប្រែងដោយប្រើប្រាស់កម្មវិធីក្លែងធ្វើអុបទិក Zemax និង CodeV ដើម្បីធ្វើគំរូដំណើរការប្រព័ន្ធ និងព្យាករណ៍ពីឥរិយាបថកម្ដៅ/មេកានិចក្រោមលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការ។ មន្ទីរពិសោធន៍វិនិច្ឆ័យសម្ភារៈរបស់យើង ដែលបំពាក់ដោយមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុងស្កេន (SEM) និងវិសាលគមកាំរស្មីអ៊ិចបំបែកថាមពល (EDS) ផ្តល់នូវការវិភាគមូលហេតុដើមនៃការបរាជ័យសម្រាប់ការកែលម្អភាពជឿជាក់។ សេវាកម្មផ្ទៀងផ្ទាត់បរិស្ថានរួមមានការធ្វើតេស្តវដ្តកម្ដៅខ្លាំង (-១៩៦℃ ដល់ ៨០០℃) និងការប៉ះពាល់នឹងការបាញ់អំបិលរយៈពេល ៥០០ ម៉ោង ស្របតាមស្តង់ដារ MIL-STD-810G ដែលធានាបាននូវភាពធន់នៃសមាសធាតុក្នុងលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការដ៏លំបាក។

ប្រព័ន្ធធានាគុណភាពអនុវត្តការតាមដានសម្ភារៈពេញលេញចាប់ពីប៊ូលគ្រីស្តាល់រហូតដល់ផលិតផលសម្រេច ដោយសមាសធាតុនីមួយៗភ្ជាប់មកជាមួយឯកសារបញ្ជាក់ដ៏ទូលំទូលាយ។ សមត្ថភាពរង្វាស់វិទ្យាទំនើបៗរួមមាន អន្តរហ្វឺរ៉ូម៉ែត្រីផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាល 4D សម្រាប់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ λ/50 អន្តរហ្វឺរ៉ូម៉ែត្រីពន្លឺពណ៌សដែលសម្រេចបាននូវគុណភាពបង្ហាញភាពរដុបនៃផ្ទៃ 0.1 nm និងការវិភាគស្ពិចត្រូហ្វូតូម៉ែត្រីដែលគ្របដណ្តប់ជួរវិសាលគម 190-3300 nm សម្រាប់ការកំណត់លក្ខណៈបញ្ជូន/ឆ្លុះបញ្ចាំង។

សេវាកម្មបន្ថែមតម្លៃឆ្លើយតបទៅនឹងតម្រូវការកម្មវិធីឯកទេស រួមទាំងដំណោះស្រាយសមាហរណកម្មសុញ្ញកាសដែលមានគែមលោហធាតុជាមួយនឹងការផ្សាភ្ជាប់បិទជិតសម្រាប់ប្រព័ន្ធសុញ្ញកាសខ្ពស់ខ្លាំង (UHV)។ សេវាកម្មគ្រប់គ្រងការបញ្ចេញអេឡិចត្រូស្តាទិច (ESD) កែសម្រួលភាពធន់នៃផ្ទៃរវាង 10⁶-10⁹Ω ដើម្បីការពារការប្រមូលផ្តុំបន្ទុកនៅក្នុងឧបករណ៍ដែលងាយប្រតិកម្ម។ សមាសធាតុទាំងអស់ឆ្លងកាត់ការវេចខ្ចប់ចុងក្រោយនៅក្នុងបរិស្ថានបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ទី 100 ជាមួយនឹងការរាប់ភាគល្អិតជាជម្រើស និងការវេចខ្ចប់ដុតនំក្នុងសុញ្ញកាសសម្រាប់តម្រូវការអនាម័យថ្នាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។