បង្អួចអុបទិក Sapphire រាងផ្ទាល់ខ្លួន គ្រឿងបន្លាស់ Sapphire ជាមួយនឹងការប៉ូលាយ៉ាងជាក់លាក់

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បង្អួចអុបទិកត្បូងកណ្តៀងដែលមានរាងផ្ទាល់ខ្លួនតំណាងឱ្យកំពូលនៃវិស្វកម្មអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ ដោយប្រើប្រាស់ Al₂O₃ ម៉ូណូគ្រីស្តាលីនដែលដាំដុះដោយ Czochralski ជាមួយនឹងទិសដៅគ្រីស្តាល់ដែលគ្រប់គ្រង (ជាធម្មតាអ័ក្ស C ឬអ័ក្ស A) ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់។ ដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដែលមានកម្មសិទ្ធិរបស់យើងផ្តល់នូវសម្ភារៈដែលមានភាពដូចគ្នាពិសេស (ការប្រែប្រួលសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ <5×10⁻⁶) និងការរួមបញ្ចូលតិចតួចបំផុត (<0.01ppm) ដែលធានាបាននូវដំណើរការអុបទិកដែលស៊ីសង្វាក់គ្នានៅទូទាំងបាច់ផលិតកម្ម។ បង្អួចរក្សាស្ថេរភាពបរិស្ថានគួរឱ្យកត់សម្គាល់ ជាមួយនឹង CTE 5.3×10⁻⁶/K ស្របទៅនឹងអ័ក្ស C ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងរលូនទៅក្នុងការផ្គុំសម្ភារៈច្រើនដែលស្ថិតនៅក្រោមវដ្តកម្ដៅ។ បច្ចេកទេសប៉ូលាកម្រិតខ្ពស់របស់យើងសម្រេចបាននូវភាពរដុបនៃផ្ទៃក្រោម 0.5nm RMS ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ដែលពិការភាពលើផ្ទៃអាចបង្កឱ្យមានការខូចខាត។

ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតរួមបញ្ចូលគ្នាបញ្ឈរ XKH ផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយដ៏ទូលំទូលាយចាប់ពីការសំយោគសម្ភារៈរហូតដល់ការត្រួតពិនិត្យចុងក្រោយ៖

ការគាំទ្រផ្នែករចនា៖ ក្រុមវិស្វកររបស់យើងផ្តល់ជូននូវការវិភាគ DFM (ការរចនាសម្រាប់ការផលិត) ដោយប្រើការក្លែងធ្វើ Zemax និង COMSOL ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពធរណីមាត្របង្អួចសម្រាប់តម្រូវការអុបទិក/មេកានិចជាក់លាក់។

សេវាកម្មបង្កើតគំរូដើម៖ ការឆ្លើយតបរហ័ស (តិចជាង ៧២ ម៉ោង) សម្រាប់ការផ្ទៀងផ្ទាត់គំនិតដោយប្រើប្រាស់សមត្ថភាពកិន CNC និងប៉ូលា MRF របស់យើង

ជម្រើសថ្នាំកូត៖ ថ្នាំកូត AR ផ្ទាល់ខ្លួនដែលមានភាពធន់លើសពីស្តង់ដារ MIL-C-675C រួមមាន៖

ប្រេកង់អ៊ីនធឺណិត (៤០០-១១០០ nm) ការឆ្លុះបញ្ចាំង <០.៥%

ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដោយ VUV (193nm) ជាមួយនឹងការបញ្ជូន >92%

ថ្នាំកូត ITO ដែលដឹកនាំចរន្ត (100-1000Ω/ម៉ែត្រការ៉េ) សម្រាប់ការការពារ EMI

ការធានាគុណភាព៖ សំណុំរង្វាស់ពេញលេញរួមមាន៖

ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរ 4D PhaseCam សម្រាប់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពរាបស្មើ λ/20

វិសាលគម FTIR សម្រាប់ការគូសផែនទីបញ្ជូនវិសាលគម

ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យដោយស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យកំហុសលើផ្ទៃ 100%

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

បង្អួចត្បូងកណ្តៀង
វិមាត្រ	៨-៤០០មម
ការអត់ធ្មត់វិមាត្រ	+០/-០.០៥មម
គុណភាពផ្ទៃ (កោស និង ជីក)	៤០/២០
ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ	λ/10per@633nm
ជំរៅច្បាស់លាស់	＞៨៥%, > ៩០%
ការអត់ធ្មត់ស្របគ្នា	±២''-±៣''
ជ្រុង	០.១-០.៣មម
ថ្នាំកូត	AR/AF/តាមការស្នើសុំរបស់អតិថិជន

លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ

១. ឧត្តមភាពសម្ភារៈ

· លក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅប្រសើរឡើង៖ បង្ហាញពីចរន្តកម្ដៅ 35 W/m·K (នៅសីតុណ្ហភាព 100°C) ជាមួយនឹងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប (5.3×10⁻⁶/K) ដែលការពារការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយអុបទិកក្រោមវដ្តសីតុណ្ហភាពរហ័ស។ សម្ភារៈរក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធសូម្បីតែក្នុងអំឡុងពេលផ្លាស់ប្តូរការឆក់កម្ដៅពី 1000°C ទៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានវិនាទីក៏ដោយ។

· ស្ថេរភាពគីមី៖ បង្ហាញពីការរិចរិលសូន្យនៅពេលប៉ះពាល់នឹងអាស៊ីតប្រមូលផ្តុំ (មិនរាប់បញ្ចូល HF) និងអាល់កាឡាំង (pH 1-14) ក្នុងរយៈពេលយូរ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ឧបករណ៍កែច្នៃគីមី។

· ការកែលម្អអុបទិក៖ តាមរយៈការលូតលាស់គ្រីស្តាល់អ័ក្ស C កម្រិតខ្ពស់ សម្រេចបានការបញ្ជូន >85% នៅក្នុងវិសាលគមដែលអាចមើលឃើញ (400-700nm) ជាមួយនឹងការខាតបង់ការរាយប៉ាយក្រោម 0.1%/សង់ទីម៉ែត្រ។
· ការប៉ូលាបែបអ៊ីពែរអឌ្ឍគោលជាជម្រើស កាត់បន្ថយការឆ្លុះបញ្ចាំងលើផ្ទៃមកត្រឹម <0.2% ក្នុងមួយផ្ទៃនៅ 1064nm។

២. សមត្ថភាពវិស្វកម្មភាពជាក់លាក់

· ការគ្រប់គ្រងផ្ទៃណាណូមាត្រដ្ឋាន៖ ដោយប្រើប្រាស់ការបញ្ចប់ម៉ាញ៉េតូអេឡូជី (MRF) សម្រេចបានភាពរដុបនៃផ្ទៃ <0.3nm Ra ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ដែល LIDT លើសពី 10J/cm² នៅប្រេកង់ 1064nm ជីពចរ 10ns។

· ការផលិតធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ៖ រួមបញ្ចូលម៉ាស៊ីនអ៊ុលត្រាសោន 5 អ័ក្ស សម្រាប់បង្កើតឆានែលមីក្រូហ្វ្លុយអ៊ីឌីក (ការអត់ធ្មត់ទទឹង 50μm) និងធាតុអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុង (DOE) ដែលមានគុណភាពបង្ហាញលក្ខណៈពិសេស <100nm។

· ការរួមបញ្ចូលម៉ែត្រូឡូស៊ី៖ រួមបញ្ចូលគ្នានូវអន្តរការីពន្លឺពណ៌ស និងមីក្រូទស្សន៍កម្លាំងអាតូម (AFM) សម្រាប់ការកំណត់លក្ខណៈផ្ទៃ 3D ដែលធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទម្រង់ <100nm PV ឆ្លងកាត់ស្រទាប់ខាងក្រោម 200mm។

កម្មវិធីចម្បង

១. ការពង្រឹងប្រព័ន្ធការពារ

· ដូមយានជំនិះល្បឿនលឿនជាងសំឡេង៖ ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងបន្ទុកកម្ដៅលើអាកាស Mach 5+ ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវការបញ្ជូន MWIR សម្រាប់ក្បាលសញ្ញាស្វែងរក។ ការផ្សាភ្ជាប់គែមណាណូសមាសធាតុពិសេសការពារការបែកចេញក្រោមបន្ទុករំញ័រ 15G។

· វេទិកាចាប់សញ្ញាកង់ទិច៖ កំណែ birefringence ទាបបំផុត (<5nm/cm2) អាចឱ្យមានម៉ាញេតូម៉ែត្រីភាពជាក់លាក់នៅក្នុងប្រព័ន្ធរកឃើញនាវាមុជទឹក។

២. នវានុវត្តន៍ដំណើរការឧស្សាហកម្ម

· លីថូក្រាហ្វី UV ខ្លាំងរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ បង្អួចប៉ូលាថ្នាក់ AA ដែលមានភាពរដុបលើផ្ទៃ <0.01nm កាត់បន្ថយការខាតបង់ការខ្ចាត់ខ្ចាយ EUV (13.5nm) នៅក្នុងប្រព័ន្ធ stepper។

· ការតាមដានរ៉េអាក់ទ័រនុយក្លេអ៊ែរ៖ វ៉ារ្យ៉ង់ថ្លានឺត្រុង (បន្សុទ្ធដោយអ៊ីសូតូប Al₂O₃) ផ្តល់នូវការតាមដានដែលមើលឃើញតាមពេលវេលាជាក់ស្តែងនៅក្នុងស្នូលរ៉េអាក់ទ័រជំនាន់ទី IV។

៣. សមាហរណកម្មបច្ចេកវិទ្យាដែលកំពុងរីកចម្រើន

· ការទំនាក់ទំនងអុបទិកដែលមានមូលដ្ឋានលើលំហ៖ កំណែដែលបានពង្រឹងដោយវិទ្យុសកម្ម (បន្ទាប់ពីការប៉ះពាល់នឹងហ្គាម៉ា 1Mrad) រក្សាការបញ្ជូន >80% សម្រាប់តំណភ្ជាប់ឡាស៊ែរផ្កាយរណប LEO។

· ចំណុចប្រទាក់ជីវហ្វូតូនិក៖ ការព្យាបាលលើផ្ទៃជីវអសកម្មអាចឱ្យមានបង្អួចវិសាលគមរ៉ាម៉ានដែលអាចដាក់បញ្ចូលបានសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យជាតិស្ករក្នុងឈាមជាបន្តបន្ទាប់។

៤. ប្រព័ន្ធថាមពលកម្រិតខ្ពស់

· ការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យរ៉េអាក់ទ័រហ្វុយស៊ីស៖ ថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ (ITO-AlN) ផ្តល់ទាំងការមើលប្លាស្មា និងការការពារ EMI នៅក្នុងការដំឡើង tokamak។

· ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធអ៊ីដ្រូសែន៖ កំណែថ្នាក់ Cryogenic (បានធ្វើតេស្តដល់ 20K) ការពារការផុយស្រួយអ៊ីដ្រូសែននៅក្នុងច្រកមើលការផ្ទុក H₂ រាវ។

សមត្ថភាពសេវាកម្ម និងផ្គត់ផ្គង់ XKH

១. សេវាកម្មផលិតតាមតម្រូវការ

· ការប្ដូរតាមបំណងដោយផ្អែកលើគំនូរ៖ គាំទ្រការរចនាមិនស្តង់ដារ (វិមាត្រ 1 ម.ម ដល់ 300 ម.ម) ការដឹកជញ្ជូនរហ័សរយៈពេល 20 ថ្ងៃ និងការបង្កើតគំរូដើមលើកដំបូងក្នុងរយៈពេល 4 សប្តាហ៍។

· ដំណោះស្រាយថ្នាំកូត៖ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង (AR) ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការប្រឡាក់ (AF) និងថ្នាំកូតជាក់លាក់តាមរលកពន្លឺ (UV/IR) ដើម្បីកាត់បន្ថយការបាត់បង់ការឆ្លុះបញ្ចាំង។

· ការប៉ូលា និងការធ្វើតេស្តភាពជាក់លាក់៖ ការប៉ូលាកម្រិតអាតូមសម្រេចបាននូវភាពរដុបនៃផ្ទៃ ≤0.5 nm ជាមួយនឹងអន្តរកម្មធានានូវការអនុលោមតាមភាពរាបស្មើ λ/10។

២. ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ និងការគាំទ្របច្ចេកទេស

· ការធ្វើសមាហរណកម្មបញ្ឈរ៖ ការគ្រប់គ្រងដំណើរការពេញលេញចាប់ពីការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ (វិធីសាស្ត្រ Czochralski) រហូតដល់ការកាត់ ការប៉ូលា និងការលាបថ្នាំកូត ដែលធានានូវភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ (គ្មានព្រំដែន/គ្មានចន្លោះ) និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃបាច់។

· កិច្ចសហប្រតិបត្តិការឧស្សាហកម្ម៖ បញ្ជាក់ដោយអ្នកម៉ៅការអាកាសចរណ៍; បានសហការជាមួយ CAS ដើម្បីបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធ heterostructures superlattice សម្រាប់ការជំនួសក្នុងស្រុក។

៣. ផលប័ត្រផលិតផល និងភស្តុភារកម្ម

· ស្តុកស្តង់ដារ៖ ទម្រង់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ ៦អ៊ីញ ដល់ ១២អ៊ីញ; តម្លៃឯកតាចាប់ពី ៤៣ ដល់ ៨២ (ទំហំ/ថ្នាំកូតអាស្រ័យលើទំហំ) ជាមួយនឹងការដឹកជញ្ជូនក្នុងថ្ងៃតែមួយ។

· ការពិគ្រោះយោបល់បច្ចេកទេសសម្រាប់ការរចនាជាក់លាក់នៃកម្មវិធី (ឧទាហរណ៍ បង្អួចជណ្ដើរសម្រាប់បន្ទប់បូមធូលី រចនាសម្ព័ន្ធធន់នឹងការប៉ះទង្គិចកម្ដៅ)។