វ៉ាហ្វឺរ Quartz Fused ដ៏បរិសុទ្ធសម្រាប់ Semiconductor កម្មវិធី Photonics Optical 2″ 4″ 6″ 8″ 12″
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃកញ្ចក់ Quartz
Quartz wafers បង្កើតជាឆ្អឹងខ្នងនៃឧបករណ៍ទំនើបរាប់មិនអស់ដែលជំរុញពិភពលោកឌីជីថលនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ។ ពីការរុករកនៅក្នុងស្មាតហ្វូនរបស់អ្នកទៅកាន់ឆ្អឹងខ្នងនៃស្ថានីយ៍មូលដ្ឋាន 5G រ៉ែថ្មខៀវផ្តល់នូវស្ថេរភាព ភាពបរិសុទ្ធ និងភាពជាក់លាក់ដែលទាមទារនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និង photonics ។ មិនថាគាំទ្រសៀគ្វីដែលអាចបត់បែនបាន បើកឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS ឬបង្កើតមូលដ្ឋានសម្រាប់ការគណនាកង់ទិច លក្ខណៈពិសេសរបស់រ៉ែថ្មខៀវធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបាននៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម។
"Fused Silica" ឬ "Fused Quartz" ដែលជាដំណាក់កាល amorphous នៃ Quartz (SiO2) ។ នៅពេលដែលផ្ទុយទៅនឹងកញ្ចក់ borosilicate, fused silica មិនមានសារធាតុបន្ថែម; ដូច្នេះវាមាននៅក្នុងទម្រង់ដ៏បរិសុទ្ធរបស់វា SiO2 ។ Fused silica មានការបញ្ជូនខ្ពស់ជាងនៅក្នុងវិសាលគមអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និងអ៊ុលត្រាវីយូឡេ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងកញ្ចក់ធម្មតា។ ស៊ីលីកាដែលរលាយត្រូវបានផលិតដោយការរលាយ និងធ្វើឱ្យមានភាពរឹងមាំឡើងវិញនៃ SiO2 ជ្រុល។ ម្យ៉ាងវិញទៀត ស៊ីលីកាដែលផ្សំឡើងដោយសំយោគត្រូវបានផលិតចេញពីសារធាតុគីមីដែលសំបូរទៅដោយស៊ីលីកុន ដូចជា SiCl4 ដែលត្រូវបានបំភាយឧស្ម័ន ហើយបន្ទាប់មកកត់សុីក្នុងបរិយាកាស H2 + O2 ។ ធូលី SiO2 ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងករណីនេះត្រូវបានបញ្ចូលទៅស៊ីលីកានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប្លុកស៊ីលីកាដែលត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាត្រូវបានកាត់ចូលទៅក្នុង wafers បន្ទាប់ពីនោះ wafers ត្រូវបានប៉ូលា។
លក្ខណៈសំខាន់ៗ និងអត្ថប្រយោជន៍របស់ Quartz Glass Wafer
-
ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (≥99.99% SiO2)
ល្អបំផុតសម្រាប់ដំណើរការ semiconductor និង photonics ដែលស្អាតខ្លាំងបំផុត ដែលការចម្លងរោគសម្ភារៈត្រូវតែត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា។ -
ជួរប្រតិបត្តិការកំដៅធំទូលាយ
រក្សាភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធពីសីតុណ្ហភាព cryogenic រហូតដល់ជាង 1100 ° C ដោយមិនមាន warping ឬ degradation ។ -
ការបញ្ជូនកាំរស្មី UV និង IR ដ៏អស្ចារ្យ
ផ្តល់ភាពច្បាស់លាស់អុបទិកល្អឥតខ្ចោះពីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ (DUV) តាមរយៈជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (NIR) ដែលគាំទ្រកម្មវិធីអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់។ -
មេគុណពង្រីកកំដៅទាប
បង្កើនស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព កាត់បន្ថយភាពតានតឹង និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពជឿជាក់នៃដំណើរការ។ -
ភាពធន់នឹងគីមីខ្ពស់
ភាពអសកម្មចំពោះអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងសារធាតុរំលាយភាគច្រើន ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានឈ្លានពានគីមី។ -
ភាពបត់បែននៃការបញ្ចប់ផ្ទៃ
អាចប្រើបានជាមួយនឹងផ្ទៃប៉ូលាមួយចំហៀង ឬពីរចំហៀងដែលរលោងខ្លាំងបំផុត ដែលអាចប្រើបានជាមួយតម្រូវការ photonics និង MEMS។
ដំណើរការផលិតកញ្ចក់ Quartz Wafer
Fused wafers រ៉ែថ្មខៀវត្រូវបានផលិតតាមរយៈស៊េរីនៃជំហានដែលបានគ្រប់គ្រងនិងច្បាស់លាស់:
-
ការជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើម
ការជ្រើសរើសប្រភពរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬប្រភព SiO₂ សំយោគ។ -
ការរលាយនិងការបញ្ចូលគ្នា
រ៉ែថ្មខៀវត្រូវបានរលាយនៅសីតុណ្ហភាព ~ 2000 ° C នៅក្នុងចង្រ្កានអគ្គីសនីក្រោមបរិយាកាសគ្រប់គ្រងដើម្បីលុបបំបាត់ការរួមបញ្ចូលនិងពពុះ។ -
ការបង្កើតប្លុក
ស៊ីលីកាដែលរលាយត្រូវបានធ្វើឱ្យត្រជាក់ទៅជាដុំរឹង ឬដុំៗ។ -
ចំណិត Wafer
គ្រាប់ពេជ្រ ឬ លួសស្ពាន់ច្បាស់លាស់ ត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់ធាតុចូលទៅក្នុងចន្លោះប្រហោង។ -
ការលាប និងប៉ូលា
ផ្ទៃទាំងពីរត្រូវបានរុញភ្ជាប់ និងប៉ូលាដើម្បីបំពេញតាមលក្ខណៈជាក់លាក់នៃអុបទិក កម្រាស់ និងរដុប។ -
ការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យ
Wafers ត្រូវបានសម្អាតនៅក្នុងបន្ទប់សម្អាត ISO Class 100/1000 ហើយត្រូវបានត្រួតពិនិត្យយ៉ាងម៉ត់ចត់សម្រាប់ពិការភាព និងការអនុលោមតាមវិមាត្រ។
លក្ខណៈសម្បត្តិរបស់ Quartz Glass wafer
| លក្ខណៈពិសេស | ឯកតា | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| អង្កត់ផ្ចិត / ទំហំ (ឬការ៉េ) | mm | ១០០ | ១៥០ | ២០០ | ២៥០ | ៣០០ |
| ការអត់ធ្មត់ (±) | mm | ០.២ | ០.២ | ០.២ | ០.២ | ០.២ |
| កម្រាស់ | mm | 0.10 ឬច្រើនជាងនេះ។ | 0.30 ឬច្រើនជាងនេះ។ | 0.40 ឬច្រើនជាងនេះ។ | 0.50 ឬច្រើនជាងនេះ។ | 0.50 ឬច្រើនជាងនេះ។ |
| ផ្ទះល្វែងយោងបឋម | mm | ៣២.៥ | ៥៧.៥ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ | ពាក់កណ្តាលស្នាមរន្ធ |
| LTV (5mm × 5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| ធីធីវី | μm | < ២ | < ៣ | < ៣ | < ៥ | < ៥ |
| ធ្នូ | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| ការបង្គត់គែម | mm | អនុលោមតាមស្តង់ដារ SEMI M1.2 / យោងទៅ IEC62276 | ||||
| ប្រភេទផ្ទៃ | ប៉ូឡូញផ្នែកម្ខាង / ប៉ូឡូញចំហៀង | |||||
| ផ្នែកប៉ូឡូញ Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យផ្នែកខាងក្រោយ | μm | ទូទៅ 0.2-0.7 ឬប្ដូរតាមបំណង | ||||
Quartz ធៀបនឹងវត្ថុធាតុថ្លាផ្សេងទៀត។
| ទ្រព្យសម្បត្តិ | កញ្ចក់ Quartz | កញ្ចក់ Borosilicate | ត្បូងកណ្តៀង | កញ្ចក់ស្តង់ដារ |
|---|---|---|---|---|
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ~ ១១០០ អង្សាសេ | ~500°C | ~ 2000 អង្សាសេ | ~ ២០០ អង្សាសេ |
| ការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវី | អស្ចារ្យ (JGS1) | ក្រីក្រ | ល្អ | ក្រីក្រណាស់។ |
| ភាពធន់នឹងគីមី | ល្អឥតខ្ចោះ | មធ្យម | ល្អឥតខ្ចោះ | ក្រីក្រ |
| ភាពបរិសុទ្ធ | ខ្ពស់ណាស់។ | ទាបទៅមធ្យម | ខ្ពស់។ | ទាប |
| ការពង្រីកកំដៅ | ទាបណាស់។ | មធ្យម | ទាប | ខ្ពស់។ |
| ការចំណាយ | ពីមធ្យមទៅខ្ពស់។ | ទាប | ខ្ពស់។ | ទាបណាស់។ |
សំណួរគេសួរញឹកញាប់របស់ Quartz Glass Wafer
សំណួរទី 1: តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាង fused quartz និង fused silica?
ខណៈពេលដែលទាំងពីរគឺជាទម្រង់អាម៉ូនិកនៃ SiO₂ រ៉ែថ្មខៀវ fused ជាធម្មតាមានប្រភពមកពីប្រភពរ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិ ចំណែក silica fused ត្រូវបានផលិតដោយសំយោគ។ តាមមុខងារ ពួកវាផ្តល់នូវដំណើរការស្រដៀងគ្នា ប៉ុន្តែស៊ីលីកាដែលលាយបញ្ចូលគ្នាអាចមានភាពបរិសុទ្ធ និងភាពដូចគ្នាខ្ពស់ជាងបន្តិច។
សំណួរទី 2: តើ wafers រ៉ែថ្មខៀវអាចប្រើក្នុងបរិយាកាសដែលខ្វះចន្លោះបានដែរឬទេ?
បាទ។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិបញ្ចេញឧស្ម័នទាប និងធន់នឹងកម្ដៅខ្ពស់ ហ្វុយស៊ីបរ៉ែថ្មខៀវគឺល្អសម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលី និងកម្មវិធីអវកាស។
សំណួរទី 3: តើ wafers ទាំងនេះសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីឡាស៊ែរកាំរស្មីយូវី?
ដាច់ខាត។ Fused quartz មានការបញ្ជូនខ្ពស់ចុះដល់ ~185 nm ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ DUV optics, lithography masks និង excimer laser systems។
Q4: តើអ្នកគាំទ្រការផលិត wafer ផ្ទាល់ខ្លួនទេ?
បាទ។ យើងផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងពេញលេញ រួមទាំងអង្កត់ផ្ចិត កម្រាស់ គុណភាពផ្ទៃ ផ្ទះល្វែង/ស្នាមរន្ធ និងលំនាំឡាស៊ែរ ដោយផ្អែកលើតម្រូវការកម្មវិធីជាក់លាក់របស់អ្នក។
អំពីពួកយើង
XKH មានឯកទេសក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មី។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវសមាសធាតុអុបទិក Sapphire, គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទ, សេរ៉ាមិច, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, និង semiconductor crystal wafers ។ ជាមួយនឹងជំនាញដ៏ប៉ិនប្រសប់ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងពូកែក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ គោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ដែលឈានមុខគេក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។
