កែវភ្នែក SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ Cubic 4H-semi 6SP ទំហំប្ដូរតាមបំណង
លក្ខណៈពិសេសនៃកែវភ្នែក SiC
១. ឧត្តមភាពសម្ភារៈ
ភាពបត់បែនបរិស្ថានខ្លាំង៖ ទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាព >1500°C ការច្រេះខ្លាំងដោយសារអាស៊ីត/អាល់កាឡាំង និងវិទ្យុសកម្មថាមពលខ្ពស់ ដែលល្អសម្រាប់យានអវកាស និងរោងចក្រនុយក្លេអ៊ែរ។
កម្លាំងមេកានិចពិសេស៖ ភាពរឹងស្ទើរតែដូចពេជ្រ (Mohs 9.5) កម្លាំងពត់ >400 MPa និងភាពធន់នឹងផលប៉ះពាល់លើសពីកញ្ចក់អុបទិកធម្មតា។
ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ មានចរន្តកម្ដៅខ្ពស់ជាងស៊ីលីការលាយ ១០០ដង ជាមួយនឹង CTE ត្រឹមតែ ១/១០ នៃកញ្ចក់ធម្មតា ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពក្រោមវដ្តកម្ដៅរហ័ស។
2. គុណសម្បត្តិនៃដំណើរការអុបទិក
ការបញ្ជូនវិសាលគមទូលំទូលាយ (0.2-6 μm); ថ្នាំកូតឯកទេសអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការបញ្ជូនដល់ >95% នៅក្នុងក្រុមជាក់លាក់ (ឧទាហរណ៍ 3-5 μm mid-IR)។
ការបាត់បង់ការខ្ចាត់ខ្ចាយទាប (<0.5%/cm2) ផ្ទៃរលោងរហូតដល់ស្តង់ដារកោស 10/5 និងភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃ λ/10@633 nm។
កម្រិតខូចខាតខ្ពស់ដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរ (LIDT) >15 J/cm² (1064 nm, ជីពចរ 10 ns) ស័ក្តិសមសម្រាប់ប្រព័ន្ធផ្តោតឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់។
៣. សមត្ថភាពកែច្នៃដ៏ជាក់លាក់
គាំទ្រដល់ផ្ទៃស្មុគស្មាញ (អស្វ៊ែរ ទម្រង់សេរី) ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃទម្រង់ <100 nm PV និងចំណុចកណ្តាល <1 arcmin។
មានសមត្ថភាពផលិតកែវ SiC ដែលមានទំហំធំជាង (អង្កត់ផ្ចិត >500 ម.ម) សម្រាប់តេឡេស្កុបតារាសាស្ត្រ និងអុបទិកអវកាស។
កម្មវិធីចម្បងនៃកែវភ្នែក SiC
១. អុបទិកអវកាស និងការពារជាតិ
កែវយឹតចាប់សញ្ញាពីចម្ងាយតាមផ្កាយរណប និងអុបទិកតេឡេស្កុបអវកាស ដោយទាញយកប្រយោជន៍ពីលក្ខណៈសម្បត្តិទម្ងន់ស្រាលរបស់ SiC (ដង់ស៊ីតេ 3.21 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប) និងភាពធន់នឹងវិទ្យុសកម្ម។
បង្អួចអុបទិកសម្រាប់ស្វែងរកមីស៊ីល ដែលធន់នឹងកំដៅខ្យល់ (>1000°C) អំឡុងពេលហោះហើរលឿនជាងសំឡេង។
2. ប្រព័ន្ធឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់
កែវថតផ្តោតសម្រាប់ឧបករណ៍កាត់/ផ្សារដែកឡាស៊ែរឧស្សាហកម្ម ដែលរក្សាការប៉ះពាល់នឹងឡាស៊ែរបន្តថ្នាក់ kW រយៈពេលយូរ។
ធាតុបង្កើតរាងធ្នឹមនៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្សំនិចលភាព (ICF) ដែលធានាបាននូវការបញ្ជូនឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់យ៉ាងច្បាស់លាស់។
៣. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍ផលិតដោយភាពជាក់លាក់
ស្រទាប់កញ្ចក់ SiC សម្រាប់អុបទិកលីតូក្រាហ្វី EUV ដែលមានការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ <1 nm ក្រោមលំហូរកម្ដៅ 10 kW/m²។
កញ្ចក់អេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចសម្រាប់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យធ្នឹមអេឡិចត្រូនិច ដោយប្រើប្រាស់ចរន្តអគ្គិសនីរបស់ SiC សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពសកម្ម។
៤. ការត្រួតពិនិត្យឧស្សាហកម្ម និងថាមពល
កញ្ចក់អង់ដូស្កុបសម្រាប់ឡដុតដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់ 1500°C)។
សមាសធាតុអុបទិកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដសម្រាប់ឧបករណ៍កត់ត្រាអណ្តូងប្រេង ដែលទប់ទល់នឹងសម្ពាធក្រោមដី (>100 MPa) និងឧបករណ៍ច្រេះ។
គុណសម្បត្តិប្រកួតប្រជែងស្នូល
១. ភាពជាអ្នកដឹកនាំប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពគ្រប់ជ្រុងជ្រោយ
កញ្ចក់ SiC លើសពីសម្ភារៈអុបទិកប្រពៃណី (ស៊ីលីការលាយ ZnSe) ទាក់ទងនឹងស្ថេរភាពកម្ដៅ/មេកានិច/គីមី ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិ "ចរន្តខ្ពស់ + ការពង្រីកទាប" របស់វាដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៅក្នុងអុបទិកធំៗ។
២. ប្រសិទ្ធភាពចំណាយលើវដ្តជីវិត
ខណៈពេលដែលថ្លៃដើមដំបូងខ្ពស់ជាង អាយុកាលសេវាកម្មយូររបស់កញ្ចក់ SiC (កញ្ចក់ធម្មតា 5-10 ដង) និងប្រតិបត្តិការដែលមិនចាំបាច់ថែទាំ កាត់បន្ថយថ្លៃដើមសរុបនៃភាពជាម្ចាស់ (TCO) យ៉ាងសំខាន់។
៣. សេរីភាពក្នុងការរចនា
ដំណើរការដែលភ្ជាប់ដោយប្រតិកម្ម ឬ CVD អាចឱ្យមានរចនាសម្ព័ន្ធអុបទិក SiC ទម្ងន់ស្រាល (ស្នូលសំបុកឃ្មុំ) ដោយសម្រេចបានសមាមាត្ររឹងទៅទម្ងន់ដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន។
សមត្ថភាពសេវាកម្ម XKH
១. សេវាកម្មផលិតតាមតម្រូវការ
ដំណោះស្រាយពេញលេញចាប់ពីការរចនាអុបទិក (ការក្លែងធ្វើ Zemax/Code V) រហូតដល់ការដឹកជញ្ជូនចុងក្រោយ ដោយគាំទ្រដល់ផ្ទៃទម្រង់សេរីប៉ារ៉ាបូលអស្វ៊ែរ/ក្រៅអ័ក្ស។
ថ្នាំកូតឯកទេស៖ ប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំង (AR) កាបូនដូចពេជ្រ (LIDT >50 J/cm²) ITO ដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនី ជាដើម។
២. ប្រព័ន្ធធានាគុណភាព
ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ រួមទាំងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់អន្តរហ្វឺរ៉ូម៉ែត្រ 4D និងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ពន្លឺស ដែលធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ λ/20។
គុណភាពកម្រិតសម្ភារៈ៖ ការវិភាគទិសដៅគ្រីស្តាល់ XRD សម្រាប់ SiC នីមួយៗ។
៣. សេវាកម្មបន្ថែមតម្លៃ
ការវិភាគការភ្ជាប់កម្ដៅ-រចនាសម្ព័ន្ធ (ការក្លែងធ្វើ ANSYS) សម្រាប់ការព្យាករណ៍ការអនុវត្ត។
ការរចនារចនាសម្ព័ន្ធម៉ោនកែវ SiC រួមបញ្ចូលគ្នា។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
កញ្ចក់ SiC កំពុងកំណត់ឡើងវិញនូវដែនកំណត់នៃដំណើរការនៃប្រព័ន្ធអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់តាមរយៈលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបានរបស់ពួកគេ។ សមត្ថភាពរួមបញ្ចូលគ្នាបញ្ឈររបស់យើងក្នុងការសំយោគសម្ភារៈ SiC ការកែច្នៃដែលមានភាពជាក់លាក់ និងការធ្វើតេស្តផ្តល់នូវដំណោះស្រាយអុបទិកបដិវត្តន៍សម្រាប់វិស័យអាកាសចរណ៍ និងផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់។ ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃកំណើនគ្រីស្តាល់ SiC ការអភិវឌ្ឍនាពេលអនាគតនឹងផ្តោតលើការបើកធំជាង (>1 ម៉ែត្រ) និងធរណីមាត្រផ្ទៃស្មុគស្មាញជាង (អារេទម្រង់សេរី)។
ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតគ្រឿងបន្លាស់អុបទិកកម្រិតខ្ពស់ឈានមុខគេ XKH មានជំនាញខាងវត្ថុធាតុដើមដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់ រួមទាំងត្បូងកណ្តៀង ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) និងបន្ទះស៊ីលីកុន ដោយផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយពេញលេញចាប់ពីការកែច្នៃវត្ថុធាតុដើមរហូតដល់ការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់។ ជំនាញរបស់យើងគ្របដណ្តប់លើ៖
១. ការផលិតតាមតម្រូវការ៖ ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់នៃធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ (រាងស្វ៊ែរ រាងសេរី) ជាមួយនឹងការអត់ធ្មត់ដល់ ±០.០០១ម.ម
2. ភាពបត់បែននៃសម្ភារៈ៖ ដំណើរការត្បូងកណ្តៀង (បង្អួច UV-IR) SiC (អុបទិកថាមពលខ្ពស់) និងស៊ីលីកុន (អុបទិក IR/មីក្រូ)
៣. សេវាកម្មបន្ថែមតម្លៃ៖
ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង/ប្រើប្រាស់បានយូរ (UV-FIR)
ការធានាគុណភាពដែលគាំទ្រដោយមាត្រវិទ្យា (λ/20 ភាពរាបស្មើ)
ការផ្គុំបន្ទប់ស្អាតសម្រាប់កម្មវិធីដែលងាយនឹងបំពុល
ដោយបម្រើដល់ឧស្សាហកម្មអាកាសចរណ៍ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងឡាស៊ែរ យើងបញ្ចូលគ្នានូវជំនាញវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈជាមួយនឹងការផលិតកម្រិតខ្ពស់ ដើម្បីផ្តល់នូវអុបទិកដែលទប់ទល់នឹងបរិស្ថានធ្ងន់ធ្ងរ ខណៈពេលដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពអុបទិក។
