បន្ទះ InSb ទំហំ 2 អ៊ីញ 3 អ៊ីញ ប្រភេទ N ប្រភេទ P ដែលមិនមានការប៉ះពាល់ 111 100 សម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ
លក្ខណៈពិសេស
ជម្រើសប្រើប្រាស់សារធាតុញៀន៖
១. គ្មានសារធាតុញៀន៖បន្ទះវ៉ាហ្វឺរទាំងនេះមិនមានសារធាតុញៀនណាមួយទេ ហើយត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងសម្រាប់កម្មវិធីឯកទេសដូចជាការលូតលាស់តាមរន្ធតូចៗ ដែលបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដើរតួជាស្រទាប់ខាងក្រោមសុទ្ធ។
២. ប្រភេទ N (Te Doped):ការដូប Tellurium (Te) ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតបន្ទះប្រភេទ N ដែលផ្តល់នូវចល័តភាពអេឡិចត្រុងខ្ពស់ និងធ្វើឱ្យវាសមស្របសម្រាប់ឧបករណ៍រាវរកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿន និងកម្មវិធីផ្សេងទៀតដែលត្រូវការលំហូរអេឡិចត្រុងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
៣.ប្រភេទ P (Ge Doped):ការដូបហ្សែម៉ាញ៉ូម (Ge) ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតបន្ទះសៀគ្វីប្រភេទ P ដែលផ្តល់នូវភាពចល័តរន្ធខ្ពស់ និងផ្តល់នូវដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និងឧបករណ៍ចាប់ពន្លឺ។
ជម្រើសទំហំ៖
១. បន្ទះបន្ទះស្តើងទាំងនេះមានទំហំអង្កត់ផ្ចិត ២ អ៊ីញ និង ៣ អ៊ីញ។ នេះធានាបាននូវភាពឆបគ្នាជាមួយដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍ផ្សេងៗ។
២. បន្ទះសៀគ្វីទំហំ ២ អ៊ីញមានអង្កត់ផ្ចិត ៥០.៨ ± ០.៣ មីលីម៉ែត្រ ខណៈដែលបន្ទះសៀគ្វីទំហំ ៣ អ៊ីញមានអង្កត់ផ្ចិត ៧៦.២ ± ០.៣ មីលីម៉ែត្រ។
ទិសដៅ៖
១. បន្ទះ ...
គុណភាពផ្ទៃ៖
1. បន្ទះបន្ទះទាំងនេះមកជាមួយផ្ទៃប៉ូលា/ឆ្លាក់សម្រាប់គុណភាពល្អឥតខ្ចោះ ដែលអាចឱ្យមានដំណើរការល្អបំផុតក្នុងកម្មវិធីដែលត្រូវការលក្ខណៈអុបទិក ឬអគ្គិសនីច្បាស់លាស់។
2. ការរៀបចំផ្ទៃធានានូវដង់ស៊ីតេពិការភាពទាប ដែលធ្វើឱ្យបន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះល្អសម្រាប់កម្មវិធីរកឃើញអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ដែលភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃការអនុវត្តមានសារៈសំខាន់។
ត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ Epi៖
១. បន្ទះវ៉ាហ្វឺរទាំងនេះគឺត្រៀមរួចរាល់សម្រាប់ការផលិតជាស្រទាប់ៗ ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការលូតលាស់ជាស្រទាប់ៗ ដែលស្រទាប់សម្ភារៈបន្ថែមនឹងត្រូវបានដាក់លើបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើប ឬឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិក។
កម្មវិធី
១. ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖បន្ទះស្តើង InSb ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតឧបករណ៍រាវរកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ជាពិសេសក្នុងជួររលកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដមធ្យម (MWIR)។ វាមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ប្រព័ន្ធចក្ខុវិស័យពេលយប់ ការថតរូបភាពកម្ដៅ និងកម្មវិធីយោធា។
២. ប្រព័ន្ធថតរូបភាពអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖ភាពរសើបខ្ពស់នៃបន្ទះ InSb អនុញ្ញាតឱ្យមានការថតរូបភាពអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅក្នុងវិស័យផ្សេងៗ រួមទាំងសន្តិសុខ ការឃ្លាំមើល និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ។
៣. គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿន៖ដោយសារតែភាពចល័តអេឡិចត្រុងខ្ពស់របស់វា បន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចទំនើបៗ ដូចជាត្រង់ស៊ីស្ទ័រល្បឿនលឿន និងឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច។
៤. ឧបករណ៍អណ្តូងកង់ទិច៖បន្ទះស្តើង InSb គឺល្អសម្រាប់កម្មវិធីអណ្តូងកង់ទិចនៅក្នុងឡាស៊ែរ ឧបករណ៍រាវរក និងប្រព័ន្ធអុបតូអេឡិចត្រូនិចផ្សេងទៀត។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រផលិតផល
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | ២ អ៊ីញ | ៣ អ៊ីញ |
| អង្កត់ផ្ចិត | ៥០.៨ ± ០.៣ ម.ម | ៧៦.២ ± ០.៣ ម.ម |
| កម្រាស់ | ៥០០ ± ៥ មីក្រូម៉ែត្រ | ៦៥០ ± ៥ មីក្រូម៉ែត្រ |
| ផ្ទៃ | ប៉ូលា/ឆ្លាក់ | ប៉ូលា/ឆ្លាក់ |
| ប្រភេទនៃការប្រើសារធាតុញៀន | គ្មានសារធាតុញៀន, មានសារធាតុញៀន Te (N), មានសារធាតុញៀន Ge (P) | គ្មានសារធាតុញៀន, មានសារធាតុញៀន Te (N), មានសារធាតុញៀន Ge (P) |
| ការតំរង់ទិស | ១០០, ១១១ | ១០០, ១១១ |
| កញ្ចប់ | នៅលីវ | នៅលីវ |
| អេពី-រ៉េដឌី | បាទ/ចាស៎ | បាទ/ចាស៎ |
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនីសម្រាប់ Te Doped (ប្រភេទ N):
- ចល័តភាព: ២០០០-៥០០០ សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ/V·វិនាទី
- ភាពធន់: (1-1000) Ω·សង់ទីម៉ែត្រ
- EPD (ដង់ស៊ីតេពិការភាព): ≤2000 ពិការភាព/សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនីសម្រាប់ Ge Doped (ប្រភេទ P):
- ចល័តភាព៤០០០-៨០០០ សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ/វី·វិនាទី
- ភាពធន់: (0.5-5) Ω·សង់ទីម៉ែត្រ
EPD (ដង់ស៊ីតេពិការភាព): ≤2000 ពិការភាព/សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ
សំណួរ និងចម្លើយ (សំណួរដែលសួរញឹកញាប់)
សំណួរទី 1: តើប្រភេទសារធាតុដូបដ៏ល្អសម្រាប់កម្មវិធីរកឃើញអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដគឺជាអ្វី?
ក១៖ដូប Te (ប្រភេទ N)បន្ទះស្តើងជាទូទៅជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់កម្មវិធីរកឃើញអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ព្រោះវាផ្តល់នូវចល័តភាពអេឡិចត្រុងខ្ពស់ និងដំណើរការល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដរលកមធ្យម (MWIR) និងប្រព័ន្ធថតរូបភាព។
សំណួរទី 2: តើខ្ញុំអាចប្រើបន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះសម្រាប់កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿនបានទេ?
ចម្លើយទី 2: បាទ/ចាស៎ បន្ទះ InSb ជាពិសេសបន្ទះដែលមានការដូបប្រភេទ Nនិងទិសដៅ 100គឺស័ក្តិសមសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿនដូចជា ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ ឧបករណ៍អណ្តូងកង់ទិច និងសមាសធាតុអុបតូអេឡិចត្រូនិច ដោយសារតែវាមានចល័តភាពអេឡិចត្រុងខ្ពស់របស់វា។
សំណួរទី 3: តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងទិសដៅ 100 និង 111 សម្រាប់បន្ទះសៀគ្វី InSb?
A3: ទី១០០ការតំរង់ទិសត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលត្រូវការដំណើរការអេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿន ខណៈពេលដែល១១១ការតំរង់ទិសត្រូវបានប្រើជាញឹកញាប់សម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់ដែលតម្រូវឱ្យមានលក្ខណៈអគ្គិសនី ឬអុបទិកខុសៗគ្នា រួមទាំងឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាមួយចំនួន។
សំណួរទី៤៖ តើមុខងារ Epi-Ready សម្រាប់បន្ទះសូលុយស្យុង InSb មានសារៈសំខាន់យ៉ាងណា?
A4: ទីអេពី-រ៉េដឌីលក្ខណៈពិសេសមានន័យថា បន្ទះសៀគ្វីត្រូវបានព្យាបាលជាមុនសម្រាប់ដំណើរការដាក់ស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ី។ នេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីដែលតម្រូវឱ្យមានការលូតលាស់នៃស្រទាប់សម្ភារៈបន្ថែមនៅពីលើបន្ទះសៀគ្វី ដូចជាក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើប ឬឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច។
សំណួរទី 5: តើកម្មវិធីធម្មតានៃបន្ទះ InSb ក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដមានអ្វីខ្លះ?
ចម្លើយទី ៥៖ បន្ទះសៀគ្វី InSb ត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការរកឃើញអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ការថតរូបភាពកម្ដៅ ប្រព័ន្ធមើលឃើញពេលយប់ និងបច្ចេកវិទ្យាចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដផ្សេងទៀត។ ភាពរសើបខ្ពស់ និងសំឡេងរំខានទាបរបស់វាធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដរលកមធ្យម (MWIR)ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។
សំណួរទី 6: តើកម្រាស់របស់បន្ទះសៀគ្វីប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការរបស់វាយ៉ាងដូចម្តេច?
ចម្លើយទី៦៖ កម្រាស់នៃបន្ទះសៀគ្វីដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងស្ថេរភាពមេកានិច និងលក្ខណៈអគ្គិសនីរបស់វា។ បន្ទះសៀគ្វីស្តើងៗត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងកម្មវិធីដែលងាយប្រតិកម្មជាងនេះ ដែលតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់លើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈ ខណៈពេលដែលបន្ទះសៀគ្វីក្រាស់ៗផ្តល់នូវភាពធន់កាន់តែប្រសើរសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មមួយចំនួន។
សំណួរទី 7: តើខ្ញុំជ្រើសរើសទំហំបន្ទះសៀគ្វីដែលសមស្របសម្រាប់កម្មវិធីរបស់ខ្ញុំដោយរបៀបណា?
ក៧៖ ទំហំបន្ទះសៀគ្វីដែលសមស្របអាស្រ័យលើឧបករណ៍ ឬប្រព័ន្ធជាក់លាក់ដែលកំពុងត្រូវបានរចនាឡើង។ បន្ទះសៀគ្វីតូចៗ (២អ៊ីញ) ជារឿយៗត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវ និងកម្មវិធីខ្នាតតូចជាង ខណៈពេលដែលបន្ទះសៀគ្វីធំៗ (៣អ៊ីញ) ជាធម្មតាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ និងឧបករណ៍ធំៗដែលត្រូវការសម្ភារៈច្រើនជាង។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
បន្ទះ InSb ក្នុង២ អ៊ីញនិង៣ អ៊ីញទំហំ, ជាមួយមិនទាន់បានកែច្នៃ, ប្រភេទ Nនិងប្រភេទ Pបំរែបំរួល មានតម្លៃខ្ពស់នៅក្នុងកម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអុបតូអេឡិចត្រូនិច ជាពិសេសនៅក្នុងប្រព័ន្ធរកឃើញអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។១០០និង១១១ទិសដៅផ្តល់នូវភាពបត់បែនសម្រាប់តម្រូវការបច្ចេកវិទ្យាផ្សេងៗ ចាប់ពីអេឡិចត្រូនិចល្បឿនលឿនរហូតដល់ប្រព័ន្ធថតរូបភាពអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ ជាមួយនឹងចលនាអេឡិចត្រុងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ សំឡេងរំខានទាប និងគុណភាពផ្ទៃច្បាស់លាស់ បន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះគឺល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដរលកមធ្យមនិងកម្មវិធីដំណើរការខ្ពស់ផ្សេងទៀត។
ដ្យាក្រាមលម្អិត




