កញ្ចក់អុបទិកស៊ីលីការលាយ JGS1, JGS2, និង JGS3
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃស៊ីលីការលាយ JGS1, JGS2 និង JGS3
JGS1, JGS2 និង JGS3 គឺជាស៊ីលីការលាយបីប្រភេទដែលត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ ដែលប្រភេទនីមួយៗត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់តំបន់ជាក់លាក់នៃវិសាលគមអុបទិក។ ផលិតចេញពីស៊ីលីកាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតតាមរយៈដំណើរការរលាយកម្រិតខ្ពស់ សម្ភារៈទាំងនេះបង្ហាញពីភាពច្បាស់លាស់អុបទិកពិសេស ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងស្ថេរភាពគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
-
JGS1– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់ UV ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ការបញ្ជូនកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ។
-
JGS2– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់អុបទិក សម្រាប់ការប្រើប្រាស់ជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ដែលអាចមើលឃើញ។
-
JGS3– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់ IR ជាមួយនឹងដំណើរការអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដប្រសើរឡើង។
តាមរយៈការជ្រើសរើសថ្នាក់ត្រឹមត្រូវ វិស្វករអាចសម្រេចបាននូវការបញ្ជូនដ៏ល្អប្រសើរ ភាពធន់ និងស្ថេរភាពសម្រាប់ប្រព័ន្ធអុបទិកដែលទាមទារខ្ពស់។
ថ្នាក់ JGS1, JGS2 និង JGS3
ស៊ីលីការលាយ JGS1 – ថ្នាក់ UV
ជួរបញ្ជូន៖១៨៥–២៥០០ ណាណូម៉ែត្រ
កម្លាំងចម្បង៖តម្លាភាពខ្ពស់ក្នុងរលកពន្លឺយូវីជ្រៅ។
ស៊ីលីការលាយ JGS1 ត្រូវបានផលិតឡើងដោយប្រើស៊ីលីកាសំយោគដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងកម្រិតភាពមិនបរិសុទ្ធដែលគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន។ វាផ្តល់នូវដំណើរការពិសេសនៅក្នុងប្រព័ន្ធកាំរស្មីយូវី ដោយផ្តល់នូវការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ក្រោម 250 nm អូតូហ្វ្លុយអូរ៉េសង់សេសិនទាបខ្លាំង និងភាពធន់នឹងពន្លឺព្រះអាទិត្យខ្លាំង។
ចំណុចសំខាន់ៗនៃការអនុវត្តរបស់ JGS1៖
-
ការបញ្ជូន >90% ពី 200 nm ទៅជួរដែលអាចមើលឃើញ។
-
មាតិកាអ៊ីដ្រូស៊ីល (OH) ទាបដើម្បីកាត់បន្ថយការស្រូបយកកាំរស្មីយូវី។
-
កម្រិតខូចខាតឡាស៊ែរខ្ពស់សមរម្យសម្រាប់ឡាស៊ែរអ៊ិចស៊ីមឺរ។
-
ពន្លឺហ្វ្លុយអូរីសង់តិចតួចបំផុតសម្រាប់ការវាស់វែងកាំរស្មីយូវីបានត្រឹមត្រូវ។
កម្មវិធីទូទៅ៖
-
អុបទិកព្យាករណ៍រូបថត។
-
បង្អួច និងកញ្ចក់ឡាស៊ែរ Excimer (193 nm, 248 nm)។
-
ស្ពិចត្រូម៉ែត្រ UV និងឧបករណ៍វិទ្យាសាស្ត្រ។
-
ម៉ែត្រូឡូស៊ីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យកាំរស្មីយូវី។
ស៊ីលីការលាយ JGS2 – ថ្នាក់អុបទិក
ជួរបញ្ជូន៖២២០–៣៥០០ ណាណូម៉ែត្រ
កម្លាំងចម្បង៖ប្រសិទ្ធភាពអុបទិកមានតុល្យភាពចាប់ពីអាចមើលឃើញរហូតដល់ជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។
JGS2 ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រព័ន្ធអុបទិកគោលបំណងទូទៅ ដែលពន្លឺដែលអាចមើលឃើញ និងដំណើរការ NIR គឺជាចំណុចសំខាន់។ ខណៈពេលដែលវាផ្តល់នូវការបញ្ជូនកាំរស្មីយូវីកម្រិតមធ្យម តម្លៃចម្បងរបស់វាស្ថិតនៅក្នុងឯកសណ្ឋានអុបទិក ការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយរលកទាប និងភាពធន់នឹងកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
ចំណុចសំខាន់ៗនៃការអនុវត្តរបស់ JGS2៖
-
ការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ឆ្លងកាត់វិសាលគម VIS-NIR។
-
សមត្ថភាព UV រហូតដល់ ~220 nm សម្រាប់កម្មវិធីដែលអាចបត់បែនបាន។
-
ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ និងភាពតានតឹងមេកានិចបានយ៉ាងល្អ។
-
សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរឯកសណ្ឋានជាមួយនឹងភាពប្រែប្រួលពន្លឺតិចតួចបំផុត។
កម្មវិធីទូទៅ៖
-
អុបទិករូបភាពភាពជាក់លាក់។
-
បង្អួចឡាស៊ែរសម្រាប់រលកពន្លឺដែលអាចមើលឃើញ និងរលកពន្លឺ NIR។
-
ឧបករណ៍បំបែកធ្នឹម តម្រង និងព្រីស។
-
សមាសធាតុអុបទិកសម្រាប់មីក្រូទស្សន៍ និងប្រព័ន្ធបញ្ចាំង។
ស៊ីលីការលាយ JGS3 – IR
ថ្នាក់
ជួរបញ្ជូន៖២៦០–៣៥០០ ណាណូម៉ែត្រ
កម្លាំងចម្បង៖ការបញ្ជូនអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងជាមួយនឹងការស្រូបយក OH ទាប។
ស៊ីលីការលាយ JGS3 ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្តល់នូវតម្លាភាពអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដអតិបរមាដោយកាត់បន្ថយមាតិកាអ៊ីដ្រូស៊ីលអំឡុងពេលផលិត។ នេះកាត់បន្ថយកំពូលស្រូបយកនៅ ~2.73 μm និង ~4.27 μm ដែលអាចធ្វើឱ្យខូចប្រសិទ្ធភាពក្នុងការប្រើប្រាស់អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។
ចំណុចសំខាន់ៗនៃការអនុវត្តរបស់ JGS3៖
-
ការបញ្ជូន IR ល្អជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹង JGS1 និង JGS2។
-
ការខាតបង់ការស្រូបយកដែលទាក់ទងនឹង OH តិចតួចបំផុត។
-
ភាពធន់នឹងការឡើងកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
-
ស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
កម្មវិធីទូទៅ៖
-
បំពង់ស្ពែកត្រូស្កូប IR និងបង្អួច។
-
រូបភាពកម្ដៅ និងអុបទិកឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។
-
គម្របការពារ IR នៅក្នុងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់។
-
រន្ធមើលឧស្សាហកម្មសម្រាប់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ទិន្នន័យប្រៀបធៀបសំខាន់ៗរបស់ JGS1, JGS2 និង JGS3
| វត្ថុ | JGS1 | JGS2 | JGS3 |
| ទំហំអតិបរមា | <Φ200មម | <Φ300មម | <Φ200មម |
| ជួរបញ្ជូន (សមាមាត្របញ្ជូនមធ្យម) | ០,១៧~២,១០អ៊ុម (Tavg>៩០%) | ០,២៦~២,១០អ៊ុម (Tavg>៨៥%) | ០,១៨៥~៣,៥០អ៊ុម (Tavg>៨៥%) |
| OH- មាតិកា | ១២០០ ភីភីអឹម | ១៥០ ភីភីអឹម | ៥ ភីភីអឹម |
| ពន្លឺហ្វ្លុយអូរ៉េសង់ (ឧទាហរណ៍ 254nm) | ឥតគិតថ្លៃស្ទើរតែទាំងអស់ | វីប៊ីខ្លាំង | VB ខ្លាំង |
| មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ | ៥ ភីភីអឹម | ២០-៤០ ភីភីអឹម | ៤០-៥០ ភីភីអឹម |
| ថេរ Birefringence | ២-៤ ណាណូម៉ែត្រ/សង់ទីម៉ែត្រ | ៤-៦ ណាណូម៉ែត្រ/សង់ទីម៉ែត្រ | ៤-១០ ណាណូម៉ែត្រ/សង់ទីម៉ែត្រ |
| វិធីសាស្ត្ររលាយ | CVD សំយោគ | ការរលាយអុកស៊ី-អ៊ីដ្រូសែន | ការរលាយអគ្គិសនី |
| កម្មវិធី | ស្រទាប់ឡាស៊ែរ៖ បង្អួច កែវ ព្រីស កញ្ចក់... | បង្អួចស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ | អ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និង យូវី ស្រទាប់ខាងក្រោម |
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – ស៊ីលីការលាយ JGS1, JGS2 និង JGS3
សំណួរទី 1: តើអ្វីជាភាពខុសគ្នាសំខាន់ៗរវាង JGS1, JGS2 និង JGS3?
A:
-
JGS1– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់ UV ជាមួយនឹងការបញ្ជូនដ៏ល្អឥតខ្ចោះពី 185 nm ដែលល្អបំផុតសម្រាប់អុបទិកកាំរស្មី UV ជ្រៅ និងឡាស៊ែរ excimer។
-
JGS2– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់អុបទិក សម្រាប់កម្មវិធីជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (220–3500 nm) ដែលអាចមើលឃើញ សមរម្យសម្រាប់អុបទិកសម្រាប់គោលបំណងទូទៅ។
-
JGS3– ស៊ីលីការលាយថ្នាក់ IR ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់កាំរស្មីអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (260–3500 nm) ជាមួយនឹងកំពូលស្រូបយក OH ថយចុះ។
សំណួរទី 2: តើខ្ញុំគួរជ្រើសរើសថ្នាក់ណាសម្រាប់ការដាក់ពាក្យរបស់ខ្ញុំ?
A:
-
ជ្រើសរើសJGS1សម្រាប់ការបោះពុម្ពឡាស៊ែរ UV វិសាលគម UV ឬប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ 193 nm/248 nm។
-
ជ្រើសរើសJGS2សម្រាប់ការថតរូបភាពដែលអាចមើលឃើញ/NIR អុបទិកឡាស៊ែរ និងឧបករណ៍វាស់វែង។
-
ជ្រើសរើសJGS3សម្រាប់វិសាលគម IR ការថតរូបភាពកម្ដៅ ឬបង្អួចមើលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
សំណួរទី 3: តើថ្នាក់ JGS ទាំងអស់មានកម្លាំងរាងកាយដូចគ្នាដែរឬទេ?
A:បាទ/ចាស៎។ JGS1, JGS2 និង JGS3 មានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដូចគ្នា — ដង់ស៊ីតេ ភាពរឹង និងការពង្រីកកម្ដៅ — ពីព្រោះវាទាំងអស់ត្រូវបានផលិតចេញពីស៊ីលីការលាយដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ភាពខុសគ្នាសំខាន់ៗគឺអុបទិក។
សំណួរទី៤៖ តើ JGS1, JGS2 និង JGS3 ធន់នឹងការខូចខាតដោយឡាស៊ែរដែរឬទេ?
A:បាទ/ចាស៎។ ថ្នាក់ទាំងអស់មានកម្រិតបំផ្លាញឡាស៊ែរខ្ពស់ (>20 J/cm² នៅ 1064 nm, ជីពចរ 10 ns)។ សម្រាប់ឡាស៊ែរ UVJGS1ផ្តល់នូវភាពធន់នឹងពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងការរិចរិលផ្ទៃខ្ពស់បំផុត។
អំពីយើង
XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។












