Patterned Sapphire Substrate PSS 2inch 4inch 6inch ICP dry etching can be used for LED chips
លក្ខណៈស្នូល
1. លក្ខណៈសម្ភារៈ៖ សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមគឺជាត្បូងកណ្តៀងគ្រីស្តាល់តែមួយ (Al₂O₃) មានភាពរឹងខ្ពស់ ធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមី។
2. រចនាសម្ព័ន្ធផ្ទៃ៖ ផ្ទៃត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយ photolithography និង etching ចូលទៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូណាណូតាមកាលកំណត់ ដូចជាកោណ ពីរ៉ាមីត ឬអារេឆកោន។
3. ការអនុវត្តអុបទិក៖ តាមរយៈការរចនាលំនាំលើផ្ទៃ ការឆ្លុះបញ្ចាំងសរុបនៃពន្លឺនៅចំណុចប្រទាក់ត្រូវបានកាត់បន្ថយ ហើយប្រសិទ្ធភាពនៃការទាញយកពន្លឺត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។
4. ដំណើរការកំដៅ៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀងមានចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ សាកសមសម្រាប់កម្មវិធី LED ដែលមានថាមពលខ្ពស់។
5. ទំហំជាក់លាក់៖ ទំហំទូទៅគឺ 2 អ៊ីញ (50.8 មីលីម៉ែត្រ) 4 អ៊ីញ (100 មីលីម៉ែត្រ) និង 6 អ៊ីញ (150 មីលីម៉ែត្រ)។
តំបន់កម្មវិធីសំខាន់ៗ
1. ការផលិត LED៖
ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាពនៃការទាញយកពន្លឺ៖ PSS កាត់បន្ថយការបាត់បង់ពន្លឺតាមរយៈការរចនាលំនាំ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវពន្លឺ LED និងប្រសិទ្ធភាពពន្លឺ។
ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់ epitaxial: រចនាសម្ព័ន្ធដែលមានលំនាំផ្តល់នូវមូលដ្ឋានលូតលាស់កាន់តែប្រសើរឡើងសម្រាប់ស្រទាប់ epitaxial GaN និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការ LED ។
2. Laser Diode (LD):
ឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់៖ ចរន្តកំដៅ និងស្ថេរភាពខ្ពស់នៃ PSS គឺសមរម្យសម្រាប់ diodes ឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការបញ្ចេញកំដៅ និងភាពជឿជាក់។
ចរន្តកម្រិតទាប៖ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពកំណើនអេពីតាស៊ីល កាត់បន្ថយចរន្តកម្រិតនៃឌីយ៉ូតឡាស៊ែរ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព។
3. ឧបករណ៍ចាប់រូបភាព៖
ភាពប្រែប្រួលខ្ពស់៖ ការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ និងដង់ស៊ីតេខ្សោយនៃ PSS ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពប្រែប្រួល និងល្បឿនឆ្លើយតបរបស់ឧបករណ៍ចាប់រូបភាព។
ការឆ្លើយតបវិសាលគមធំទូលាយ៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ការរកឃើញ photoelectric នៅក្នុង ultraviolet ទៅជួរដែលអាចមើលឃើញ។
4. ថាមពលអេឡិចត្រូនិច៖
ធន់ទ្រាំនឹងតង់ស្យុងខ្ពស់៖ អ៊ីសូឡង់កំដៅ និងស្ថេរភាពខ្ពស់របស់ Sapphire គឺសមរម្យសម្រាប់ឧបករណ៍ថាមពលតង់ស្យុងខ្ពស់។
ការសាយភាយកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព៖ ចរន្តកំដៅខ្ពស់ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការបញ្ចេញកំដៅនៃឧបករណ៍ថាមពល និងពន្យារជីវិតសេវាកម្ម។
5. ឧបករណ៍ RF៖
ដំណើរការប្រេកង់ខ្ពស់៖ ការបាត់បង់ dielectric ទាប និងស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់នៃ PSS គឺសមរម្យសម្រាប់ឧបករណ៍ RF ប្រេកង់ខ្ពស់។
សំលេងរំខានទាប៖ ភាពសំប៉ែតខ្ពស់ និងដង់ស៊ីតេនៃពិការភាពទាបកាត់បន្ថយសំលេងរំខានរបស់ឧបករណ៍ និងធ្វើអោយគុណភាពសញ្ញាប្រសើរឡើង។
6. ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាជីវៈ
ការរកឃើញភាពប្រែប្រួលខ្ពស់៖ ការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមីនៃ PSS គឺសមរម្យសម្រាប់ biosensors ដែលមានប្រតិកម្មខ្ពស់។
ភាពឆបគ្នានឹងជីវសាស្រ្ត៖ ភាពឆបគ្នានៃត្បូងកណ្តៀង ធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីវេជ្ជសាស្ត្រ និងការពិនិត្យជីវសាស្ត្រ។
ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀង (PSS) ដែលមានលំនាំ GaN epitaxial សម្ភារៈ៖
ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀងដែលមានលំនាំ (PSS) គឺជាស្រទាប់ខាងក្រោមដ៏ល្អសម្រាប់ការលូតលាស់ epitaxial GaN (gallium nitride) ។ ថេរបន្ទះឈើនៃត្បូងកណ្តៀងគឺនៅជិត GaN ដែលអាចកាត់បន្ថយភាពមិនស៊ីគ្នានៃបន្ទះឈើ និងពិការភាពក្នុងការលូតលាស់នៃ epitaxial ។ រចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូណាណូនៃផ្ទៃ PSS មិនត្រឹមតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការទាញយកពន្លឺប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពគ្រីស្តាល់នៃស្រទាប់ GaN epitaxial ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃ LED ។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស
| ធាតុ | ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀង (2 ~ 6 អ៊ីញ) | ||
| អង្កត់ផ្ចិត | 50.8 ± 0.1 ម។ | 100.0 ± 0.2 ម។ | 150.0 ± 0.3 ម។ |
| កម្រាស់ | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| ការតំរង់ទិសផ្ទៃ | C-plane (0001) off-angle ឆ្ពោះទៅអ័ក្ស M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-plane (0001) off-angle ឆ្ពោះទៅ A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
| ប្រវែងផ្ទះល្វែងបឋម | 16.0 ± 1.0 ម។ | 30.0 ± 1.0 ម។ | 47.5 ± 2.0 ម។ |
| យន្តហោះ R | ម៉ោង ៩ | ||
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃខាងមុខ | លំនាំ | ||
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃខាងក្រោយ | SSP: ដីល្អ, Ra = 0.8-1.2um; DSP: Epi-polished, Ra<0.3nm | ||
| ឡាស៊ែរសម្គាល់ | ផ្នែកខាងក្រោយ | ||
| ធីធីវី | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| ធ្នូ | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| ការដកគែម | ≤2 ម។ | ||
| ការបញ្ជាក់លំនាំ | រចនាសម្ព័ន្ធរាង | Dome, Cone, ពីរ៉ាមីត | |
| កម្ពស់លំនាំ | 1.6 ~ 1.8 μm | ||
| លំនាំអង្កត់ផ្ចិត | 2.75 ~ 2.85μm | ||
| លំហលំនាំ | 0.1 ~ 0.3 μm | ||
XKH មានឯកទេសក្នុងការផ្តល់នូវស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀង (PSS) ដែលមានគុណភាពខ្ពស់តាមតម្រូវការជាមួយនឹងការគាំទ្រផ្នែកបច្ចេកទេស និងសេវាកម្មក្រោយពេលលក់ ដើម្បីជួយអតិថិជនឱ្យសម្រេចបាននូវការបង្កើតថ្មីប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពក្នុងវិស័យ LED អេក្រង់ និងអុបតូអេឡិចត្រូនិច។
1. ការផ្គត់ផ្គង់ PSS ដែលមានគុណភាពខ្ពស់៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀងដែលមានលំនាំក្នុងទំហំផ្សេងៗគ្នា (2", 4", 6") ដើម្បីបំពេញតម្រូវការរបស់ឧបករណ៍ LED, អេក្រង់ និង optoelectronic ។
2. ការរចនាតាមតម្រូវការ៖ ប្ដូរតាមបំណងនូវរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូណាណូលើផ្ទៃ (ដូចជាកោណ សាជីជ្រុង ឬអារេឆកោន) យោងទៅតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការទាញយកពន្លឺ។
3. ជំនួយផ្នែកបច្ចេកទេស៖ ផ្តល់ការរចនាកម្មវិធី PSS ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ និងការប្រឹក្សាបច្ចេកទេស ដើម្បីជួយអតិថិជនកែលម្អដំណើរការផលិតផល។
4. ជំនួយការលូតលាស់ epitaxial: PSS ផ្គូផ្គងជាមួយនឹងសម្ភារៈ epitaxial GaN ត្រូវបានផ្តល់ជូនដើម្បីធានាបាននូវការលូតលាស់ស្រទាប់ epitaxial ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
5. ការធ្វើតេស្ត និងវិញ្ញាបនប័ត្រ៖ ផ្តល់របាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យគុណភាព PSS ដើម្បីធានាថាផលិតផលត្រូវតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។
ដ្យាក្រាមលម្អិត
