ស្រទាប់ទទេរាងការ៉េត្បូងកណ្តៀង – បន្ទះអុបទិក បន្ទះស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងបន្ទះសាកល្បង
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃស្រទាប់ខាងក្រោមទទេ Sapphire Square
ស្រទាប់ទទេរាងការ៉េរបស់ត្បូងកណ្តៀង ដូចបានបង្ហាញក្នុងរូបភាព គឺជាសមាសធាតុអាលុយមីញ៉ូមអុកស៊ីដតែមួយដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងវិស្វកម្មអុបទិកទំនើប ការផលិតឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចរន្ត និងការធ្វើតេស្តឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់។ ដោយល្បីល្បាញដោយសារលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីដ៏ពិសេសរបស់វា ត្បូងកណ្តៀងបានក្លាយជាវត្ថុធាតុដើមមួយដែលមិនអាចខ្វះបានបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលទាមទារភាពធន់ ស្ថេរភាព និងដំណើរការអុបទិកខ្លាំង។ ផលិតតាមរយៈវិធីសាស្ត្រលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដ៏ទំនើប ដូចជាដំណើរការ Kyropoulos (KY) វិធីសាស្ត្រផ្លាស់ប្តូរកំដៅ (HEM) ឬ Czochralski (CZ) ត្បូងកណ្តៀងរាងការ៉េទាំងនេះត្រូវបានផលិតយ៉ាងល្អិតល្អន់ដើម្បីបំពេញតាមស្តង់ដារគុណភាពខ្ពស់បំផុត។
លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗនៃស្រទាប់ខាងក្រោមទទេ Sapphire Square
ត្បូងកណ្តៀងគឺជាគ្រីស្តាល់អានីសូត្រូពិចឯកតោភាគី ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធបន្ទះឈើឆកោន ដែលផ្តល់នូវការរួមបញ្ចូលគ្នាដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៃកម្លាំងមេកានិច ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី។ ជាមួយនឹងចំណាត់ថ្នាក់ភាពរឹងរបស់ Mohs 9 ត្បូងកណ្តៀងស្ថិតនៅលំដាប់ទីពីរបន្ទាប់ពីពេជ្រទាក់ទងនឹងភាពធន់នឹងការកោស ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរសូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌឧស្សាហកម្មសំណឹកក៏ដោយ។ ចំណុចរលាយរបស់វាលើសពី 2000°C ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបាននៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខណៈពេលដែលការបាត់បង់ឌីអេឡិចត្រិចទាបរបស់វាធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមដែលពេញចិត្តសម្រាប់កម្មវិធី RF និងអេឡិចត្រូនិចប្រេកង់ខ្ពស់។
នៅក្នុងដែនអុបទិក ត្បូងកណ្តៀងបង្ហាញពីជួរបញ្ជូនពន្លឺដ៏ធំទូលាយមួយ ចាប់ពីកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ (~200nm) រហូតដល់កាំរស្មីដែលអាចមើលឃើញ រហូតដល់កាំរស្មីអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដកណ្តាល (~5000nm) ជាមួយនឹងភាពដូចគ្នានៃអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងពន្លឺប៊ីរីហ្វ្រីងទាប នៅពេលដែលតម្រង់ទិសបានត្រឹមត្រូវ។ លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យត្បូងកណ្តៀងការ៉េមិនអាចខ្វះបាននៅក្នុងវាលអុបទិកដែលប្រើប្រាស់ថាមពលច្រើន ដូចជាប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ ហ្វូតូនិក ស្ពិចត្រូស្កូប និងការថតរូបភាព។
ការផលិត និងកែច្នៃ
ស្រទាប់ទទេរាងការ៉េត្បូងកណ្តៀងនីមួយៗឆ្លងកាត់ដំណើរការផលិតដ៏តឹងរ៉ឹង ដោយចាប់ផ្តើមពីម្សៅអាលុយមីណាឆៅដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលត្រូវបានគ្រប់គ្រងការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ក្នុងឡដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ បន្ទាប់ពីគ្រីស្តាល់ភាគច្រើនត្រូវបានដាំដុះ វាត្រូវបានតម្រង់ទិសយ៉ាងច្បាស់លាស់ (ជាទូទៅជាប្លង់ C (0001) ប្លង់ A (11-20) ឬប្លង់ R (1-102)) ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់នៃការអនុវត្ត។ បន្ទាប់មក គ្រីស្តាល់ត្រូវបានកាត់ជាបំណែកការ៉េដោយប្រើកាំបិតស្រោបពេជ្រ បន្ទាប់មកដោយការកិនយ៉ាងជាក់លាក់ដើម្បីសម្រេចបាននូវឯកសណ្ឋានកម្រាស់។ សម្រាប់ការប្រើប្រាស់អុបទិក និងស៊ីមីកុងដុកទ័រ ផ្ទៃអាចត្រូវបានប៉ូលាឱ្យរលោងកម្រិតអាតូម ដោយបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសរាបស្មើ ភាពស្របគ្នា និងភាពរដុបនៃផ្ទៃយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។
គុណសម្បត្តិសំខាន់ៗ
-
តម្លាភាពអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះ– ការបញ្ជូនប្រេកង់ធំទូលាយពី UV ទៅ IR ធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បង្អួចអុបទិក ប្រហោងឡាស៊ែរ និងគម្របឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។
-
កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់- កម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការបាក់បែក និងភាពធន់នឹងការកោស ធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិយាកាសស្ត្រេសខ្ពស់។
-
ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងគីមី– ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសារធាតុគីមីឈ្លានពាន ដោយរក្សាបាននូវភាពសុចរិតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងការប៉ះពាល់នឹងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់។
-
ការគ្រប់គ្រងវិមាត្រច្បាស់លាស់– ភាពអត់ធ្មត់កម្រាស់ដែលអាចសម្រេចបានក្នុងរង្វង់ ±5µm និងភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃរហូតដល់ λ/10 (នៅ 632.8nm) ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធី photolithography និង wafer bonding។
-
ភាពបត់បែន– ស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងសមាសធាតុអុបទិក ស្រទាប់ខាងក្រោមសម្រាប់ការលូតលាស់អេពីតាក់ស៊ី និងបន្ទះបន្ទះសាកល្បងដោយម៉ាស៊ីន។
កម្មវិធី
-
កម្មវិធីអុបទិក៖ ប្រើប្រាស់ជាបង្អួច តម្រង ឧបករណ៍កាន់ឧបករណ៍ផ្ទុកកម្រិតឡាស៊ែរ គម្របការពារសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងស្រទាប់ខាងក្រោមហ្វូតូនិក ដោយសារតែភាពច្បាស់លាស់ខាងអុបទិក និងភាពធន់របស់វា។
-
ស្រទាប់សេមីកុងដុកទ័របម្រើជាមូលដ្ឋានសម្រាប់អំពូល LED ដែលមានមូលដ្ឋានលើ GaN ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចថាមពល (រចនាសម្ព័ន្ធ SiC-on-sapphire) ឧបករណ៍ RF និងសៀគ្វីមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ដែលចរន្តកំដៅ និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីមានសារៈសំខាន់បំផុត។
-
ការធ្វើតេស្តឧបករណ៍ និងនំវ៉ាហ្វើរក្លែងក្លាយជាញឹកញាប់ត្រូវបានគេប្រើជាស្រទាប់ខាងក្រោមសាកល្បងនៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលប្រើសម្រាប់ការក្រិតតាមខ្នាតម៉ាស៊ីន ការក្លែងធ្វើដំណើរការ និងការធ្វើតេស្តភាពធន់នៃឧបករណ៍ឆ្លាក់ ការដាក់លោហៈ ឬឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ។
-
ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រចាំបាច់នៅក្នុងការរៀបចំពិសោធន៍ដែលតម្រូវឱ្យមានវេទិកាអសកម្ម ថ្លា និងមានស្ថេរភាពខាងមេកានិចសម្រាប់ការសិក្សាអុបទិក អគ្គិសនី និងសម្ភារៈ។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់
សំណួរទី 1: តើអ្វីទៅជាអត្ថប្រយោជន៍នៃការប្រើប្រាស់ត្បូងកណ្តៀងរាងការ៉េលើត្បូងរាងមូល?
ក: ចន្លោះទទេរាងការ៉េផ្តល់នូវផ្ទៃដែលអាចប្រើបានអតិបរមាសម្រាប់ការកាត់តាមតម្រូវការ ការផលិតឧបករណ៍ ឬការធ្វើតេស្តម៉ាស៊ីន ដែលកាត់បន្ថយកាកសំណល់សម្ភារៈ និងថ្លៃដើម។
សំណួរទី 2: តើស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀងអាចទប់ទល់នឹងបរិយាកាសដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័របានទេ?
ក: បាទ/ចាស៎ ស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀងរក្សាស្ថេរភាពក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការឆ្លាក់ប្លាស្មា និងការព្យាបាលដោយគីមីដែលកើតមានជាទូទៅនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
សំណួរទី 3: តើការតំរង់ទិសផ្ទៃសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីរបស់ខ្ញុំដែរឬទេ?
ក: ពិតណាស់។ ត្បូងកណ្តៀងរាងអក្សរ C ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់អេពីតាក់ស៊ី GaN ក្នុងការផលិត LED ខណៈពេលដែលទិសដៅរាងអក្សរ A និងរាងអក្សរ R ត្រូវបានគេពេញចិត្តសម្រាប់កម្មវិធីអុបទិក ឬភីហ្សូអេឡិចត្រិចជាក់លាក់។
សំណួរទី 4: តើចន្លោះទទេទាំងនេះអាចរកបានជាមួយនឹងថ្នាំកូតផ្ទាល់ខ្លួនដែរឬទេ?
ក: បាទ/ចាស៎ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង ថ្នាំកូតឌីអេឡិចត្រិច ឬថ្នាំកូតដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនីអាចត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការអុបទិក ឬអេឡិចត្រូនិចជាក់លាក់។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។










