ដំបង​ត្បូង​កណ្តៀង​រាង​ពិសេស KY និង EFG សម្ពាធ​ខ្ពស់

ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការទាញបំពង់ត្បូងកណ្តៀងចេញពីរលាយដោយមានជំនួយពីគ្រាប់ពូជ ជម្រាលសីតុណ្ហភាពបណ្តោយនៅក្នុងតំបន់រវាងផ្នែកខាងមុខរឹង និងតំបន់ទាញ ដែលសីតុណ្ហភាពស្ថិតនៅចន្លោះពី 1850 ដល់ 1900 អង្សាសេ ត្រូវបានរក្សាមិនលើសពី 30 អង្សាសេ/សង់ទីម៉ែត្រ។ បំពង់ដែលដាំដុះត្រូវបានដុតនៅសីតុណ្ហភាពចន្លោះពី 1950 ដល់ 2000 អង្សាសេ ដោយបង្កើនសីតុណ្ហភាពក្នុងអត្រា 30 ទៅ 40 អង្សាសេ/នាទី ហើយរក្សាបំពង់នៅសីតុណ្ហភាពនោះក្នុងរយៈពេលចន្លោះពី 3 ទៅ 4 ម៉ោង។ បន្ទាប់ពីនោះ បំពង់ត្រូវបានត្រជាក់ចុះមកសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ក្នុងអត្រា 30-40 អង្សាសេ/នាទី។

កម្មវិធីដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖

(HPD CVD, PECVD, ការឆ្លាក់ស្ងួត, ការឆ្លាក់សើម)

បំពង់​លាប​ប្លាស្មា

ក្បាលបាញ់ឧស្ម័នដំណើរការ

ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាចំណុចបញ្ចប់

បំពង់ Corona Excimer