ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor
ដ្យាក្រាមលម្អិត


ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផលនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ឧបករណ៍លើក-បិទឡាស៊ែរ Semiconductor តំណាងឱ្យដំណោះស្រាយជំនាន់ក្រោយសម្រាប់ការស្តើង ingot កម្រិតខ្ពស់នៅក្នុងដំណើរការសម្ភារៈ semiconductor ។ មិនដូចវិធីសាស្រ្ត wafering បែបប្រពៃណីដែលពឹងផ្អែកលើការកិនមេកានិច ការកាត់ខ្សែពេជ្រ ឬការធ្វើផែនការមេកានិចគីមី វេទិកាដែលមានមូលដ្ឋានលើឡាស៊ែរនេះផ្តល់នូវជម្រើសដែលមិនប៉ះពាល់ដល់ការទំនាក់ទំនង និងគ្មានការបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ការផ្ដាច់ស្រទាប់ស្តើងខ្លាំងចេញពីសារធាតុ semiconductor ភាគច្រើន។
ធ្វើឱ្យប្រសើរសម្រាប់វត្ថុធាតុផុយ និងមានតម្លៃខ្ពស់ដូចជាហ្គាលីញ៉ូមនីត្រាត (GaN) ស៊ីលីកុនកាបូនឌីអុកស៊ីត (SiC) ត្បូងកណ្តៀង និងហ្គាលីញ៉ូមអាសេនីត (GaAs) ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor អនុញ្ញាតឱ្យកាត់ខ្សែភាពជាក់លាក់នៃខ្សែភាពយន្តខ្នាត wafer ដោយផ្ទាល់ពីគ្រីស្តាល់ ingot ។ បច្ចេកវិទ្យាឈានមុខគេនេះកាត់បន្ថយកាកសំណល់សម្ភារៈយ៉ាងច្រើន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលំហូរចូល និងបង្កើនភាពសុចរិតនៃស្រទាប់ខាងក្រោម — ដែលទាំងអស់នេះមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ឧបករណ៍ជំនាន់ក្រោយនៅក្នុងថាមពលអេឡិចត្រូនិច ប្រព័ន្ធ RF រូបវិទ្យា និងអេក្រង់ខ្នាតតូច។
ជាមួយនឹងការសង្កត់ធ្ងន់លើការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ ទម្រង់ធ្នឹម និងការវិភាគអន្តរកម្មនៃសម្ភារៈឡាស៊ែរ ឧបករណ៍ Semiconductor Laser Lift-Off ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងលំហូរការងារនៃការផលិត semiconductor ខណៈពេលដែលគាំទ្រដល់ភាពបត់បែន R&D និងការធ្វើមាត្រដ្ឋានផលិតកម្មដ៏ធំ។


បច្ចេកវិទ្យា និងគោលការណ៍ប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ

ដំណើរការដែលអនុវត្តដោយឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor ចាប់ផ្តើមដោយការបំភាយសារធាតុជំនួយពីផ្នែកម្ខាងដោយប្រើកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេដែលមានថាមពលខ្ពស់។ ធ្នឹមនេះត្រូវបានផ្តោតយ៉ាងតឹងរឹងលើជម្រៅខាងក្នុងជាក់លាក់មួយ ជាធម្មតានៅតាមបណ្តោយចំណុចប្រទាក់វិស្វកម្ម ដែលការស្រូបយកថាមពលត្រូវបានពង្រីកអតិបរមាដោយសារភាពផ្ទុយគ្នានៃអុបទិក កម្ដៅ ឬគីមី។
នៅស្រទាប់ស្រូបយកថាមពលនេះ កំដៅដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មនាំឱ្យមានការផ្ទុះខ្នាតតូច ការពង្រីកឧស្ម័ន ឬការរលួយនៃស្រទាប់អន្តរមុខ (ឧទាហរណ៍ ខ្សែភាពយន្តស្ត្រេស ឬអុកស៊ីដបូជា)។ ការរអាក់រអួលដែលបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នេះបណ្តាលឱ្យស្រទាប់គ្រីស្តាល់ខាងលើ - ដែលមានកម្រាស់រាប់សិបមីក្រូម៉ែត្រ - បំបែកចេញពីស្រទាប់ខាងក្នុងយ៉ាងស្អាត។
ឧបករណ៍ Semiconductor Laser Lift-Off Equipment អានុភាពលើក្បាលស្កេនដែលធ្វើសមកាលកម្មចលនា ការគ្រប់គ្រងអ័ក្ស z ដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន និងការឆ្លុះបញ្ចាំងតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង ដើម្បីធានាថារាល់ជីពចរផ្តល់ថាមពលយ៉ាងពិតប្រាកដនៅយន្តហោះគោលដៅ។ ឧបករណ៍នេះក៏អាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាមួយនឹងមុខងារ burst-mode ឬ multi-pulse ដើម្បីបង្កើនភាពរលូននៃការផ្ដាច់ និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។ សំខាន់ ដោយសារកាំរស្មីឡាស៊ែរមិនដែលប៉ះនឹងវត្ថុធាតុរាងកាយ ហានិភ័យនៃការបំបែកមីក្រូហ្វូន ការបត់ជើង ឬការប៉ះទង្គិចលើផ្ទៃត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។
នេះធ្វើឱ្យវិធីសាស្ត្រកាត់បន្ថយភាពស្តើងដោយឡាស៊ែរជាការផ្លាស់ប្តូរហ្គេម ជាពិសេសនៅក្នុងកម្មវិធីដែលតម្រូវឱ្យប្រើ wafers ស្តើងបំផុតជាមួយនឹង sub-micron TTV (ការបំរែបំរួលនៃកម្រាស់សរុប)។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor
រលក | IR/SHG/THG/FHG |
---|---|
ទទឹងជីពចរ | ណាណូវិនាទី, ភីកូសវិនាទី, Femtosecond |
ប្រព័ន្ធអុបទិក | ប្រព័ន្ធអុបទិកថេរ ឬប្រព័ន្ធអុបទិក Galvano |
ដំណាក់កាល XY | 500 មម × 500 មម |
ជួរដំណើរការ | 160 ម។ |
ល្បឿននៃចលនា | អតិបរមា 1,000 មីលីម៉ែត្រ / វិ |
ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត | ± 1 μm ឬតិចជាងនេះ។ |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងដាច់ខាត៖ | ± 5 μm ឬតិចជាងនេះ។ |
ទំហំ Wafer | 2-6 អ៊ីញឬប្ដូរតាមបំណង |
គ្រប់គ្រង | Windows 10,11 និង PLC |
វ៉ុលផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | AC 200 V ±20 V, ដំណាក់កាលតែមួយ, 50/60 kHz |
វិមាត្រខាងក្រៅ | 2400 mm (W) × 1700 mm (D) × 2000 mm (H) |
ទម្ងន់ | 1,000 គីឡូក្រាម |
កម្មវិធីឧស្សាហកម្មនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ឧបករណ៍លើក-បិទឡាស៊ែរ Semiconductor កំពុងផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងឆាប់រហ័សពីរបៀបដែលសម្ភារៈត្រូវបានរៀបចំនៅទូទាំងដែន semiconductor ជាច្រើន៖
- ឧបករណ៍ថាមពល GaN បញ្ឈរនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ការដកខ្សែភាពយន្ត GaN-on-GaN ស្តើងបំផុតចេញពីវត្ថុធាតុច្រើនអាចឱ្យស្ថាបត្យកម្មដំណើរការបញ្ឈរ និងប្រើឡើងវិញនូវស្រទាប់ខាងក្រោមមានតម្លៃថ្លៃ។
- SiC Wafer Thinning សម្រាប់ឧបករណ៍ Schottky និង MOSFET
កាត់បន្ថយកម្រាស់ស្រទាប់ឧបករណ៍ ខណៈពេលដែលរក្សាទម្រង់នៃស្រទាប់ខាងក្រោម — ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានថាមពលប្តូរលឿន។
- អំពូល LED ដែលមានមូលដ្ឋានលើត្បូងកណ្តៀង និងសម្ភារៈបង្ហាញនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
បើកដំណើរការការបំបែកស្រទាប់ឧបករណ៍ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពពីគ្រាប់ត្បូងកណ្តៀង ដើម្បីគាំទ្រការផលិតមីក្រូ LED ស្តើង និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពកម្ដៅ។
- វិស្វកម្មសម្ភារៈ III-V នៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ជួយសម្រួលដល់ការផ្ដាច់ស្រទាប់ GaAs, InP, និង AlGaN សម្រាប់ការរួមបញ្ចូល optoelectronic កម្រិតខ្ពស់។
- Thin-wafer IC និងការផលិតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា
ផលិតស្រទាប់មុខងារស្តើងសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់ល្បឿន ឬ photodiodes ដែលភាគច្រើនជាឧបសគ្គនៃដំណើរការ។
- អេឡិចត្រូនិចដែលអាចបត់បែនបាន និងតម្លាភាព
រៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោមស្តើងបំផុត ដែលសមរម្យសម្រាប់អេក្រង់ដែលអាចបត់បែនបាន សៀគ្វីដែលអាចពាក់បាន និងបង្អួចឆ្លាតវៃដែលមានតម្លាភាព។
នៅក្នុងផ្នែកនីមួយៗនៃផ្នែកទាំងនេះ ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបើកដំណើរការខ្នាតតូច ការប្រើប្រាស់ឡើងវិញនូវសម្ភារៈ និងការធ្វើឱ្យដំណើរការងាយស្រួល។

សំណួរដែលគេសួរញឹកញាប់ (FAQ) នៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
សំណួរទី 1: តើកម្រាស់អប្បបរមាដែលខ្ញុំអាចសម្រេចបានដោយប្រើឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor Lift-Off គឺជាអ្វី?
A1:ជាធម្មតារវាង 10-30 មីក្រូអាស្រ័យលើសម្ភារៈ។ ដំណើរការនេះមានសមត្ថភាពទទួលបានលទ្ធផលស្តើងជាងមុនជាមួយនឹងការរៀបចំដែលបានកែប្រែ។
សំណួរទី 2: តើវាអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់ wafers ជាច្រើនពី ingot ដូចគ្នាដែរឬទេ?
A2៖បាទ។ អតិថិជនជាច្រើនប្រើបច្ចេកទេសលើកឡាស៊ែ ដើម្បីធ្វើការស្រង់ចេញជាស៊េរីនៃស្រទាប់ស្តើងជាច្រើនពីការបញ្ចូលដុំនីមួយៗ។
សំណួរទី 3: តើលក្ខណៈពិសេសសុវត្ថិភាពអ្វីខ្លះត្រូវបានរួមបញ្ចូលសម្រាប់ប្រតិបត្តិការឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់?
A3៖ឯករភជប់ថ្នាក់ទី 1 ប្រព័ន្ធ interlock ប្រព័ន្ធការពារធ្នឹម និងការបិទដោយស្វ័យប្រវត្តិគឺជាស្តង់ដារទាំងអស់។
សំណួរទី 4: តើប្រព័ន្ធនេះប្រៀបធៀបទៅនឹងការកាត់ខ្សែពេជ្រក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃការចំណាយយ៉ាងដូចម្តេច?
A4៖ខណៈពេលដែល capex ដំបូងអាចខ្ពស់ជាងនេះ ការលើកឡាស៊ែរកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងនូវការចំណាយប្រើប្រាស់ ការបំផ្លាញស្រទាប់ខាងក្រោម និងជំហានក្រោយដំណើរការ — កាត់បន្ថយការចំណាយសរុបនៃភាពជាម្ចាស់ (TCO) រយៈពេលវែង។
សំណួរទី 5: តើដំណើរការអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានទៅ 6 អ៊ីញឬ 8 អ៊ីញ?
A5:ដាច់ខាត។ វេទិកានេះគាំទ្រដល់ស្រទាប់ខាងក្រោមទំហំ 12 អ៊ីញជាមួយនឹងការចែកចាយធ្នឹមឯកសណ្ឋាន និងដំណាក់កាលចលនាទ្រង់ទ្រាយធំ។
អំពីពួកយើង
XKH មានឯកទេសក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មី។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវសមាសធាតុអុបទិក Sapphire, គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទ, សេរ៉ាមិច, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, និង semiconductor crystal wafers ។ ជាមួយនឹងជំនាញដ៏ប៉ិនប្រសប់ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងពូកែក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ គោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ដែលឈានមុខគេក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។
