ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រ
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផលនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រតំណាងឱ្យដំណោះស្រាយជំនាន់ក្រោយសម្រាប់ការស្តើងបន្ទះដែកកម្រិតខ្ពស់ក្នុងដំណើរការសម្ភារៈសេមីកុងដុកទ័រ។ មិនដូចវិធីសាស្រ្តបែបប្រពៃណីដែលពឹងផ្អែកលើការកិនមេកានិច ការកាត់ខ្សែពេជ្រ ឬការធ្វើឱ្យរលោង-មេកានិចគីមីនោះទេ វេទិកាដែលមានមូលដ្ឋានលើឡាស៊ែរនេះផ្តល់នូវជម្រើសដែលមិនប៉ះពាល់ និងមិនបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ការផ្ដាច់ស្រទាប់ស្តើងខ្លាំងចេញពីបន្ទះដែកសេមីកុងដុកទ័រភាគច្រើន។
ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមផុយស្រួយ និងមានតម្លៃខ្ពស់ដូចជា gallium nitride (GaN) silicon carbide (SiC) sapphire និង gallium arsenide (GaAs) អនុញ្ញាតឱ្យមានការកាត់ខ្សែភាពយន្ត wafer-scale ដោយផ្ទាល់ពីដុំគ្រីស្តាល់។ បច្ចេកវិទ្យាដ៏ជោគជ័យនេះកាត់បន្ថយការខ្ជះខ្ជាយសម្ភារៈយ៉ាងច្រើន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវ throughput និងបង្កើនភាពសុចរិតនៃស្រទាប់ខាងក្រោម — ដែលទាំងអស់នេះមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ឧបករណ៍ជំនាន់ក្រោយនៅក្នុងអេឡិចត្រូនិចថាមពល ប្រព័ន្ធ RF ហ្វូតូនិក និងមីក្រូអេក្រង់។
ដោយសង្កត់ធ្ងន់លើការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ ការបង្កើតរាងធ្នឹម និងការវិភាគអន្តរកម្មឡាស៊ែរ-សម្ភារៈ ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងលំហូរការងារផលិតសេមីកុងដុកទ័រ ខណៈពេលដែលគាំទ្រដល់ភាពបត់បែននៃការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ និងសមត្ថភាពធ្វើមាត្រដ្ឋានផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ។
បច្ចេកវិទ្យា និងគោលការណ៍ប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ដំណើរការដែលអនុវត្តដោយឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រចាប់ផ្តើមដោយការបំភាយកាំរស្មីឡាស៊ែរអ៊ុលត្រាវីយូឡេថាមពលខ្ពស់។ កាំរស្មីនេះត្រូវបានផ្តោតយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើជម្រៅខាងក្នុងជាក់លាក់មួយ ជាធម្មតាតាមបណ្តោយចំណុចប្រទាក់ដែលបានរចនាឡើង ដែលការស្រូបយកថាមពលត្រូវបានបង្កើនអតិបរមាដោយសារតែភាពផ្ទុយគ្នាអុបទិក កម្ដៅ ឬគីមី។
នៅស្រទាប់ស្រូបយកថាមពលនេះ កំដៅក្នុងមូលដ្ឋាននាំឱ្យមានការផ្ទុះយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃមីក្រូ ការពង្រីកឧស្ម័ន ឬការរលួយនៃស្រទាប់អន្តរមុខ (ឧទាហរណ៍ ខ្សែភាពយន្តស្ត្រេស ឬអុកស៊ីដបូជា)។ ការរំខានដែលគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នេះបណ្តាលឱ្យស្រទាប់គ្រីស្តាល់ខាងលើ — ដែលមានកម្រាស់រាប់សិបមីក្រូម៉ែត្រ — ផ្ដាច់ចេញពីដុំមូលដ្ឋានបានយ៉ាងស្អាត។
ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រប្រើប្រាស់ក្បាលស្កេនដែលធ្វើសមកាលកម្មចលនា ការគ្រប់គ្រងអ័ក្ស z ដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន និងការឆ្លុះបញ្ចាំងពេលវេលាជាក់ស្តែង ដើម្បីធានាថាជីពចរនីមួយៗផ្តល់ថាមពលយ៉ាងពិតប្រាកដនៅប្លង់គោលដៅ។ ឧបករណ៍នេះក៏អាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាមួយនឹងសមត្ថភាពរបៀបផ្ទុះ ឬពហុជីពចរ ដើម្បីបង្កើនភាពរលោងនៃការផ្ដាច់ និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។ អ្វីដែលសំខាន់នោះ ដោយសារតែធ្នឹមឡាស៊ែរមិនដែលប៉ះនឹងសម្ភារៈខាងរូបវន្ត ហានិភ័យនៃការប្រេះស្រាំ ការកោង ឬការប្រេះផ្ទៃត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។
នេះធ្វើឱ្យវិធីសាស្ត្រលើកបន្ទះស្តើងដោយឡាស៊ែរក្លាយជាឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គេម ជាពិសេសក្នុងកម្មវិធីដែលត្រូវការបន្ទះស្តើងខ្លាំង និងសំប៉ែតខ្លាំង ជាមួយ TTV (Total Thickness Variation) ទំហំអនុមីក្រូន។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រ
| រលកប្រវែង | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| ទទឹងជីពចរ | ណាណូវិនាទី, ពីកូវិនាទី, ហ្វឹមតូវិនាទី |
| ប្រព័ន្ធអុបទិក | ប្រព័ន្ធអុបទិកថេរ ឬប្រព័ន្ធ Galvano-optical |
| ដំណាក់កាល XY | ៥០០ ម.ម × ៥០០ ម.ម |
| ជួរដំណើរការ | ១៦០ ម.ម. |
| ល្បឿនចលនា | អតិបរមា ១០០០ មីលីម៉ែត្រ/វិនាទី |
| សមត្ថភាពធ្វើម្តងទៀតបាន | ±1 μm ឬតិចជាងនេះ |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងដាច់ខាត៖ | ±5 μm ឬតិចជាងនេះ |
| ទំហំបន្ទះ | ២-៦ អ៊ីញ ឬប្ដូរតាមបំណង |
| ការគ្រប់គ្រង | វីនដូ ១០, ១១ និងភីអិលស៊ី |
| វ៉ុលផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | AC 200 V ±20 V, ដំណាក់កាលតែមួយ, 50/60 kHz |
| វិមាត្រខាងក្រៅ | ២៤០០ ម.ម (ទទឹង) × ១៧០០ ម.ម (ជម្រៅ) × ២០០០ ម.ម (កម្ពស់) |
| ទម្ងន់ | ១០០០ គីឡូក្រាម |
ការអនុវត្តឧស្សាហកម្មនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរស៊ីមីកុងដុកទ័រកំពុងផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងឆាប់រហ័សនូវរបៀបដែលសម្ភារៈត្រូវបានរៀបចំនៅទូទាំងដែនស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើន៖
- ឧបករណ៍ថាមពល GaN បញ្ឈរនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
ការលើកខ្សែភាពយន្ត GaN-on-GaN ស្តើងបំផុតចេញពីដុំដែកភាគច្រើនអាចឱ្យមានស្ថាបត្យកម្មចរន្តបញ្ឈរ និងការប្រើប្រាស់ស្រទាប់ខាងក្រោមថ្លៃៗឡើងវិញ។
- ការធ្វើឲ្យស្តើងបន្ទះ SiC សម្រាប់ឧបករណ៍ Schottky និង MOSFET
កាត់បន្ថយកម្រាស់ស្រទាប់ឧបករណ៍ ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពរាបស្មើនៃស្រទាប់ខាងក្រោម — ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចថាមពលដែលប្តូរលឿន។
- សម្ភារៈ LED និងអេក្រង់ដែលមានមូលដ្ឋានលើត្បូងកណ្តៀងនៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
អនុញ្ញាតឱ្យមានការបំបែកស្រទាប់ឧបករណ៍ចេញពីបាល់ត្បូងកណ្តៀងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីគាំទ្រដល់ការផលិតមីក្រូ LED ស្តើង និងប្រសើរឡើងសម្រាប់កម្ដៅ។
- វិស្វកម្មសម្ភារៈ III-V នៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
សម្រួលដល់ការផ្ដាច់ស្រទាប់ GaAs, InP និង AlGaN សម្រាប់ការរួមបញ្ចូលអុបតូអេឡិចត្រូនិចកម្រិតខ្ពស់។
- ការផលិត IC ស្តើង និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា
ផលិតស្រទាប់មុខងារស្តើងៗសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ ឧបករណ៍វាស់ល្បឿន ឬហ្វូតូឌីយ៉ូដ ដែលបរិមាណច្រើនគឺជាឧបសគ្គនៃដំណើរការ។
- គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចដែលអាចបត់បែនបាន និងមានតម្លាភាព
រៀបចំស្រទាប់ខាងក្រោមស្តើងបំផុតដែលសមស្របសម្រាប់អេក្រង់ដែលអាចបត់បែនបាន សៀគ្វីដែលអាចពាក់បាន និងបង្អួចឆ្លាតវៃថ្លា។
នៅក្នុងវិស័យនីមួយៗទាំងនេះ ឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធ្វើឱ្យដំណើរការមានទំហំតូច ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈឡើងវិញ និងការធ្វើឱ្យដំណើរការសាមញ្ញ។
សំណួរដែលសួរជាញឹកញាប់ (FAQ) នៃឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរ
សំណួរទី 1: តើកម្រាស់អប្បបរមាដែលខ្ញុំអាចសម្រេចបានដោយប្រើឧបករណ៍លើកឡាស៊ែរសេមីកុងដុកទ័រមានប៉ុន្មាន?
ក១៖ជាធម្មតាមានទំហំចន្លោះពី ១០-៣០ មីក្រូន អាស្រ័យលើសម្ភារៈ។ ដំណើរការនេះអាចបង្កើតលទ្ធផលស្តើងជាងមុនជាមួយនឹងការរៀបចំដែលបានកែប្រែ។
សំណួរទី 2: តើវាអាចប្រើសម្រាប់កាត់បន្ទះសៀគ្វីច្រើនពីដុំតែមួយបានទេ?
ចម្លើយទី ២៖បាទ/ចាស៎។ អតិថិជនជាច្រើនប្រើបច្ចេកទេសលើកឡាស៊ែរ ដើម្បីអនុវត្តការទាញយកស្រទាប់ស្តើងៗជាច្រើនចេញពីដុំដែកតែមួយជាបន្តបន្ទាប់។
សំណួរទី 3: តើលក្ខណៈពិសេសសុវត្ថិភាពអ្វីខ្លះដែលត្រូវបានរួមបញ្ចូលសម្រាប់ប្រតិបត្តិការឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់?
ក៣៖របងថ្នាក់ទី 1 ប្រព័ន្ធចាក់សោជាប់ របាំងការពារធ្នឹម និងការបិទដោយស្វ័យប្រវត្តិ សុទ្ធតែជាស្តង់ដារ។
សំណួរទី៤៖ តើប្រព័ន្ធនេះប្រៀបធៀបទៅនឹងម៉ាស៊ីនកាត់ខ្សែពេជ្រយ៉ាងដូចម្តេចទាក់ទងនឹងតម្លៃ?
លេខ ៤៖ខណៈពេលដែលការចំណាយដើមទុនដំបូងអាចខ្ពស់ជាង ការលើកឡាស៊ែរកាត់បន្ថយការចំណាយលើការប្រើប្រាស់ ការខូចខាតស្រទាប់ខាងក្រោម និងជំហានក្រោយដំណើរការយ៉ាងខ្លាំង — ដែលកាត់បន្ថយការចំណាយសរុបនៃភាពជាម្ចាស់ (TCO) រយៈពេលវែង។
សំណួរទី 5: តើដំណើរការនេះអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានដល់ដុំដែកទំហំ 6 អ៊ីញ ឬ 8 អ៊ីញបានទេ?
ក៥៖ពិតណាស់។ វេទិកានេះទ្រទ្រង់ស្រទាប់ខាងក្រោមរហូតដល់ 12 អ៊ីញ ជាមួយនឹងការចែកចាយធ្នឹមឯកសណ្ឋាន និងដំណាក់កាលចលនាទ្រង់ទ្រាយធំ។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។










