ដៃប្រគល់ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ការដឹកបន្ទះបន្ទះស្តើងៗ

ដៃបញ្ជូនចុងសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ការដាក់បន្ទះបន្ទះ រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បន្ទះសៀគ្វី LiNbO₃ តំណាងឱ្យស្តង់ដារមាសនៅក្នុងវិស័យហ្វូតូនិករួមបញ្ចូលគ្នា និងសូរស័ព្ទដែលមានភាពជាក់លាក់ ដោយផ្តល់នូវដំណើរការដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៅក្នុងប្រព័ន្ធអុបតូអេឡិចត្រូនិចទំនើប។ ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតឈានមុខគេ យើងបានធ្វើឱ្យសិល្បៈនៃការផលិតស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបានរចនាឡើងទាំងនេះល្អឥតខ្ចោះតាមរយៈបច្ចេកទេសលំនឹងដឹកជញ្ជូនចំហាយទឹកកម្រិតខ្ពស់ ដោយសម្រេចបាននូវភាពល្អឥតខ្ចោះនៃគ្រីស្តាល់ឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងដង់ស៊ីតេពិការភាពក្រោម 50/cm²។

សមត្ថភាពផលិត XKH មានអង្កត់ផ្ចិតចាប់ពី 75mm ដល់ 150mm ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងការតំរង់ទិសច្បាស់លាស់ (X/Y/Z-cut ±0.3°) និងជម្រើសសារធាតុដូបឯកទេស រួមទាំងធាតុដ៏កម្រ។ ការរួមបញ្ចូលគ្នាតែមួយគត់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិនៅក្នុងបន្ទះ LiNbO₃ - រួមទាំងមេគុណ r₃₃ ដ៏គួរឱ្យកត់សម្គាល់របស់វា (32±2 pm/V) និងតម្លាភាពទូលំទូលាយពីជិត UV ដល់មធ្យម IR - ធ្វើឱ្យពួកវាមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់សៀគ្វីហ្វូតូនិកជំនាន់ក្រោយ និងឧបករណ៍សូរស័ព្ទប្រេកង់ខ្ពស់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

សារធាតុបញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC សង្ខេប

ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC (Silicon Carbide) គឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយនៅក្នុងប្រព័ន្ធដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងបរិស្ថានមីក្រូហ្វារីសកម្រិតខ្ពស់។ ឧបករណ៍បញ្ចប់ឯកទេសនេះ ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃបរិស្ថានដែលមានភាពស្អាតបំផុត សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាពខ្ពស់ ធានានូវការដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីដែលអាចទុកចិត្តបាន និងគ្មានការបំពុលក្នុងដំណាក់កាលផលិតកម្មសំខាន់ៗដូចជា លីថូក្រាហ្វី ការឆ្លាក់ និងការដាក់ស្រទាប់។

ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃស៊ីលីកុនកាបៃ — ដូចជាចរន្តកំដៅខ្ពស់ ភាពរឹងខ្លាំង ភាពអសកម្មគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការពង្រីកកំដៅតិចតួចបំផុត — ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC ផ្តល់នូវភាពរឹងមេកានិច និងស្ថេរភាពវិមាត្រដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមវដ្តកម្ដៅរហ័ស ឬនៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការច្រេះក៏ដោយ។ ការបង្កើតភាគល្អិតទាប និងលក្ខណៈធន់នឹងប្លាស្មារបស់វាធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីដំណើរការបន្ទប់ស្អាត និងកន្លែងទំនេរ ដែលការរក្សាភាពសុចរិតនៃផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី និងការកាត់បន្ថយការចម្លងរោគភាគល្អិតគឺមានសារៈសំខាន់បំផុត។

កម្មវិធីអនុវត្តឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC

១. ការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច

ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះស៊ីលីកុនកំឡុងពេលផលិតដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ ឧបករណ៍បញ្ចប់ទាំងនេះជាធម្មតាត្រូវបានម៉ោននៅលើដៃរ៉ូបូត ឬប្រព័ន្ធផ្ទេរសុញ្ញកាស ហើយត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្ទុកបន្ទះទំហំផ្សេងៗដូចជា 200mm និង 300mm។ ពួកវាមានសារៈសំខាន់នៅក្នុងដំណើរការរួមមានការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) ការបញ្ចេញចំហាយរូបវន្ត (PVD) ការឆ្លាក់ និងការសាយភាយ—ដែលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ លក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស និងឧស្ម័នกัดกร่อนមានជាទូទៅ។ ភាពធន់នឹងកម្ដៅពិសេស និងស្ថេរភាពគីមីរបស់ SiC ធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អបំផុតដើម្បីទប់ទល់នឹងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់បែបនេះដោយមិនមានការរិចរិល។

2. ភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី

នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត និងកន្លែងទំនេរ ជាកន្លែងដែលការចម្លងរោគភាគល្អិតត្រូវតែកាត់បន្ថយឱ្យនៅអប្បបរមា សេរ៉ាមិច SiC ផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិយ៉ាងសំខាន់។ ផ្ទៃរលោង និងក្រាស់របស់សម្ភារៈទប់ទល់នឹងការបង្កើតភាគល្អិត ដែលជួយរក្សាភាពសុចរិតនៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន។ នេះធ្វើឱ្យឧបករណ៍បញ្ចប់ SiC ស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ដំណើរការសំខាន់ៗដូចជា Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) និង Atomic Layer Deposition (ALD) ជាកន្លែងដែលអនាម័យមានសារៈសំខាន់។ លើសពីនេះ ការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប និងភាពធន់នឹងប្លាស្មាខ្ពស់របស់ SiC ធានានូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបាននៅក្នុងបន្ទប់ទំនេរ ដែលពន្យារអាយុកាលរបស់ឧបករណ៍ និងកាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់នៃការថែទាំ។

៣. ប្រព័ន្ធកំណត់ទីតាំងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់

ភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពគឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងប្រព័ន្ធដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីកម្រិតខ្ពស់ ជាពិសេសនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ ការត្រួតពិនិត្យ និងការតម្រឹម។ សេរ៉ាមិច SiC មានមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត និងភាពរឹងខ្ពស់ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យឧបករណ៍បញ្ចប់រក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃរចនាសម្ព័ន្ធរបស់វា សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមវដ្តកម្ដៅ ឬបន្ទុកមេកានិចក៏ដោយ។ នេះធានាថាបន្ទះសៀគ្វីនៅតែតម្រឹមយ៉ាងច្បាស់លាស់ក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន ដែលកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការកោសតូចៗ ការតម្រឹមមិនត្រឹមត្រូវ ឬកំហុសវាស់វែង - កត្តាដែលកាន់តែមានសារៈសំខាន់នៅថ្នាំងដំណើរការក្រោម 5nm។

លក្ខណៈសម្បត្តិនៃសារធាតុបញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC

១. កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ និងភាពរឹង

សេរ៉ាមិច SiC មានកម្លាំងមេកានិចពិសេស ជាមួយនឹងកម្លាំងពត់កោងជាញឹកញាប់លើសពី 400 MPa និងតម្លៃរឹង Vickers លើសពី 2000 HV។ នេះធ្វើឱ្យពួកវាមានភាពធន់នឹងភាពតានតឹងមេកានិច ផលប៉ះពាល់ និងការពាក់ខ្ពស់ សូម្បីតែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់ប្រតិបត្តិការយូរក៏ដោយ។ ភាពរឹងខ្ពស់នៃ SiC ក៏កាត់បន្ថយការពត់កោងក្នុងអំឡុងពេលផ្ទេរ wafer ល្បឿនលឿន ដែលធានាបាននូវទីតាំងត្រឹមត្រូវ និងអាចធ្វើម្តងទៀតបាន។

2. ស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ

លក្ខណៈសម្បត្តិដ៏មានតម្លៃបំផុតមួយនៃសេរ៉ាមិច SiC គឺសមត្ថភាពរបស់វាក្នុងការទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុត — ជារឿយៗរហូតដល់ 1600°C នៅក្នុងបរិយាកាសអសកម្ម — ដោយមិនបាត់បង់ភាពសុចរិតមេកានិច។ មេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វា (~4.0 x 10⁻⁶ /K) ធានានូវស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមវដ្តកម្ដៅ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីដូចជា CVD, PVD និងការដុតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

សំណួរ និងចម្លើយអំពីឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC

សំណួរ៖ តើសម្ភារៈអ្វីខ្លះដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុង wafer end effector?

ក៖ឧបករណ៍បញ្ចប់បន្ទះស៊ីលីកុនជាទូទៅត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដែលផ្តល់នូវកម្លាំងខ្ពស់ ស្ថិរភាពកម្ដៅ និងការបង្កើតភាគល្អិតទាប។ ក្នុងចំណោមវត្ថុធាតុដើមទាំងនេះ សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) គឺជាវត្ថុធាតុដើមមួយដែលទំនើបបំផុត និងពេញនិយមបំផុត។ សេរ៉ាមិច SiC មានភាពរឹងខ្លាំង មានស្ថិរភាពកម្ដៅ អសកម្មខាងគីមី និងធន់នឹងការពាក់ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការដោះស្រាយបន្ទះស៊ីលីកុនដែលឆ្ងាញ់ក្នុងបន្ទប់ស្អាត និងបរិយាកាសក្នុងកន្លែងទំនេរ។ បើធៀបនឹងលោហធាតុរ៉ែថ្មខៀវ ឬលោហធាតុស្រោប SiC ផ្តល់នូវស្ថិរភាពវិមាត្រខ្ពស់ក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយមិនបញ្ចេញភាគល្អិតទេ ដែលជួយការពារការចម្លងរោគ។