SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់កម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការផលិត Semiconductor

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់កម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតរូបភាពពិសេសរបស់ Semiconductor

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

SiC Ceramic Fork Arm ដែលជារឿយៗគេហៅថា Ceramic End Effector គឺជាធាតុផ្សំនៃការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូន wafer ការតម្រឹម និងទីតាំងនៅក្នុងឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ជាពិសេសនៅក្នុងការផលិត semiconductor និង photovoltaic ។ ផលិតឡើងដោយប្រើសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សមាសធាតុនេះរួមបញ្ចូលគ្នានូវកម្លាំងមេកានិចពិសេស ការពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត និងភាពធន់ទ្រាំខ្ពស់ចំពោះការឆក់កម្ដៅ និងការ corrosion ។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផល

មិនដូចឧបករណ៍បញ្ចប់បែបប្រពៃណីដែលផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក ឬសូម្បីតែរ៉ែថ្មខៀវ SiC ceramic end effectors ផ្តល់នូវដំណើរការដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលី បន្ទប់ស្អាត និងបរិស្ថានដំណើរការដ៏អាក្រក់ដែលធ្វើឱ្យពួកវាក្លាយជាផ្នែកសំខាន់នៃមនុស្សយន្តគ្រប់គ្រង wafer ជំនាន់ក្រោយ។ ជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃតម្រូវការសម្រាប់ការផលិតគ្មានការចម្លងរោគ និងការអត់ធ្មត់កាន់តែតឹងរ៉ឹងក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វី ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍សេរ៉ាមិចបញ្ចប់គឺបានក្លាយទៅជាស្តង់ដារឧស្សាហកម្មយ៉ាងឆាប់រហ័ស។

គោលការណ៍ផលិតកម្ម

ការប្រឌិតរបស់SiC Ceramic End Effectorsពាក់ព័ន្ធនឹងស៊េរីនៃដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលធានាបានទាំងដំណើរការ និងភាពធន់។ ដំណើរការសំខាន់ពីរត្រូវបានប្រើជាធម្មតា៖

ស៊ីលីកុនកាបូនដែលភ្ជាប់ដោយប្រតិកម្ម (RB-SiC)

នៅក្នុងដំណើរការនេះ សារធាតុ preform ធ្វើពីម្សៅស៊ីលីកុន carbide និង binder ត្រូវបានជ្រៀតចូលជាមួយ silicon molten នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (~1500°C) ដែលមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងកាបូនដែលនៅសេសសល់ដើម្បីបង្កើតជាសមាសធាតុ SiC-Si ក្រាស់ និងរឹង។ វិធីសាស្រ្តនេះផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងមានប្រសិទ្ធិភាពចំណាយសម្រាប់ផលិតកម្មខ្នាតធំ។

ស៊ីលីកុនកាបូនគ្មានសម្ពាធ (SSiC)

SSiC ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការដុតម្សៅ SiC ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំង (> 2000°C) ដោយមិនប្រើសារធាតុបន្ថែម ឬដំណាក់កាលចង។ នេះបណ្តាលឱ្យផលិតផលដែលមានដង់ស៊ីតេជិត 100% និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកម្ដៅខ្ពស់បំផុតដែលមានក្នុងចំណោមសម្ភារៈ SiC ។ វាគឺល្អសម្រាប់កម្មវិធីគ្រប់គ្រង wafer ខ្លាំងបំផុត។

ក្រោយដំណើរការ

ភាពជាក់លាក់ម៉ាស៊ីន CNC៖ សម្រេចបានភាពរាបស្មើខ្ពស់ និងស្របគ្នា។
ការបញ្ចប់ផ្ទៃ៖ ការខាត់ពេជ្រកាត់បន្ថយភាពរដុបលើផ្ទៃដល់ <0.02 µm ។
អធិការកិច្ច៖ ការប្រើអុបទិក interferometry, CMM និងការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់បំណែកនីមួយៗ។

ជំហានទាំងនេះធានាថា សឧបករណ៍បញ្ចប់ SiCផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់ wafer ជាប់លាប់ ប្លង់ល្អឥតខ្ចោះ និងការបង្កើតភាគល្អិតតិចតួចបំផុត។

លក្ខណៈពិសេស និងអត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗ

លក្ខណៈ	ការពិពណ៌នា
ភាពរឹងខ្ពស់ជ្រុល	ភាពរឹងរបស់ Vickers > 2500 HV ធន់នឹងការពាក់ និងការច្រេះ។
ការពង្រីកកំដៅទាប	CTE ~4.5×10⁻⁶/K ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានស្ថេរភាពវិមាត្រក្នុងការជិះកង់កម្ដៅ។
ភាពអសកម្មគីមី	ធន់នឹង HF, HCl, ឧស្ម័នប្លាស្មា និងភ្នាក់ងារច្រេះផ្សេងទៀត។
ភាពធន់នឹងការឆក់កំដៅដ៏អស្ចារ្យ	ស័ក្តិសមសម្រាប់កំដៅ/ត្រជាក់រហ័សនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលី និងឡ។
ភាពរឹងនិងកម្លាំងខ្ពស់។	គាំទ្រដៃសមជើងវែងដោយគ្មានការផ្លាត។
ការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប	ល្អបំផុតសម្រាប់បរិស្ថានបូមធូលីខ្លាំង (UHV)។
ISO ថ្នាក់ទី១ បន្ទប់ស្អាតរួចរាល់ហើយ។	ប្រតិបត្តិការដោយគ្មានភាគល្អិតធានានូវភាពសុចរិតរបស់ wafer ។

កម្មវិធី

SiC Ceramic Fork Arm/End Effector ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលត្រូវការភាពជាក់លាក់ ភាពស្អាត និងធន់នឹងសារធាតុគីមី។ សេណារីយ៉ូកម្មវិធីសំខាន់ៗរួមមាន:

ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក

ការផ្ទុក wafer / unloading នៅក្នុង de deposition (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE) និងប្រព័ន្ធសំអាត។
ការដឹកជញ្ជូន wafer មនុស្សយន្តរវាង FOUPs កាសែត និងឧបករណ៍ដំណើរការ។
ការទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់កំឡុងពេលដំណើរការកំដៅ ឬការហៀរសំបោរ។

ការផលិតកោសិកា photovoltaic

ការដឹកជញ្ជូនឆ្ងាញ់នៃ wafers ស៊ីលីកូនផុយស្រួយឬស្រទាប់ខាងក្រោមពន្លឺព្រះអាទិត្យនៅក្នុងបន្ទាត់ស្វ័យប្រវត្តិ។

ឧស្សាហកម្មអេក្រង់រាបស្មើ (FPD)

ការផ្លាស់ទីបន្ទះកញ្ចក់ធំ ឬស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម OLED/LCD ។

សមាសធាតុ Semiconductor / MEMS

ប្រើនៅក្នុងបន្ទាត់ប្រឌិត GaN, SiC និង MEMS ដែលការគ្រប់គ្រងការចម្លងរោគ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងមានសារៈសំខាន់ណាស់។

តួនាទីចុងក្រោយរបស់វាមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសក្នុងការធានាឱ្យមានការដោះស្រាយដោយគ្មានបញ្ហា និងមានស្ថេរភាពក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការរសើប។

សមត្ថភាពប្ដូរតាមបំណង

យើងផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងយ៉ាងទូលំទូលាយ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការឧបករណ៍ និងដំណើរការផ្សេងៗគ្នា៖

ការរចនា Fork៖ ប្លង់ពីរជើង ច្រើនម្រាមដៃ ឬបំបែកកម្រិត។
ភាពឆបគ្នានៃទំហំ Wafer: ពី 2 "ទៅ 12" wafers ។
ចំណុចប្រទាក់ម៉ោន៖ ឆបគ្នាជាមួយអាវុធមនុស្សយន្ត OEM ។
ភាពធន់នឹងផ្ទៃ និងកម្រាស់៖ ភាពរាបស្មើកម្រិតមីក្រូន និងការបង្គត់គែមមាន។
មុខងារប្រឆាំងនឹងការរអិល៖ វាយនភាពលើផ្ទៃស្រេចចិត្ត ឬថ្នាំកូតសម្រាប់ការក្តាប់ wafer ដោយសុវត្ថិភាព។

គ្នា។ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចត្រូវបានសហការរចនាជាមួយអតិថិជនដើម្បីធានាឱ្យបាននូវសមស្របយ៉ាងជាក់លាក់ជាមួយនឹងការផ្លាស់ប្តូរឧបករណ៍តិចតួចបំផុត។

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ (FAQ)

សំណួរទី 1: តើ SiC ប្រសើរជាងរ៉ែថ្មខៀវសម្រាប់កម្មវិធី End Effector យ៉ាងដូចម្តេច?
A1:ខណៈពេលដែលរ៉ែថ្មខៀវត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធរបស់វា វាខ្វះភាពរឹងម៉ាញេទិក ហើយងាយនឹងបំបែកនៅក្រោមបន្ទុក ឬការឆក់សីតុណ្ហភាព។ SiC ផ្តល់នូវភាពខ្លាំង ភាពធន់នឹងការពាក់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃពេលវេលារងចាំ និងការខូចខាតយ៉ាងសំខាន់។

សំណួរទី 2: តើដៃសមធ្វើពីសេរ៉ាមិចនេះត្រូវគ្នាជាមួយឧបករណ៍ដោះស្រាយរ៉ូបូតទាំងអស់ដែរឬទេ?
A2៖បាទ/ចាស៎ គ្រឿងតុបតែងសេរ៉ាមិចរបស់យើងគឺត្រូវគ្នាជាមួយប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង wafer សំខាន់ៗភាគច្រើន ហើយអាចប្រែប្រួលទៅតាមគំរូមនុស្សយន្តជាក់លាក់របស់អ្នកជាមួយនឹងគំនូរវិស្វកម្មច្បាស់លាស់។

សំណួរទី 3: តើវាអាចដោះស្រាយ wafers 300 មីលីម៉ែត្រដោយគ្មានការ warping?
A3៖ដាច់ខាត។ ភាពរឹងខ្ពស់នៃ SiC អនុញ្ញាតឱ្យសូម្បីតែដៃសមវែងស្តើងអាចកាន់ wafers 300 មីលីម៉ែត្រដោយសុវត្ថិភាពដោយមិនមានការយារធ្លាក់ ឬផ្លាតអំឡុងពេលចលនា។

សំណួរទី 4: តើអ្វីជាអាយុកាលសេវាកម្មធម្មតារបស់ SiC ceramic end effector?
A4៖ជាមួយនឹងការប្រើប្រាស់ត្រឹមត្រូវ SiC end effector អាចប្រើប្រាស់បានយូរជាង 5 ទៅ 10 ដងជាងម៉ូដែលរ៉ែថ្មខៀវ ឬអាលុយមីញ៉ូមប្រពៃណី ដោយសារភាពធន់ទ្រាំដ៏ល្អរបស់វាចំពោះភាពតានតឹងកម្ដៅ និងមេកានិច។

សំណួរទី 5: តើអ្នកផ្តល់សេវាជំនួស ឬសេវាកម្មគំរូរហ័សទេ?
A5:បាទ/ចាស យើងគាំទ្រការផលិតគំរូយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងផ្តល់សេវាកម្មជំនួសដោយផ្អែកលើគំនូរ CAD ឬផ្នែកដែលកែច្នៃបញ្ច្រាសពីឧបករណ៍ដែលមានស្រាប់។

អំពីពួកយើង

XKH មានឯកទេសក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មី។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវសមាសធាតុអុបទិក Sapphire, គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទ, សេរ៉ាមិច, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, និង semiconductor crystal wafers ។ ជាមួយនឹងជំនាញដ៏ប៉ិនប្រសប់ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងពូកែក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ គោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ដែលឈានមុខគេក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។