ចាន/ថាសសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់កន្លែងដាក់បន្ទះ wafer ទំហំ 4 អ៊ីញ ទំហំ 6 អ៊ីញ សម្រាប់ ICP

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC គឺជាសមាសធាតុដែលមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងពីស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងបរិយាកាសកម្ដៅ គីមី និងមេកានិចខ្លាំង។ ដោយល្បីល្បាញដោយសារភាពរឹង ចរន្តកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងការច្រេះពិសេសរបស់វា បន្ទះ SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយជាឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វី ឧបករណ៍ទទួល ឬសមាសធាតុរចនាសម្ព័ន្ធនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ LED ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងអាកាសចរណ៍។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC សង្ខេប

ជាមួយនឹងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះរហូតដល់ 1600°C និងភាពធន់នឹងឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្ម និងបរិស្ថានប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ បន្ទះ SiC ធានានូវដំណើរការដែលមានស្ថេរភាពក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់ ការដាក់លោហៈ និងសាយភាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ រចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូដែលក្រាស់ និងមិនជ្រាបទឹករបស់វាកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីស្អាតខ្លាំងនៅក្នុងការកំណត់កន្លែងទំនេរ ឬបន្ទប់ស្អាត។

ការដាក់ពាក្យបន្ទះសេរ៉ាមិច SiC

១. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាបន្ទះទ្រទ្រង់បន្ទះសៀគ្វី ឧបករណ៍ទទួល និងបន្ទះជើងទម្រនៅក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រដូចជា CVD (Chemical Vapor Deposition) PVD (Physical Vapor Deposition) និងប្រព័ន្ធឆ្លាក់។ ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការពង្រីកកំដៅទាបរបស់ពួកវាអនុញ្ញាតឱ្យពួកវារក្សាការចែកចាយសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាន ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ភាពធន់នឹងឧស្ម័នច្រេះ និងប្លាស្មារបស់ SiC ធានានូវភាពធន់នៅក្នុងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់ ដែលជួយកាត់បន្ថយការចម្លងរោគភាគល្អិត និងការថែទាំឧបករណ៍។

2. ឧស្សាហកម្ម LED – ការឆ្លាក់ ICP

នៅក្នុងវិស័យផលិត LED បន្ទះ SiC គឺជាសមាសធាតុសំខាន់ៗនៅក្នុងប្រព័ន្ធឆ្លាក់ ICP (Inductively Coupled Plasma)។ ដោយដើរតួជាអ្នកកាន់បន្ទះ wafer ពួកវាផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាព និងធន់នឹងកម្ដៅ ដើម្បីទ្រទ្រង់បន្ទះ sapphire ឬ GaN ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការប្លាស្មា។ ភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃ និងស្ថេរភាពវិមាត្ររបស់ពួកវាជួយធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងឯកសណ្ឋាននៃការឆ្លាក់ខ្ពស់ ដែលនាំឱ្យមានការកើនឡើងនៃទិន្នផល និងដំណើរការឧបករណ៍នៅក្នុងបន្ទះឈីប LED។

៣. ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ (PV) និងថាមពលព្រះអាទិត្យ

បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC ក៏ត្រូវបានគេប្រើក្នុងការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យផងដែរ ជាពិសេសក្នុងអំឡុងពេលដំណាក់កាល sintering និង annealing សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ភាពអសកម្មរបស់វានៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសមត្ថភាពក្នុងការទប់ទល់នឹងការរួញ ធានាបាននូវដំណើរការដ៏ស៊ីសង្វាក់គ្នានៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ លើសពីនេះ ហានិភ័យនៃការបំពុលទាបរបស់ពួកវាគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការរក្សាប្រសិទ្ធភាពនៃកោសិកា photovoltaic។

លក្ខណៈសម្បត្តិនៃបន្ទះសេរ៉ាមិច SiC

១. កម្លាំងមេកានិច និងភាពរឹងល្អឥតខ្ចោះ

បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC បង្ហាញពីកម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ខ្លាំង ជាមួយនឹងកម្លាំងពត់ធម្មតាលើសពី 400 MPa និងភាពរឹងរបស់ Vickers ឈានដល់ >2000 HV។ នេះធ្វើឱ្យពួកវាមានភាពធន់នឹងការពាក់មេកានិច ការកកិត និងការខូចទ្រង់ទ្រាយខ្ពស់ ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមបន្ទុកខ្ពស់ ឬវដ្តកម្ដៅម្តងហើយម្តងទៀត។

2. ចរន្តកំដៅខ្ពស់

SiC មានចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (ជាធម្មតា 120–200 W/m·K) ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាចែកចាយកំដៅបានស្មើៗគ្នាពាសពេញផ្ទៃរបស់វា។ លក្ខណៈសម្បត្តិនេះមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងដំណើរការដូចជាការឆ្លាក់បន្ទះស្តើងៗ ការដាក់លោហៈធាតុ ឬការដុត ដែលឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាពប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ទិន្នផល និងគុណភាពផលិតផល។

៣. ស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់

ដោយមានចំណុចរលាយខ្ពស់ (2700°C) និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប (4.0 × 10⁻⁶/K) បន្ទះសេរ៉ាមិច SiC រក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ និងភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធក្រោមវដ្តកំដៅ និងត្រជាក់រហ័ស។ នេះធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីនៅក្នុងឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទប់បូមធូលី និងបរិស្ថានប្លាស្មា។

លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស
លិបិក្រម	ឯកតា	តម្លៃ
ឈ្មោះសម្ភារៈ		ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលបានដុតដោយប្រតិកម្ម	ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដស៊ីនទ័រគ្មានសម្ពាធ	ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលបានកែច្នៃឡើងវិញ
សមាសភាព		RBSiC	អេសស៊ីស៊ី	R-SiC
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន	ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប	3	៣.១៥ ± ០.០៣	២.៦០-២.៧០
កម្លាំងបត់បែន	MPa (គីឡូបៃស៊ី)	៣៣៨(៤៩)	៣៨០(៥៥)	៨០-៩០ (២០អង្សាសេ) ៩០-១០០ (១៤០០អង្សាសេ)
កម្លាំងបង្ហាប់	MPa (គីឡូបៃស៊ី)	១១២០ (១៥៨)	៣៩៧០ (៥៦០)	> ៦០០
ភាពរឹង	ណុប	២៧០០	២៨០០	/
បំបែកភាពរឹងមាំ	MPa ម១/២	៤.៥	4	/
ចរន្តកំដៅ	W/mk	95	១២០	23
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ	10^-60.1/°C	5	4	៤.៧
កំដៅជាក់លាក់	ជូល/ក្រាម 0k	០.៨	០,៦៧	/
សីតុណ្ហភាពអតិបរមានៅក្នុងខ្យល់	℃	១២០០	១៥០០	១៦០០
ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក	ជីភីអេ	៣៦០	៤១០	២៤០

សំណួរ និងចម្លើយអំពីបន្ទះសេរ៉ាមិច SiC

សំណួរ៖ តើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃបន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីដមានអ្វីខ្លះ?

ក៖ បន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានកម្លាំងខ្ពស់ ភាពរឹង និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។ ពួកវាផ្តល់នូវចរន្តកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការពង្រីកកម្ដៅទាប ដែលធានាបាននូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបានក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្លាំង។ SiC ក៏មានលក្ខណៈអសកម្មខាងគីមី ធន់នឹងអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងបរិស្ថានប្លាស្មា ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ដំណើរការ semiconductor និង LED។ ផ្ទៃក្រាស់ និងរលោងរបស់វាកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត ដោយរក្សាភាពឆបគ្នាក្នុងបន្ទប់ស្អាត។ បន្ទះ SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយជាឧបករណ៍ផ្ទុក សារធាតុទទួល និងសមាសធាតុទ្រទ្រង់នៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងច្រេះនៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម semiconductor ថាមពល photovoltaic និងអាកាសចរណ៍។