ថាសសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន Wafer ដែលមានភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូន (ស៊ីស៊ីស៊ី)
សមាសធាតុសេរ៉ាមិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ផ្អែកលើសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបោន (SiC) ដែលត្រូវបានវិស្វកម្មសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មកម្រិតខ្ពស់ដូចជាការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងការផលិត LED ។ មុខងារស្នូលរបស់វារួមមានការបម្រើជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer វេទិកាដំណើរការ etching ឬការគាំទ្រដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការប្រើប្រាស់ចរន្តកំដៅពិសេស ធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមី ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋានដំណើរការ និងទិន្នផលផលិតផល។
លក្ខណៈសំខាន់ៗ
1. ការសម្តែងកំដៅ
- ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ 140–300 W/m·K លើសពីក្រាហ្វិចប្រពៃណី (85 W/m·K) ដែលអាចបញ្ចេញកំដៅបានលឿន និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។
- មេគុណពង្រីកកំដៅទាប៖ 4.0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000 ℃), ស៊ីលីកុនដែលត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធ (2.6 × 10⁻⁶/℃) កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។
2. លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច
- កម្លាំងខ្ពស់: កម្លាំងបត់បែន≥320 MPa (20 ℃), ធន់នឹងការបង្ហាប់និងផលប៉ះពាល់។
- ភាពរឹងខ្ពស់៖ ភាពរឹងរបស់ Mohs 9.5 ទីពីរសម្រាប់តែពេជ្រ ដែលផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ខ្លាំង។
3. ស្ថេរភាពគីមី
- ធន់នឹងការច្រេះ ៖ ធន់នឹងអាស៊ីតខ្លាំង (ឧ. HF, H₂SO₄) ស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានដំណើរការឆ្លាក់។
- មិនមែនម៉ាញេទិក៖ ភាពងាយទទួលបានម៉ាញេទិកខាងក្នុង <1×10⁻⁶ emu/g ដោយជៀសវាងការជ្រៀតជ្រែកជាមួយឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់។
4. ការអត់ឱនចំពោះបរិស្ថានខ្លាំង
- ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែងរហូតដល់ ១៦០០-១៩០០ ℃; ធន់ទ្រាំរយៈពេលខ្លីរហូតដល់ 2200 ℃ (បរិយាកាសគ្មានអុកស៊ីសែន) ។
- ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ៖ ទប់ទល់នឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពភ្លាមៗ (ΔT > 1000 ℃) ដោយមិនមានការប្រេះ។
កម្មវិធី
| វាលកម្មវិធី | សេណារីយ៉ូជាក់លាក់ | តម្លៃបច្ចេកទេស |
| ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក | ការឆ្លាក់ Wafer (ICP), ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង (MOCVD), ការប៉ូលា CMP | ចរន្តកំដៅខ្ពស់ធានានូវវាលសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាន; ការពង្រីកកំដៅទាបកាត់បន្ថយការផ្ទុះនៃ wafer ។ |
| ផលិតកម្ម LED | ការលូតលាស់ epitaxial (ឧ, GaN), wafer dicing, ការវេចខ្ចប់ | ទប់ស្កាត់ពិការភាពច្រើនប្រភេទ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពពន្លឺ LED និងអាយុកាល។ |
| ឧស្សាហកម្មថាមពលអគ្គិសនី | ស៊ីលីកុន wafer sintering furnaces, ឧបករណ៍ PECVD គាំទ្រ | ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ពង្រីកអាយុកាលឧបករណ៍។ |
| ឡាស៊ែរ & អុបទិក | ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រជាក់ឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ ប្រព័ន្ធអុបទិក គាំទ្រ | ចរន្តកំដៅខ្ពស់អាចឱ្យការសាយភាយកំដៅបានឆាប់រហ័ស ធ្វើឱ្យសមាសធាតុអុបទិកមានស្ថេរភាព។ |
| ឧបករណ៍វិភាគ | អ្នកកាន់គំរូ TGA/DSC | សមត្ថភាពកំដៅទាប និងការឆ្លើយតបកម្ដៅរហ័សធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។ |
អត្ថប្រយោជន៍ផលិតផល
- ការអនុវត្តដ៏ទូលំទូលាយ៖ ចរន្តកំដៅ កម្លាំង និងធន់នឹងច្រេះ លើសពីសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូ និងស៊ីលីកុននីត្រាត ដែលបំពេញតម្រូវការប្រតិបត្តិការខ្លាំង។
- ការរចនាទម្ងន់ស្រាល៖ ដង់ស៊ីតេ 3.1–3.2 ក្រាម/cm³ (40% នៃដែកថែប) កាត់បន្ថយការផ្ទុក inertial និងបង្កើនភាពជាក់លាក់នៃចលនា។
- ភាពជាប់បានយូរ & ភាពជឿជាក់៖ អាយុកាលសេវាកម្មលើសពី 5 ឆ្នាំនៅ 1600 ℃ កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការ 30% ។
- ការប្ដូរតាមបំណង៖ គាំទ្រធរណីមាត្រស្មុគ្រស្មាញ (ឧ. ពែងបឺត porous, ថាសពហុស្រទាប់) ជាមួយនឹងកំហុសរាបស្មើ <15 μm សម្រាប់កម្មវិធីច្បាស់លាស់។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស
| ប្រភេទប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | សូចនាករ |
| លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត | |
| ដង់ស៊ីតេ | ≥3.10 ក្រាម/cm³ |
| កម្លាំងបត់បែន (20 ℃) | 320-410 MPa |
| ចរន្តកំដៅ (20 ℃) | 140–300 W/(m·K) |
| មេគុណពង្រីកកំដៅ (25-1000 ℃) | 4.0 × 10⁻⁶/℃ |
| លក្ខណៈសម្បត្តិគីមី | |
| ភាពធន់នឹងអាស៊ីត (HF/H₂SO₄) | គ្មានការច្រេះបន្ទាប់ពីជ្រមុជ 24 ម៉ោង។ |
| ភាពជាក់លាក់នៃម៉ាស៊ីន | |
| ភាពរាបស្មើ | ≤15 μm (300 × 300 មម) |
| ភាពរដុបលើផ្ទៃ (រ៉ា) | ≤0.4 μm |
សេវាកម្មរបស់ XKH
XKH ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយឧស្សាហកម្មដ៏ទូលំទូលាយដែលលាតសន្ធឹងលើការអភិវឌ្ឍន៍ផ្ទាល់ខ្លួន គ្រឿងម៉ាស៊ីនច្បាស់លាស់ និងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងម៉ត់ចត់។ សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍ផ្ទាល់ខ្លួន វាផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (> 99.999%) និង porous (30-50% porosity) ដែលត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយនឹងគំរូ 3D និងការក្លែងធ្វើដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពធរណីមាត្រស្មុគស្មាញសម្រាប់កម្មវិធីដូចជា semiconductors និង aerospace ។ machiningដំណើរការយ៉ាងរលូន ដំណើរការម្សៅ→ isostatic/ស្ងួត2200°C2200°C2200°C2200°C2200°C2200°C2200°C0. ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពរួមមានការធ្វើតេស្តដំណើរការពេញលេញ (សមាសភាព XRD, SEM microstructure, ការពត់កោង 3 ចំណុច) និងជំនួយបច្ចេកទេស (ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ ការពិគ្រោះយោបល់ 24/7 ការចែកចាយគំរូ 48 ម៉ោង) ការផ្តល់គ្រឿងបន្លាស់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងដំណើរការខ្ពស់សម្រាប់តម្រូវការឧស្សាហកម្មកម្រិតខ្ពស់។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ (FAQ)
1. សំណួរ៖ តើឧស្សាហកម្មអ្វីខ្លះដែលប្រើថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុន កាបៃ?
A: ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការផលិត semiconductor (ការដោះស្រាយ wafer), ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ (ដំណើរការ PECVD), ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្រ្ត (MRI សមាសភាគ) និង Aerospace (ផ្នែកដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់) ដោយសារតែភាពធន់ទ្រាំកំដៅខ្លាំងនិងស្ថិរភាពគីមីរបស់ពួកគេ។
2. សំណួរ៖ តើស៊ីលីកុនកាបូនឌីអុកស៊ីតមានប្រសិទ្ធភាពជាងថាសរ៉ែថ្មខៀវ/កញ្ចក់យ៉ាងដូចម្តេច?
A: ភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅខ្ពស់ (រហូតដល់ 1800°C ធៀបនឹង 1100°C របស់រ៉ែថ្មខៀវ) សូន្យការរំខានម៉ាញេទិច និងអាយុកាលយូរជាងនេះ (5+ ឆ្នាំធៀបនឹងថ្ម Quartz 6-12 ខែ)។
3. សំណួរ៖ តើថាសស៊ីលីកុនកាបូនអាចគ្រប់គ្រងបរិស្ថានអាសុីតបានទេ?
ចម្លើយ៖ បាទ។ ធន់នឹង HF, H2SO4, និង NaOH ជាមួយនឹងការ corrosion <0.01mm/ឆ្នាំ ដែលធ្វើឱ្យពួកវាល្អសម្រាប់ការឆ្លាក់គីមី និងការសម្អាត wafer ។
4. សំណួរ: តើថាសស៊ីលីកុនកាបោនអាចប្រើជាមួយស្វ័យប្រវត្តិកម្មដែរឬទេ?
ចម្លើយ៖ បាទ។ រចនាឡើងសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងការគ្រប់គ្រងដោយមនុស្សយន្ត ជាមួយនឹងផ្ទៃរាបស្មើ <0.01mm ដើម្បីការពារការចម្លងរោគនៃភាគល្អិតនៅក្នុង fabs ស្វ័យប្រវត្តិ។
5. សំណួរ៖ តើការប្រៀបធៀបតម្លៃធៀបនឹងសម្ភារៈប្រពៃណីគឺជាអ្វី?
A: ថ្លៃដើមខ្ពស់ជាងមុន (3-5x រ៉ែថ្មខៀវ) ប៉ុន្តែ TCO ទាបជាង 30-50% ដោយសារអាយុកាលវែង កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងការសន្សំថាមពលពីចរន្តកំដៅដ៏ប្រសើរ។
