បន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (បន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីដ)
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផល
បន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីត ដែលផលិតចេញពីស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលភ្ជាប់ដោយប្រតិកម្មដំណើរការខ្ពស់ (RBSiC) គឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងប្រព័ន្ធផ្ទុក និងគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសម្រាប់កម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង photovoltaic។
បើប្រៀបធៀបទៅនឹងបន្ទះដែករ៉ែថ្មខៀវ ឬក្រាហ្វីតប្រពៃណី បន្ទះដែក SiC cantilever ផ្តល់នូវកម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ពួកវារក្សាស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធដ៏ល្អឥតខ្ចោះក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃទំហំបន្ទះដែកធំៗ អាយុកាលសេវាកម្មយូរ និងការបំពុលទាបបំផុត។
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃដំណើរការ semiconductor ឆ្ពោះទៅរកអង្កត់ផ្ចិត wafer ធំជាង throughput ខ្ពស់ជាង និងបរិយាកាសដំណើរការស្អាតជាង paddle SiC cantilever បានជំនួសសម្ភារៈធម្មតាបន្តិចម្តងៗ ដោយក្លាយជាជម្រើសដែលពេញចិត្តសម្រាប់ឡដុតសាយភាយ LPCVD និងឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលពាក់ព័ន្ធ។
លក្ខណៈពិសេសផលិតផល
-
ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
-
ដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់នៅសីតុណ្ហភាព 1000–1300 ℃ ដោយគ្មានការខូចទ្រង់ទ្រាយ។
-
សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មអតិបរមារហូតដល់ 1380 ℃។
-
-
សមត្ថភាពទ្រទម្ងន់ខ្ពស់
-
កម្លាំងពត់កោងរហូតដល់ 250–280 MPa ខ្ពស់ជាងបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវច្រើន។
-
មានសមត្ថភាពដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំ (៣០០ មីលីម៉ែត្រ និងខ្ពស់ជាងនេះ)។
-
-
អាយុកាលសេវាកម្មយូរ និងការថែទាំទាប
-
មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹) ដែលឆបគ្នាយ៉ាងល្អជាមួយសម្ភារៈថ្នាំកូត LPCVD។
-
កាត់បន្ថយស្នាមប្រេះ និងការរបកដែលបង្កឡើងដោយភាពតានតឹង ដែលពន្យារវដ្តសម្អាត និងថែទាំបានយ៉ាងច្រើន។
-
-
ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពបរិសុទ្ធ
-
ភាពធន់នឹងអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
-
មីក្រូស្ត្រុកទ័រក្រាស់ជាមួយនឹងរន្ធបើកចំហ <0.1% ដែលកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត និងការបញ្ចេញភាពមិនបរិសុទ្ធ។
-
-
ការរចនាដែលឆបគ្នាជាមួយស្វ័យប្រវត្តិកម្ម
-
ធរណីមាត្រផ្នែកឆ្លងកាត់ដែលមានស្ថេរភាព ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រខ្ពស់។
-
រួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនជាមួយប្រព័ន្ធផ្ទុក និងផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វីដោយមនុស្សយន្ត ដែលអាចឱ្យមានការផលិតដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ។
-
លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមី
| វត្ថុ | ឯកតា | ទិន្នន័យ |
|---|---|---|
| សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មអតិបរមា | ℃ | ១៣៨០ |
| ដង់ស៊ីតេ | ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប | ៣.០៤ – ៣.០៨ |
| រន្ធបើក | % | < ០.១ |
| កម្លាំងពត់កោង | MPa | ២៥០ (២០អង្សាសេ), ២៨០ (១២០០អង្សាសេ) |
| ម៉ូឌុលនៃភាពបត់បែន | មធ្យមភាគនៃការសិក្សាថ្នាក់បរិញ្ញាបត្រជាន់ខ្ពស់ (GPa) | ៣៣០ (២០អង្សាសេ), ៣០០ (១២០០អង្សាសេ) |
| ចរន្តកំដៅ | W/m·K | ៤៥ (១២០០អង្សាសេ) |
| មេគុណពង្រីកកម្ដៅ | K⁻¹×១០⁻⁶ | ៤.៥ |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | HV2 | ≥ 2100 |
| ភាពធន់នឹងអាស៊ីត/អាល់កាឡាំង | - | ល្អឥតខ្ចោះ |
-
ប្រវែងស្តង់ដារ៖២៣៧៨ ម.ម., ២៥៥០ ម.ម., ២៦៦០ ម.ម.
-
វិមាត្រផ្ទាល់ខ្លួនអាចរកបានតាមការស្នើសុំ
កម្មវិធី
-
ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ
-
LPCVD (ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាប)
-
ដំណើរការសាយភាយ (ផូស្វ័រ បូរ៉ុន ជាដើម)
-
អុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ
-
-
ឧស្សាហកម្មថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ
-
ការសាយភាយ និងថ្នាំកូតនៃបន្ទះ wafer ប៉ូលីស៊ីលីកុន និងម៉ូណូគ្រីស្តាលីន
-
ការដុត និង ការធ្វើឱ្យអសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
-
-
វាលផ្សេងទៀត
-
បរិស្ថានกัดกร่อนសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
-
ប្រព័ន្ធដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលត្រូវការអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ និងការបំពុលទាប
-
អត្ថប្រយោជន៍របស់អតិថិជន
-
កាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការ– មានអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងបន្ទះក្វាតស៍ ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងភាពញឹកញាប់នៃការជំនួស។
-
ទិន្នផលខ្ពស់ជាង– ការបំពុលទាបបំផុតធានាបាននូវភាពស្អាតនៃផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី និងកាត់បន្ថយអត្រាពិការភាព។
-
អនាគតប្រាកដ– ឆបគ្នាជាមួយទំហំ wafer ធំៗ និងដំណើរការ semiconductor ជំនាន់ក្រោយ។
-
ផលិតភាពប្រសើរឡើង– ឆបគ្នាយ៉ាងពេញលេញជាមួយប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មមនុស្សយន្ត ដែលគាំទ្រដល់ការផលិតក្នុងបរិមាណច្រើន។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – បន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
សំណួរទី 1: តើចែវលើកជ្រុងស៊ីលីកុនកាប៊ីដជាអ្វី?
ក: វាគឺជាសមាសធាតុទ្រទ្រង់ និងដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលផលិតពីស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលមានប្រតិកម្ម (RBSiC)។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឡដុតសាយភាយ LPCVD និងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង photovoltaic សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងទៀត។
សំណួរទី 2: ហេតុអ្វីបានជាជ្រើសរើស SiC ជាជាងបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវ?
ក: បើប្រៀបធៀបជាមួយបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវ បន្ទះ SiC ផ្តល់ជូន៖
-
កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ និងសមត្ថភាពទ្រទម្ងន់
-
ស្ថេរភាពកម្ដៅកាន់តែប្រសើរឡើងនៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 1380 ℃
-
អាយុកាលសេវាកម្មយូរជាង និងវដ្តថែទាំតិចជាងមុន
-
ហានិភ័យនៃការបង្កើតភាគល្អិត និងហានិភ័យនៃការបំពុលទាប
-
ភាពឆបគ្នាជាមួយទំហំ wafer ធំជាង (300 mm និងខ្ពស់ជាងនេះ)
សំណួរទី 3: តើបន្ទះ SiC cantilever អាចទ្របន្ទះ wafer ទំហំប៉ុនណា?
ក៖ បន្ទះស្តង់ដារមានសម្រាប់ប្រព័ន្ធឡដែលមានទំហំ 2378 ម.ម, 2550 ម.ម និង 2660 ម.ម។ វិមាត្រផ្ទាល់ខ្លួនមានដើម្បីទ្រទ្រង់បន្ទះស្តើងរហូតដល់ 300 ម.ម និងលើសពីនេះ។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។











