បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ (បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ)

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីត ដែល​ផលិត​ចេញពី​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីត​ដែល​ភ្ជាប់​ដោយ​ប្រតិកម្ម​ដំណើរការ​ខ្ពស់ (RBSiC) គឺជា​សមាសធាតុ​សំខាន់​មួយ​ដែល​ប្រើ​ក្នុង​ប្រព័ន្ធ​ផ្ទុក និង​គ្រប់គ្រង​បន្ទះ​វ៉ាហ្វឺរ​សម្រាប់​កម្មវិធី​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង​ photovoltaic។


លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

៤_副本
2_副本

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផល

បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីត ដែល​ផលិត​ចេញពី​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីត​ដែល​ភ្ជាប់​ដោយ​ប្រតិកម្ម​ដំណើរការ​ខ្ពស់ (RBSiC) គឺជា​សមាសធាតុ​សំខាន់​មួយ​ដែល​ប្រើ​ក្នុង​ប្រព័ន្ធ​ផ្ទុក និង​គ្រប់គ្រង​បន្ទះ​វ៉ាហ្វឺរ​សម្រាប់​កម្មវិធី​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង​ photovoltaic។
បើប្រៀបធៀបទៅនឹងបន្ទះដែករ៉ែថ្មខៀវ ឬក្រាហ្វីតប្រពៃណី បន្ទះដែក SiC cantilever ផ្តល់នូវកម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ពួកវារក្សាស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធដ៏ល្អឥតខ្ចោះក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃទំហំបន្ទះដែកធំៗ អាយុកាលសេវាកម្មយូរ និងការបំពុលទាបបំផុត។

ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃដំណើរការ semiconductor ឆ្ពោះទៅរកអង្កត់ផ្ចិត wafer ធំជាង throughput ខ្ពស់ជាង និងបរិយាកាសដំណើរការស្អាតជាង paddle SiC cantilever បានជំនួសសម្ភារៈធម្មតាបន្តិចម្តងៗ ដោយក្លាយជាជម្រើសដែលពេញចិត្តសម្រាប់ឡដុតសាយភាយ LPCVD និងឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលពាក់ព័ន្ធ។

លក្ខណៈពិសេសផលិតផល

  • ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ

    • ដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់នៅសីតុណ្ហភាព 1000–1300 ℃ ដោយគ្មានការខូចទ្រង់ទ្រាយ។

    • សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មអតិបរមារហូតដល់ 1380 ℃។

  • សមត្ថភាពទ្រទម្ងន់ខ្ពស់

    • កម្លាំងពត់កោងរហូតដល់ 250–280 MPa ខ្ពស់ជាងបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវច្រើន។

    • មានសមត្ថភាពដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំ (៣០០ មីលីម៉ែត្រ និងខ្ពស់ជាងនេះ)។

  • អាយុកាលសេវាកម្មយូរ និងការថែទាំទាប

    • មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹) ដែលឆបគ្នាយ៉ាងល្អជាមួយសម្ភារៈថ្នាំកូត LPCVD។

    • កាត់បន្ថយស្នាមប្រេះ និងការរបកដែលបង្កឡើងដោយភាពតានតឹង ដែលពន្យារវដ្តសម្អាត និងថែទាំបានយ៉ាងច្រើន។

  • ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងភាពបរិសុទ្ធ

    • ភាពធន់នឹងអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។

    • មីក្រូស្ត្រុកទ័រក្រាស់ជាមួយនឹងរន្ធបើកចំហ <0.1% ដែលកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត និងការបញ្ចេញភាពមិនបរិសុទ្ធ។

  • ការរចនាដែលឆបគ្នាជាមួយស្វ័យប្រវត្តិកម្ម

    • ធរណីមាត្រ​ផ្នែក​ឆ្លងកាត់​ដែលមាន​ស្ថេរភាព ជាមួយនឹង​ភាពត្រឹមត្រូវ​នៃ​វិមាត្រ​ខ្ពស់។

    • រួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនជាមួយប្រព័ន្ធផ្ទុក និងផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វីដោយមនុស្សយន្ត ដែលអាចឱ្យមានការផលិតដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ។

លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមី

វត្ថុ ឯកតា ទិន្នន័យ
សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មអតិបរមា ១៣៨០
ដង់ស៊ីតេ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប ៣.០៤ – ៣.០៨
រន្ធបើក % < ០.១
កម្លាំងពត់កោង MPa ២៥០ (២០អង្សាសេ), ២៨០ (១២០០អង្សាសេ)
ម៉ូឌុលនៃភាពបត់បែន មធ្យមភាគ​នៃ​ការ​សិក្សា​ថ្នាក់​បរិញ្ញាបត្រ​ជាន់​ខ្ពស់ (GPa) ៣៣០ (២០អង្សាសេ), ៣០០ (១២០០អង្សាសេ)
ចរន្តកំដៅ W/m·K ៤៥ (១២០០អង្សាសេ)
មេគុណពង្រីកកម្ដៅ K⁻¹×១០⁻⁶ ៤.៥
ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ HV2 ≥ 2100
ភាពធន់នឹងអាស៊ីត/អាល់កាឡាំង - ល្អឥតខ្ចោះ

 

  • ប្រវែងស្តង់ដារ៖២៣៧៨ ម.ម., ២៥៥០ ម.ម., ២៦៦០ ម.ម.

  • វិមាត្រផ្ទាល់ខ្លួនអាចរកបានតាមការស្នើសុំ

កម្មវិធី

  • ឧស្សាហកម្ម​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ

    • LPCVD (ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាប)

    • ដំណើរការសាយភាយ (ផូស្វ័រ បូរ៉ុន ជាដើម)

    • អុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ

  • ឧស្សាហកម្ម​ថាមពល​ពន្លឺព្រះអាទិត្យ

    • ការសាយភាយ និងថ្នាំកូតនៃបន្ទះ wafer ប៉ូលីស៊ីលីកុន និងម៉ូណូគ្រីស្តាលីន

    • ការដុត និង ការធ្វើឱ្យអសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់

  • វាលផ្សេងទៀត

    • បរិស្ថាន​กัดกร่อน​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់

    • ប្រព័ន្ធដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលត្រូវការអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ និងការបំពុលទាប

អត្ថប្រយោជន៍របស់អតិថិជន

  1. កាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការ– មានអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងបន្ទះក្វាតស៍ ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងភាពញឹកញាប់នៃការជំនួស។

  2. ទិន្នផលខ្ពស់ជាង– ការបំពុលទាបបំផុតធានាបាននូវភាពស្អាតនៃផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី និងកាត់បន្ថយអត្រាពិការភាព។

  3. អនាគត​ប្រាកដ– ឆបគ្នាជាមួយទំហំ wafer ធំៗ និងដំណើរការ semiconductor ជំនាន់ក្រោយ។

  4. ផលិតភាពប្រសើរឡើង– ឆបគ្នាយ៉ាងពេញលេញជាមួយប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មមនុស្សយន្ត ដែលគាំទ្រដល់ការផលិតក្នុងបរិមាណច្រើន។

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – បន្ទះស៊ីលីកុនកាប៊ីដ

សំណួរទី 1: តើ​ចែវ​លើក​ជ្រុង​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ​ជាអ្វី?
ក: វាគឺជាសមាសធាតុទ្រទ្រង់ និងដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលផលិតពីស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលមានប្រតិកម្ម (RBSiC)។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឡដុតសាយភាយ LPCVD និងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ និង photovoltaic សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងទៀត។


សំណួរទី 2: ហេតុអ្វីបានជាជ្រើសរើស SiC ជាជាងបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវ?
ក: បើប្រៀបធៀបជាមួយបន្ទះរ៉ែថ្មខៀវ បន្ទះ SiC ផ្តល់ជូន៖

  • កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ និងសមត្ថភាពទ្រទម្ងន់

  • ស្ថេរភាពកម្ដៅកាន់តែប្រសើរឡើងនៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 1380 ℃

  • អាយុកាលសេវាកម្មយូរជាង និងវដ្តថែទាំតិចជាងមុន

  • ហានិភ័យនៃការបង្កើតភាគល្អិត និងហានិភ័យនៃការបំពុលទាប

  • ភាពឆបគ្នាជាមួយទំហំ wafer ធំជាង (300 mm និងខ្ពស់ជាងនេះ)


សំណួរទី 3: តើបន្ទះ SiC cantilever អាចទ្របន្ទះ wafer ទំហំប៉ុនណា?
ក៖ បន្ទះ​ស្តង់ដារ​មាន​សម្រាប់​ប្រព័ន្ធ​ឡ​ដែល​មាន​ទំហំ 2378 ម.ម, 2550 ម.ម និង 2660 ម.ម។ វិមាត្រ​ផ្ទាល់ខ្លួន​មាន​ដើម្បី​ទ្រទ្រង់​បន្ទះ​ស្តើង​រហូត​ដល់ 300 ម.ម និង​លើស​ពី​នេះ។

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។

៤៥៦៧៨៩

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង