ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (ប្រភេទដៃសម/ដៃ)
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃកញ្ចក់ Quartz
ទីឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដគឺជាសមាសធាតុគ្រប់គ្រងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ហ្វូតូនិក ស្វ័យប្រវត្តិកម្មមនុស្សយន្ត និងដំណើរការសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់។ ត្រូវបានរចនាឡើងក្នុងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធដៃសម/ដៃឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្តល់នូវស្ថេរភាពវិមាត្រពិសេស ភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង និងការបង្កើតភាគល្អិតទាបបំផុត ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ប្រតិបត្តិការផ្ទេរបន្ទះ wafer និងស្រទាប់ខាងក្រោមដែលងាយប្រតិកម្ម។
មិនដូចឧបករណ៍ចុងដែក ឬប៉ូលីមែរប្រពៃណីទេ ឧបករណ៍នេះឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដអាចរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបរាងក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្លាំង ការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមី និងបរិយាកាសសុញ្ញកាស។ ផ្ទៃទ្រទ្រង់រាបស្មើខ្លាំងរបស់វាធានានូវការគ្រប់គ្រងប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃបន្ទះស៊ីលីកុន ស្រទាប់កញ្ចក់ អុបទិកត្បូងកណ្តៀង បន្ទះ SiC និងវត្ថុធាតុផុយស្រួយផ្សេងទៀត។ ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធទម្ងន់ស្រាល ប៉ុន្តែរឹងឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដកាត់បន្ថយរំញ័រ បង្កើនបរិមាណការងារ និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងមេកានិចក្នុងអំឡុងពេលបង្កើនល្បឿនរ៉ូបូតយ៉ាងឆាប់រហ័ស។
ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការគ្មានការបំពុលឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងច្រកផ្ទុក FOUP ម៉ូឌុល EFEM ប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វី ឧបករណ៍ផ្ទេរសុញ្ញកាស និងស្ថានីយ៍ម៉ែត្រវិទ្យា — ដោយផ្តល់នូវចំណុចប្រទាក់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រវាងឧបករណ៍ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងសម្ភារៈមានតម្លៃ។
គោលការណ៍ផលិតកម្ម
ទីឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានផលិតឡើងតាមរយៈដំណើរការផលិតសេរ៉ាមិចឯកទេស ដែលធានានូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។ ពេញមួយដំណើរការផលិត ការគ្រប់គ្រងគុណភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹងធានាថាឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មថ្នាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
១. ការរៀបចំសម្ភារៈ
ការផលិតចាប់ផ្តើមជាមួយនឹងការជ្រើសរើសម្សៅ SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ ម្សៅទាំងនេះកំណត់កម្លាំងមេកានិច និងភាពបរិសុទ្ធនៃឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដសារធាតុចងពិសេស និងសារធាតុបន្ថែមសម្រាប់ដុតត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នា ដើម្បីសម្រេចបាននូវការវេចខ្ចប់ភាគល្អិតដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលើកកម្ពស់ដង់ស៊ីតេឯកសណ្ឋាន។
២. ការបង្កើតរូបរាង និងការរៀបចំជាមុន
រាងកាយពណ៌បៃតងនៃឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រើការចុចអ៊ីសូស្តាទិច ឬការផ្សិតចាក់សេរ៉ាមិច។ នេះធានាបាននូវរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានតុល្យភាពភាពតានតឹង ជាមួយនឹងពិការភាពខាងក្នុងតិចតួចបំផុត។ ធរណីមាត្ររចនាប័ទ្មសមត្រូវបានបង្កើតនៅដំណាក់កាលនេះ ដើម្បីផ្គូផ្គងនឹងអង្កត់ផ្ចិតបន្ទះ wafer និងចំណុចប្រទាក់ម៉ោនរ៉ូបូត។
៣. ការដុតកម្ដៅខ្ពស់
សមាសធាតុដែលមានរាងត្រូវបានដុតកម្ដៅលើសពី 2000°C ក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស ឬបរិយាកាសអសកម្ម។ ក្នុងអំឡុងពេលជំហាននេះឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដឈានដល់ដង់ស៊ីតេជិតដល់ទ្រឹស្តី ដោយផ្តល់នូវភាពរឹងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ និងស្ថេរភាពគីមី។ ដំណាក់កាលនេះកំណត់ភាពសុចរិតមេកានិចនៃសមាសធាតុ។
៤. ម៉ាស៊ីន CNC ភាពជាក់លាក់
បន្ទាប់ពីការដុតដោយម៉ាស៊ីន ការកិនពេជ្រ និងម៉ាស៊ីន CNC ពហុអ័ក្ស កែលម្អធរណីមាត្រនៃឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដលក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗដូចជាផ្ទៃទំនាក់ទំនងបន្ទះសៀគ្វី រន្ធម៉ោន ចង្អូរតម្រឹម និងចន្លោះសមត្រូវបានម៉ាស៊ីនឱ្យមានភាពអត់ធ្មត់តឹងណែនរហូតដល់ ±0.01 ម.ម។
៥. ការបញ្ចប់ផ្ទៃ និងការសម្អាត
ជាចុងក្រោយ អង្គការឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដឆ្លងកាត់ការប៉ូលាយ៉ាងល្អិតល្អន់ និងការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោនភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ជំហាននេះកាត់បន្ថយភាពរដុបនៃផ្ទៃ និងលុបបំបាត់ភាគល្អិតតូចៗ ដែលធានាបាននូវភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត។ ថ្នាំកូត CVD-SiC ឬស្រទាប់ធន់នឹងប្លាស្មាជាជម្រើសអាចបង្កើនភាពធន់បន្ថែមទៀត។
វិធីសាស្រ្តផលិតយ៉ាងហ្មត់ចត់នេះធានាថារាល់ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់នៅក្នុងបរិយាកាសស្វ័យប្រវត្តិកម្មដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
កម្មវិធី
ទីឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ឧស្សាហកម្មដែលអនាម័យ ភាពជាក់លាក់ និងភាពជឿជាក់មិនអាចចរចាបាន។ ការរចនាដៃសម/ដៃរបស់វាធ្វើឱ្យវាសមស្របសម្រាប់ដៃមនុស្សយន្ត ប្រព័ន្ធរើស និងដាក់ ឧបករណ៍ផ្ទេរបូមធូលី និងវេទិកាត្រួតពិនិត្យកម្រិតខ្ពស់។
១. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
នៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ទាំងនេះឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុង៖
-
ការផ្ទុក/ការផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វី
-
ការតម្រៀប FOUP
-
ការដឹកជញ្ជូនបន្ទប់បូមធូលី
-
ដំណើរការឆ្លាក់ លីតូក្រាហ្វី និងការដាក់ស្រទាប់
ស្អាតខ្លាំង និងរឹងមាំបំផុតឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដការពារការរអិលបន្ទះសៀគ្វី ការកោង និងការចម្លងមេរោគ ដោយទ្រទ្រង់បន្ទះសៀគ្វីពី 150 ម.ម ដល់ 300 ម.ម។
២. ហ្វូតូនិក និង អុបតូអេឡិចត្រូនិច
សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងកែវថតដែលផុយស្រួយ ឧបករណ៍អុបទិក ស្រទាប់ខាងក្រោម GaN និងបន្ទះឈីបហ្វូតូនិកឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្តល់នូវស្ថេរភាពគ្មានរំញ័រ។ ធម្មជាតិមិនមែនលោហធាតុរបស់វាជៀសវាងការជ្រៀតជ្រែកម៉ាញេទិក និងការបំពុលអុបទិក។
៣. ការផលិតអេក្រង់ និងបន្ទះ
នៅក្នុងការផលិតបន្ទះ OLED, QLED និង LCD បន្ទះ...ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្ទេរកញ្ចក់ស្តើងៗ និងស្រទាប់ខាងក្រោមពិសេសបានដោយសុវត្ថិភាព។ ផ្ទៃអសកម្មខាងគីមីរបស់វាការពារប្រឆាំងនឹងសំណល់ និងការខូចខាតផ្ទៃ។
៤. មនុស្សយន្តអវកាស និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
នៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានខ្យល់ចេញចូលខ្ពស់ និងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មអាកាសចរណ៍ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការប៉ះពាល់នឹងវិទ្យុសកម្ម និងឧស្ម័នច្រេះ ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ។
នៅទូទាំងឧស្សាហកម្មទាំងអស់នេះ វិស័យឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដមានប្រសិទ្ធភាពលើសជម្រើសលោហៈ និងប៉ូលីមែរជាប់ជានិច្ច។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ - សំណួរដែលសួរញឹកញាប់
សំណួរទី 1: តើឧបករណ៍ Silicon Carbide Ceramic End Effector អាចទ្រទ្រង់ទំហំផ្ទាល់ខ្លួនបានទេ?
មែនហើយ។ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដអាចត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ទំហំបន្ទះ បន្ទះ ឬស្រទាប់ខាងក្រោមណាមួយ។ ចន្លោះសម កម្រាស់ ទម្ងន់ និងលំនាំរន្ធម៉ោនអាចប្ដូរតាមបំណងបានយ៉ាងពេញលេញ។
សំណួរទី 2: តើឧបករណ៍បិទចុងសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានក្នុងកន្លែងទំនេរដែរឬទេ?
ពិតប្រាកដណាស់។ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដមានការបញ្ចេញឧស្ម័នទាបបំផុត និងគ្មានការបំពុលលោហធាតុ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បរិស្ថាន UHV និងបន្ទប់ស្អាត។
សំណួរទី 3: តើអ្វីទៅជាគុណសម្បត្តិនៃ SiC end effector ជាងអាលុយមីញ៉ូម ឬដែកថែប?
A ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដការផ្តល់ជូន៖
-
សមាមាត្ររឹងទៅនឹងទម្ងន់ខ្ពស់ជាង
-
ការពង្រីកកម្ដៅទាប
-
ភាពធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់
-
ភាពធន់នឹងប្លាស្មា និងសារធាតុគីមីកាន់តែប្រសើរ
-
សូន្យច្រេះ
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។
ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមតាមតម្រូវការ
-
ឧបករណ៍ដោះស្រាយបន្ទះសេរ៉ាមិច SiC Tray End Effector ...
-
រោងចក្រផលិតគ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិច SiC ឧស្សាហកម្មតាមតម្រូវការ...
-
រោងចក្រផលិតគ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិច SiC ឧស្សាហកម្មតាមតម្រូវការ...
-
បន្ទះសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមទំហំ ៤អ៊ីញ ភាពបរិសុទ្ធ ៩៩% នៃគ្រីស្តាល់ប៉ូលីគ្រីស្តាល់...
-
ធ្នឹមស៊ីលីកុនកាប៊ីត ការកែច្នៃធ្នឹមស៊ីលីកុនកាប៊ីត...