ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ការណែនាំអំពីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដគឺជាសមាសធាតុគ្រប់គ្រងកម្រិតខ្ពស់មួយ ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងសម្រាប់ប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិកម្មដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ជាពិសេសនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអុបទិក។ សមាសធាតុនេះមានលក្ខណៈពិសេសនៃការរចនារាងអក្សរ U ដ៏ពិសេសមួយ ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វី ដែលធានាបានទាំងកម្លាំងមេកានិច និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រក្រោមលក្ខខណ្ឌបរិស្ថានធ្ងន់ធ្ងរ។ ផលិតពីសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដៃ/សមផ្តល់នូវភាពរឹងពិសេស ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី។
នៅពេលដែលឧបករណ៍ semiconductor វិវត្តន៍ឆ្ពោះទៅរករូបរាងធរណីមាត្រកាន់តែល្អិតល្អន់ និងការអត់ធ្មត់កាន់តែតឹងរ៉ឹង តម្រូវការសម្រាប់សមាសធាតុដែលគ្មានការបំពុល និងមានស្ថេរភាពកម្ដៅកាន់តែមានសារៈសំខាន់។ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដបំពេញបញ្ហាប្រឈមនេះដោយផ្តល់ជូននូវការបង្កើតភាគល្អិតទាប ផ្ទៃរលោងខ្លាំង និងភាពរឹងមាំនៃរចនាសម្ព័ន្ធ។ មិនថានៅក្នុងការដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វី ការកំណត់ទីតាំងស្រទាប់ខាងក្រោម ឬក្បាលឧបករណ៍មនុស្សយន្តទេ សមាសធាតុនេះត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ភាពជឿជាក់ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ។
ហេតុផលសំខាន់ៗដើម្បីជ្រើសរើសរឿងនេះដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដរួមមាន៖
-
ការពង្រីកកម្ដៅតិចតួចបំផុតសម្រាប់ភាពជាក់លាក់នៃវិមាត្រ
-
ភាពរឹងខ្ពស់សម្រាប់អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ
-
ភាពធន់នឹងអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្ម
-
ភាពឆបគ្នាជាមួយបរិស្ថានបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 1
គោលការណ៍ផលិតដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានផលិតតាមរយៈដំណើរការដំណើរការកែច្នៃសេរ៉ាមិចដែលមានការគ្រប់គ្រងខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីធានាបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃវិមាត្រ។
1. ការរៀបចំម្សៅ
ដំណើរការនេះចាប់ផ្តើមជាមួយនឹងការជ្រើសរើសម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតដ៏ល្អិតល្អន់។ ម្សៅទាំងនេះត្រូវបានលាយជាមួយនឹងសារធាតុចង និងសារធាតុជំនួយស៊ីនធើរ ដើម្បីសម្រួលដល់ការបង្រួម និងដង់ស៊ីតេ។ សម្រាប់បញ្ហានេះដៃ/សមម្សៅ β-SiC ឬ α-SiC ត្រូវបានប្រើដើម្បីធានាបានទាំងភាពរឹង និងភាពរឹងមាំ។
2. ការបង្កើតរូបរាង និងការរៀបចំជាមុន
អាស្រ័យលើភាពស្មុគស្មាញនៃដៃ/សមការរចនា ផ្នែកនេះត្រូវបានបង្កើតដោយប្រើការចុចអ៊ីសូស្តាទិច ការផ្សិតចាក់ ឬការបោះដែក។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យមានធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ និងរចនាសម្ព័ន្ធជញ្ជាំងស្តើង ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់លក្ខណៈទម្ងន់ស្រាលនៃដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ.
3. ការដុតកម្ដៅខ្ពស់
ការធ្វើស៊ីនទ័រត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពលើសពី 2000°C ក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញากาศ ឬអារហ្គន។ ដំណាក់កាលនេះបំលែងរាងកាយពណ៌បៃតងទៅជាសមាសធាតុសេរ៉ាមិចដែលមានដង់ស៊ីតេពេញលេញ។ ស៊ីនទ័រដៃ/សមសម្រេចបានដង់ស៊ីតេជិតដល់ទ្រឹស្តី ដោយផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
4. ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់
ក្រោយការដុត,ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដឆ្លងកាត់ការកិនពេជ្រ និងម៉ាស៊ីន CNC។ នេះធានាបាននូវភាពរាបស្មើក្នុងរង្វង់ ±0.01 ម.ម និងអនុញ្ញាតឱ្យមានការរួមបញ្ចូលរន្ធម៉ោន និងលក្ខណៈពិសេសកំណត់ទីតាំងសំខាន់ៗចំពោះការដំឡើងរបស់វានៅក្នុងប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិ។
5. ការបញ្ចប់ផ្ទៃ
ការប៉ូលាកាត់បន្ថយភាពរដុបនៃផ្ទៃ (Ra < 0.02 μm) ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។ ថ្នាំកូត CVD ជាជម្រើសអាចត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងប្លាស្មា ឬបន្ថែមមុខងារដូចជាឥរិយាបថប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត។
ពេញមួយដំណើរការនេះ ពិធីការត្រួតពិនិត្យគុណភាពត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីធានាដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់នៅក្នុងកម្មវិធីដែលងាយរងគ្រោះបំផុត។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសចម្បងនៃថ្នាំកូត CVD-SIC | ||
| លក្ខណៈសម្បត្តិ SiC-CVD | ||
| រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | ដំណាក់កាល FCC β | |
| ដង់ស៊ីតេ | ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប | ៣.២១ |
| ភាពរឹង | ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | ២៥០០ |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ | μm | ២~១០ |
| ភាពបរិសុទ្ធនៃសារធាតុគីមី | % | ៩៩.៩៩៩៩៥ |
| សមត្ថភាពកំដៅ | J·kg-1 · K-1 | ៦៤០ |
| សីតុណ្ហភាពនៃការរលាយ | ℃ | ២៧០០ |
| កម្លាំង Fexural | MPa (RT ៤ ចំណុច) | ៤១៥ |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | Gpa (ពត់ ៤ ពិន្ទុ ១៣០០ អង្សាសេ) | ៤៣០ |
| ការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) | ១០-៦K-១ | ៤.៥ |
| ចរន្តកំដៅ | (វ៉ាត់/មីលីគីឡូវ៉ាត់) | ៣០០ |
ការអនុវត្តដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម ដែលភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាព និងភាពជាក់លាក់ផ្នែកមេកានិចមានសារៈសំខាន់។ ទាំងនេះរួមមាន៖
1. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧ.ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានប្រើដើម្បីដឹកជញ្ជូនបន្ទះស៊ីលីកុននៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការដូចជាបន្ទប់ឆ្លាក់ ប្រព័ន្ធដាក់ប្រាក់ និងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ។ ភាពធន់នឹងកម្ដៅ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្ររបស់វាធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កាត់បន្ថយភាពមិនស៊ីគ្នា និងការបំពុលបន្ទះស៊ីលីកុន។
2. ការផលិតបន្ទះបង្ហាញ
នៅក្នុងការផលិតអេក្រង់ OLED និង LCD បច្ចេកវិទ្យានេះ…ដៃ/សមត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងប្រព័ន្ធ pick-and-place ដែលវាដោះស្រាយជាមួយស្រទាប់កញ្ចក់ដែលផុយស្រួយ។ ម៉ាស់ទាប និងភាពរឹងខ្ពស់របស់វាអនុញ្ញាតឱ្យមានចលនាលឿន និងមានស្ថេរភាពដោយគ្មានរំញ័រ ឬការពត់កោង។
3. ប្រព័ន្ធអុបទិក និងហ្វូតូនិក
សម្រាប់ការតម្រឹម និងការកំណត់ទីតាំងនៃកែវថត កញ្ចក់ ឬបន្ទះឈីបហ្វូតូនិកដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្តល់នូវការគាំទ្រដែលគ្មានរំញ័រ ដែលមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងដំណើរការឡាស៊ែរ និងកម្មវិធីវាស់វែងភាពជាក់លាក់។
4. ប្រព័ន្ធអវកាស និងប្រព័ន្ធសុញ្ញកាស
នៅក្នុងប្រព័ន្ធអុបទិកអវកាស និងឧបករណ៍បូមធូលី រចនាសម្ព័ន្ធមិនម៉ាញេទិក និងធន់នឹងការច្រេះរបស់សមាសធាតុនេះធានានូវស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។ដៃ/សមក៏អាចដំណើរការក្នុងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ខ្លាំង (UHV) ដោយមិនចាំបាច់បញ្ចេញឧស្ម័នចេញដែរ។
នៅក្នុងវិស័យទាំងអស់នេះ អង្គការដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដមានប្រសិទ្ធភាពលើសជម្រើសលោហៈ ឬប៉ូលីមែរប្រពៃណីទាក់ទងនឹងភាពជឿជាក់ អនាម័យ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់អំពីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
សំណួរទី 1: តើដៃ/ដៃសម្រាប់សមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដគាំទ្រទំហំបន្ទះអ្វីខ្លះ?
ទីដៃ/សមអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងដើម្បីទ្រទ្រង់បន្ទះស្តើងទំហំ 150 មីលីម៉ែត្រ, 200 មីលីម៉ែត្រ និង 300 មីលីម៉ែត្រ។ ចន្លោះសម ទទឹងដៃ និងលំនាំរន្ធអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងដើម្បីឱ្យសមនឹងវេទិកាស្វ័យប្រវត្តិកម្មជាក់លាក់របស់អ្នក។
សំណួរទី 2៖ តើដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដឆបគ្នាជាមួយប្រព័ន្ធបូមធូលីដែរឬទេ?
មែនហើយ។ដៃ/សមស័ក្តិសមសម្រាប់ទាំងប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលមានខ្យល់ចេញចូលតិច និងខ្ពស់ខ្លាំង។ វាមានអត្រាបញ្ចេញឧស្ម័នចេញទាប ហើយមិនបញ្ចេញភាគល្អិតទេ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បរិយាកាសបន្ទប់ស្អាត និងបន្ទប់បូមធូលី។
សំណួរទី 3៖ តើខ្ញុំអាចបន្ថែមថ្នាំកូត ឬការកែប្រែផ្ទៃទៅលើដៃ/ដៃសមបានទេ?
ពិតប្រាកដណាស់។ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដអាចត្រូវបានស្រោបដោយស្រទាប់ CVD-SiC កាបូន ឬអុកស៊ីដ ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងប្លាស្មា លក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ឬភាពរឹងរបស់ផ្ទៃ។
សំណួរទី៤៖ តើគុណភាពនៃដៃសម/ដៃសមត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់យ៉ាងដូចម្តេច?
នីមួយៗដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រដោយប្រើឧបករណ៍ CMM និងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរ។ គុណភាពផ្ទៃត្រូវបានវាយតម្លៃតាមរយៈ SEM និងទម្រង់រូបីមិនប៉ះ ដើម្បីបំពេញតាមស្តង់ដារ ISO និង SEMI។
សំណួរទី 5: តើរយៈពេលនាំមុខសម្រាប់ការបញ្ជាទិញដៃសម/ដៃតាមតម្រូវការគឺជាអ្វី?
ជាទូទៅ ពេលវេលាផលិតមានចាប់ពី 3 ទៅ 5 សប្តាហ៍ អាស្រ័យលើភាពស្មុគស្មាញ និងបរិមាណ។ ការបង្កើតគំរូដើមរហ័សអាចរកបានសម្រាប់សំណើបន្ទាន់។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ទាំងនេះមានគោលបំណងជួយវិស្វករ និងក្រុមផ្គត់ផ្គង់ឱ្យយល់ពីសមត្ថភាព និងជម្រើសដែលមាននៅពេលជ្រើសរើសដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ.
អំពីយើង
XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។
ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ
-
បំពង់ត្បូងកណ្តៀងថ្លា EFG មានអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅធំ...
-
ប្រអប់ដាក់វ៉ាហ្វឺរ FOSB ចំនួន 25 រន្ធសម្រាប់វ៉ាហ្វឺរទំហំ 12 អ៊ីញ...
-
ចាន/ថាសសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ចង្ក្រាន wafer ទំហំ 4 អ៊ីញ 6 អ៊ីញ...
-
សម្ភារៈ YAG genstone ឆៅផលិតនៅមន្ទីរពិសោធន៍ Paraiba Blue...
-
បន្ទះសៀគ្វី SiC ប្រភេទ Epitaxial 4H-N វ៉ុលខ្ពស់...
-
បន្ទះស៊ីលីកូនស្រោបមាសទំហំ 2 អ៊ីញ 4 អ៊ីញ 6 អ៊ីញ...