ឧបករណ៍ស្រូបថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត ផ្គត់ផ្គង់បំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត ដំណើរការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់តាមតម្រូវការ
លក្ខណៈពិសេសចម្បង៖
១. ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត
- ភាពរឹងខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការពាក់៖ ភាពរឹងគឺជិតនឹងពេជ្រ ហើយអាចទប់ទល់នឹងការពាក់មេកានិចក្នុងដំណើរការ wafer ក្នុងរយៈពេលយូរ។
- ចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងមេគុណពង្រីកកំដៅទាប៖ ការរលាយកំដៅលឿន និងស្ថេរភាពវិមាត្រ ជៀសវាងការខូចទ្រង់ទ្រាយដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។
- ភាពរាបស្មើខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ផ្ទៃ៖ ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃគឺរហូតដល់កម្រិតមីក្រូន ដែលធានាបាននូវទំនាក់ទំនងពេញលេញរវាងបន្ទះ wafer និងឌីស ដែលកាត់បន្ថយការចម្លងរោគ និងការខូចខាត។
ស្ថេរភាពគីមី៖ ធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង សមរម្យសម្រាប់ដំណើរការសម្អាតសើម និងដំណើរការឆ្លាក់ក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
2. បំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត
- ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ វាអាចដំណើរការក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់លើសពី 1600°C ក្នុងរយៈពេលយូរ ស័ក្តិសមសម្រាប់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
ភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ ធន់នឹងអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងសារធាតុរំលាយគីមីជាច្រើនប្រភេទ សមស្របសម្រាប់បរិស្ថានដំណើរការដ៏អាក្រក់។
- ភាពរឹងខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការពាក់៖ ទប់ទល់នឹងការហូរច្រោះភាគល្អិត និងការពាក់មេកានិច ពន្យារអាយុកាលសេវាកម្ម។
- មានចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប៖ មានចរន្តកំដៅលឿន និងស្ថេរភាពវិមាត្រ កាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយ ឬការប្រេះដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រផលិតផល៖
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត៖
| (លក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈ) | (ឯកតា) | (សស៊ីក) | |
| (មាតិកា SiC) | (ទម្ងន់)% | >៩៩ | |
| (ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម) | មីក្រូន | ៤-១០ | |
| (ដង់ស៊ីតេ) | គីឡូក្រាម/ឌីអឹម៣ | >៣.១៤ | |
| (ភាពរលុងដែលមើលឃើញ) | វ៉ុល ១% | <០.៥ | |
| (ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ) | HV 0.5 | មធ្យមភាគនៃការសិក្សាថ្នាក់បរិញ្ញាបត្រជាន់ខ្ពស់ (GPa) | 28 |
| *() កម្លាំងបត់បែន* (បីពិន្ទុ) | ២០អង្សាសេ | MPa | ៤៥០ |
| (កម្លាំងបង្ហាប់) | ២០អង្សាសេ | MPa | ៣៩០០ |
| (ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក) | ២០អង្សាសេ | មធ្យមភាគនៃការសិក្សាថ្នាក់បរិញ្ញាបត្រជាន់ខ្ពស់ (GPa) | ៤២០ |
| (ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង) | MPa/m'% | ៣.៥ | |
| (ចរន្តកំដៅ) | ២០អង្សាសេ | W/(ម*គីឡូវ៉ាត់) | ១៦០ |
| (ភាពធន់) | ២០អង្សាសេ | អូម.សង់ទីម៉ែត្រ | ១០៦-១០៨ |
(មេគុណពង្រីកកម្ដៅ) | មួយ (RT**...៨០អង្សាសេ) | ថ្នាក់មត្តេយ្យ ១*១០-៦ | ៤.៣ |
(សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា) | អង្សាសេ | ១៧០០ | |
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត៖
| វត្ថុ | លិបិក្រម |
| អាល់ហ្វា-ស៊ីស៊ី | ៩៩% នាទី |
| ភាពរលុងដែលអាចមើលឃើញ | អតិបរមា ១៦% |
| ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន | 2.7 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប នាទី |
| កម្លាំងពត់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ | ១០០ Mpa នាទី |
| មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ | K-1 ៤.៧x១០ -៦ |
| មេគុណនៃចរន្តកំដៅ (១៤០០អង្សាសេ) | ២៤ វ៉ាត់/ម៉ាយល៍ |
| សីតុណ្ហភាពការងារអតិបរមា | ១៦៥០អង្សាសេ |
កម្មវិធីសំខាន់ៗ៖
១. បន្ទះសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត
- ការកាត់ និងប៉ូលាបន្ទះស្តើង៖ ដើរតួជាវេទិកាទ្រទ្រង់ដើម្បីធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងស្ថេរភាពអំឡុងពេលកាត់ និងប៉ូលា។
- ដំណើរការបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី៖ បន្ទះវ៉ាហ្វឺរត្រូវបានជួសជុលនៅក្នុងម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី ដើម្បីធានាបាននូវទីតាំងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អំឡុងពេលបោះពុម្ព។
- ការប៉ូលាដោយគីមីមេកានិច (CMP)៖ ដើរតួជាវេទិកាទ្រទ្រង់សម្រាប់បន្ទះប៉ូលា ដោយផ្តល់នូវសម្ពាធឯកសណ្ឋាន និងការចែកចាយកំដៅ។
2. បំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត
- បំពង់ឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ ប្រើសម្រាប់ឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដូចជាឡចំហាយសាយភាយ និងឡចំហាយអុកស៊ីតកម្ម ដើម្បីផ្ទុកបន្ទះសម្រាប់ការព្យាបាលដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
- ដំណើរការ CVD/PVD៖ ជាបំពង់ទ្រទ្រង់នៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឧស្ម័នច្រេះ។
- គ្រឿងបន្លាស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ សម្រាប់ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរកំដៅ បំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន ជាដើម ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការគ្រប់គ្រងកម្ដៅនៃឧបករណ៍។
XKH ផ្តល់ជូននូវសេវាកម្មតាមតម្រូវការពេញលេញសម្រាប់ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត ពែងបឺត និងបំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ ថាសសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត និងពែងបឺត XKH អាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជនដែលមានទំហំ រូបរាង និងភាពរដុបនៃផ្ទៃផ្សេងៗគ្នា និងគាំទ្រដល់ការព្យាបាលថ្នាំកូតពិសេស បង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពធន់នឹងការច្រេះ។ សម្រាប់បំពង់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត XKH អាចប្ដូរតាមបំណងនូវអង្កត់ផ្ចិតខាងក្នុង អង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅ ប្រវែង និងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគស្មាញជាច្រើនប្រភេទ (ដូចជាបំពង់រាង ឬបំពង់ដែលមានរន្ធ) និងផ្តល់នូវការប៉ូលា ថ្នាំកូតប្រឆាំងអុកស៊ីតកម្ម និងដំណើរការព្យាបាលផ្ទៃផ្សេងទៀត។ XKH ធានាថាអតិថិជនអាចទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពេញលេញពីអត្ថប្រយោជន៍នៃដំណើរការនៃផលិតផលសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ដូចជា ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អំពូល LED និង photovoltaic។
ដ្យាក្រាមលម្អិត
