ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃ SiC សម្រាប់ប្រព័ន្ធដោះស្រាយសំខាន់ៗ
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ការណែនាំអំពីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដគឺជាសមាសធាតុទំនើបមួយដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងសម្រាប់ស្វ័យប្រវត្តិកម្មឧស្សាហកម្មកម្រិតខ្ពស់ ដំណើរការពាក់កណ្តាលអង្គធាតុ និងបរិស្ថានស្អាតបំផុត។ ស្ថាបត្យកម្មរាងសម និងផ្ទៃសេរ៉ាមិចរាបស្មើរបស់វាធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងស្រទាប់ខាងក្រោមឆ្ងាញ់ៗ រួមទាំងបន្ទះស៊ីលីកុន បន្ទះកញ្ចក់ និងឧបករណ៍អុបទិក។ ត្រូវបានរចនាឡើងដោយភាពជាក់លាក់ និងផលិតពីកាបូនស៊ីលីកុនសុទ្ធខ្លាំងដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្តល់នូវកម្លាំងមេកានិចដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន ភាពជឿជាក់ខាងកម្ដៅ និងការគ្រប់គ្រងការបំពុល។
មិនដូចដៃដែក ឬផ្លាស្ទិចធម្មតាទេ ដៃទាំងនោះដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដផ្តល់នូវដំណើរការដែលមានស្ថេរភាពក្នុងលក្ខខណ្ឌកម្ដៅខ្លាំង គីមី និងសុញ្ញកាស។ មិនថាដំណើរការនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ទី 1 ឬក្នុងបន្ទប់ប្លាស្មាដែលមានសុញ្ញកាសខ្ពស់ទេ សមាសធាតុនេះធានានូវការដឹកជញ្ជូនគ្រឿងបន្លាស់ដ៏មានតម្លៃប្រកបដោយសុវត្ថិភាព ប្រសិទ្ធភាព និងគ្មានសំណល់។
ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដៃមនុស្សយន្ត ឧបករណ៍ដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វី និងឧបករណ៍ផ្ទេរដោយស្វ័យប្រវត្តិ បច្ចេកវិទ្យាដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដគឺជាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដ៏ឆ្លាតវៃសម្រាប់ប្រព័ន្ធដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ណាមួយ។
ដំណើរការផលិតដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ការបង្កើតដំណើរការខ្ពស់ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការការងារវិស្វកម្មសេរ៉ាមិចដែលគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដែលធានានូវភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបាន ភាពជឿជាក់ និងអត្រាពិការភាពទាបបំផុត។
1. វិស្វកម្មសម្ភារៈ
មានតែម្សៅស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតប៉ុណ្ណោះដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដដោយធានាបាននូវការបំពុលអ៊ីយ៉ុងទាប និងកម្លាំងម៉ាសខ្ពស់។ ម្សៅត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងច្បាស់លាស់ជាមួយនឹងសារធាតុបន្ថែមសម្រាប់ដុត និងសារធាតុចង ដើម្បីសម្រេចបានដង់ស៊ីតេល្អបំផុត។
2. ការបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធមូលដ្ឋាន
ធរណីមាត្រមូលដ្ឋាននៃដៃ/សមត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រើការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ឬការផ្សិតចាក់ ដែលធានាបាននូវដង់ស៊ីតេបៃតងខ្ពស់ និងការចែកចាយភាពតានតឹងឯកសណ្ឋាន។ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធរាងអក្សរ U ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់សមាមាត្រភាពរឹងទៅនឹងទម្ងន់ និងការឆ្លើយតបថាមវន្ត។
3. ដំណើរការស៊ីនធើរ
រាងកាយពណ៌បៃតងនៃដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានដុតក្នុងឡឧស្ម័នអសកម្មដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពលើសពី 2000°C។ ជំហាននេះធានាបាននូវដង់ស៊ីតេជិតទ្រឹស្តី ដោយផលិតសមាសធាតុដែលធន់នឹងការប្រេះ ការកោង និងគម្លាតវិមាត្រក្រោមបន្ទុកកម្ដៅក្នុងពិភពពិត។
4. ការកិន និងកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់
ឧបករណ៍ពេជ្រ CNC កម្រិតខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតវិមាត្រចុងក្រោយនៃដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដភាពអត់ធ្មត់តឹងតែង (±0.01 ម.ម) និងការបញ្ចប់ផ្ទៃកម្រិតកញ្ចក់កាត់បន្ថយការបញ្ចេញភាគល្អិត និងភាពតានតឹងមេកានិច។
5. ការកែលម្អ និងសម្អាតផ្ទៃ
ការបញ្ចប់ផ្ទៃចុងក្រោយរួមមានការប៉ូលាគីមី និងការសម្អាតអ៊ុលត្រាសោន ដើម្បីរៀបចំដៃ/សមសម្រាប់ការធ្វើសមាហរណកម្មដោយផ្ទាល់នៅក្នុងប្រព័ន្ធស្អាតខ្លាំង។ ថ្នាំកូតជាជម្រើស (CVD-SiC ស្រទាប់ប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង) ក៏មានផងដែរ។
ដំណើរការដ៏ហ្មត់ចត់នេះធានាថារាល់ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុត រួមទាំងតម្រូវការបន្ទប់ស្អាត SEMI និង ISO។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
| វត្ថុ | លក្ខខណ្ឌសាកល្បង | ទិន្នន័យ | ឯកតា |
| មាតិកាស៊ីលីកុនកាប៊ីត | / | >៩៩.៥ | % |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម | / | ៤-១០ | មីក្រូន |
| ដង់ស៊ីតេ | / | >៣.១៤ | ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ភាពរលុងដែលអាចមើលឃើញ | / | <០.៥ | បរិមាណ % |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | HV0.5 | ២៨០០ | គីឡូក្រាម/ម.ម.ម.២ |
| ម៉ូឌុលនៃការបាក់ (៣ ពិន្ទុ) | ទំហំរបារសាកល្បង៖ ៣ x ៤ x ៤០ ម.ម | ៤៥០ | MPa |
| កម្លាំងបង្ហាប់ | ២០អង្សាសេ | ៣៩០០ | MPa |
| ម៉ូឌុលនៃភាពបត់បែន | ២០អង្សាសេ | ៤២០ | មធ្យមភាគនៃការសិក្សាថ្នាក់បរិញ្ញាបត្រជាន់ខ្ពស់ (GPa) |
| ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង | / | ៣.៥ | MPa/m2១/២ |
| ចរន្តកំដៅ | ២០អង្សាសេ | ១៦០ | W/(mK) |
| ភាពធន់អគ្គិសនី | ២០អង្សាសេ | 106-១០8 | Ω សង់ទីម៉ែត្រ |
| មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ | ២០°C-៨០០°C | ៤.៣ | K-110-6 |
| សីតុណ្ហភាពអនុវត្តអតិបរមា | បរិយាកាសអុកស៊ីដ | ១៦០០ | °C |
| សីតុណ្ហភាពអនុវត្តអតិបរមា | បរិយាកាសអសកម្ម | ឆ្នាំ ១៩៥០ | °C |
ការអនុវត្តដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងកម្មវិធីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ មានហានិភ័យខ្ពស់ និងងាយនឹងការបំពុល។ វាអាចឱ្យមានការគ្រប់គ្រង ការផ្ទេរ ឬការគាំទ្រសមាសធាតុសំខាន់ៗដែលអាចទុកចិត្តបានដោយគ្មានការសម្របសម្រួល។
➤ ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ
-
ប្រើជាសមរ៉ូបូតក្នុងការផ្ទេរវ៉ាហ្វឺរខាងមុខ និងស្ថានីយ៍ FOUP។
-
រួមបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាសសម្រាប់ការឆ្លាក់ប្លាស្មា និងដំណើរការ PVD/CVD។
-
ដើរតួជាដៃផ្ទុកនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់វែង និងឧបករណ៍តម្រឹមបន្ទះស្តើង។
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដលុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការបញ្ចេញអេឡិចត្រូស្តាទិច (ESD) គាំទ្រដល់ភាពជាក់លាក់នៃវិមាត្រ និងទប់ទល់នឹងការច្រេះប្លាស្មា។
➤ ហ្វូតូនិក និង អុបទិក
-
គាំទ្រដល់កែវភ្នែកឆ្ងាញ់ៗ គ្រីស្តាល់ឡាស៊ែរ និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាកំឡុងពេលផលិត ឬត្រួតពិនិត្យ។
ភាពរឹងខ្ពស់របស់វាការពារការរំញ័រ ខណៈពេលដែលតួសេរ៉ាមិចទប់ទល់នឹងការបំពុលនៃផ្ទៃអុបទិក។
➤ ការផលិតអេក្រង់ និងបន្ទះ
-
ដោះស្រាយកញ្ចក់ស្តើង ម៉ូឌុល OLED និងស្រទាប់ខាងក្រោម LCD អំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន ឬត្រួតពិនិត្យ។
រាបស្មើ និងអសកម្មខាងគីមីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដការពារការកោស ឬការឆ្លាក់គីមី។
➤ ឧបករណ៍អវកាស និងវិទ្យាសាស្ត្រ
-
ប្រើប្រាស់ក្នុងការផ្គុំអុបទិកផ្កាយរណប មនុស្សយន្តបូមធូលី និងការដំឡើងធ្នឹមស៊ីនក្រូត្រុង។
ដំណើរការបានយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតកម្រិតលំហ និងបរិស្ថានងាយនឹងវិទ្យុសកម្ម។
នៅក្នុងវិស័យនីមួយៗ អង្គការដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្រព័ន្ធ កាត់បន្ថយការបរាជ័យនៃផ្នែក និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – សំណួរដែលសួរជាញឹកញាប់អំពីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
សំណួរទី 1: តើអ្វីដែលធ្វើឱ្យដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដល្អជាងជម្រើសដែក?
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដមានភាពរឹងខ្ពស់ជាង ដង់ស៊ីតេទាបជាង ធន់នឹងសារធាតុគីមីល្អជាង និងការពង្រីកកម្ដៅតិចជាងលោហៈ។ វាក៏ឆបគ្នាជាមួយបន្ទប់ស្អាត និងមិនមានការច្រេះ ឬការបង្កើតភាគល្អិតផងដែរ។
សំណួរទី 2: តើខ្ញុំអាចស្នើសុំវិមាត្រផ្ទាល់ខ្លួនសម្រាប់ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដរបស់ខ្ញុំបានទេ?
បាទ/ចាស៎។ យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវការប្ដូរតាមបំណងពេញលេញ រួមទាំងទទឹងសម កម្រាស់ រន្ធសម្រាប់ដំឡើង ការកាត់ចេញ និងការព្យាបាលផ្ទៃ។ មិនថាសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 6", 8", ឬ 12" ទេ របស់អ្នកដៃ/សមអាចត្រូវបានរៀបចំឱ្យសម។
សំណួរទី 3: តើដៃ/សមសេរ៉ាមិច Silicon Carbide អាចប្រើបានរយៈពេលប៉ុន្មានក្រោមប្លាស្មា ឬសុញ្ញកាស?
សូមអរគុណដល់សម្ភារៈ SiC ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងធម្មជាតិអសកម្ម សារធាតុដៃ/សមនៅតែដំណើរការបានសូម្បីតែបន្ទាប់ពីវដ្តដំណើរការរាប់ពាន់ក៏ដោយ។ វាបង្ហាញពីការពាក់តិចតួចបំផុតក្រោមបន្ទុកប្លាស្មាខ្លាំង ឬកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេរ។
សំណួរទី៤៖ តើផលិតផលនេះសមស្របសម្រាប់បន្ទប់ស្អាត ISO Class 1 ដែរឬទេ?
ពិតប្រាកដណាស់។ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដត្រូវបានផលិត និងវេចខ្ចប់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតដែលមានវិញ្ញាបនបត្រ ជាមួយនឹងកម្រិតភាគល្អិតទាបជាងតម្រូវការ ISO Class 1។
សំណួរទី 5: តើសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមាសម្រាប់ដៃ/ដៃសមនេះជាអ្វី?
ទីដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដអាចដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 1500°C ដែលធ្វើឱ្យវាសមស្របសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ដោយផ្ទាល់នៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្រព័ន្ធសុញ្ញកាសកម្ដៅ។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ទាំងនេះឆ្លុះបញ្ចាំងពីកង្វល់បច្ចេកទេសទូទៅបំផុតពីវិស្វករ អ្នកគ្រប់គ្រងមន្ទីរពិសោធន៍ និងអ្នករួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធដែលប្រើប្រាស់ដៃ/ដៃសមសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីដ.
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។
ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ
-
បាល់ Sapphire គ្រឿងបន្លាស់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ Bearing...
-
ព្រីសអុបទិកត្បូងកណ្តៀង ការបញ្ជូនខ្ពស់ និងការបញ្ជូន...
-
បំពង់ Sapphire Method KY ថ្លាទាំងអស់តាមតម្រូវការ...
-
បន្ទះ SiC ទំហំ 8 អ៊ីញ ជំនួសបន្ទះ SiC 4H-N ថ្នាក់ផលិតកម្ម...
-
ការសម្គាល់ឡាស៊ែរជាតិសរសៃ ការសម្គាល់ល្អិតល្អន់សម្រាប់គ្រឿងអលង្ការ...
-
ស៊ីអ៊ីកពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់លើស្រទាប់ស៊ីអ៊ីតសមាសធាតុ