ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) គ្រីស្តាល់តែមួយ – បន្ទះស្តើង 10×10 ម.ម
ដ្យាក្រាមលម្អិតនៃបន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៉ៃដ (SiC)
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃបន្ទះស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC)
ទីបន្ទះស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយទំហំ 10×10 ម.ម ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)គឺជាសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចថាមពល និងអុបតូអេឡិចត្រូនិចជំនាន់ក្រោយ។ ដោយមានចរន្តកំដៅពិសេស bandgap ធំទូលាយ និងស្ថេរភាពគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ បន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ និងវ៉ុលខ្ពស់។ ស្រទាប់ទាំងនេះត្រូវបានកាត់យ៉ាងជាក់លាក់។បន្ទះសៀគ្វីការ៉េទំហំ 10 × 10 ម.មដ៏ល្អសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវ ការបង្កើតគំរូដើម និងការផលិតឧបករណ៍។
គោលការណ៍ផលិតបន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)
បន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ត្រូវបានផលិតឡើងតាមរយៈវិធីសាស្រ្តដឹកជញ្ជូនចំហាយរូបវន្ត (PVT) ឬវិធីសាស្រ្តលូតលាស់បែប sublimation។ ដំណើរការនេះចាប់ផ្តើមដោយម្សៅ SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលផ្ទុកទៅក្នុង craccible ក្រាហ្វីត។ ក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្លាំងលើសពី 2,000°C និងបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រងបាន ម្សៅនេះ sublimation ទៅជាចំហាយ ហើយដាក់ឡើងវិញនៅលើគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជដែលតម្រង់ទិសដោយប្រុងប្រយ័ត្ន បង្កើតបានជាដុំគ្រីស្តាល់តែមួយដ៏ធំ និងកាត់បន្ថយពិការភាព។
នៅពេលដែលប៊ូល SiC ត្រូវបានដាំដុះ វានឹងឆ្លងកាត់៖
- ការកាត់ដុំដែក៖ ម៉ាស៊ីនកាត់លួសពេជ្រដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់កាត់ដុំដែក SiC ទៅជាបន្ទះស្តើងៗ ឬបន្ទះស្តើងៗ។
- ការកិន និងការកិន៖ ផ្ទៃត្រូវបានធ្វើឲ្យរាបស្មើ ដើម្បីលុបស្នាមដែលបានកាត់ និងសម្រេចបានកម្រាស់ឯកសណ្ឋាន។
- ការប៉ូលាដោយមេកានិចគីមី (CMP)៖ សម្រេចបាននូវផ្ទៃរលោងដូចកញ្ចក់ ជាមួយនឹងភាពរដុបនៃផ្ទៃទាបបំផុត។
- ការប្រើប្រាស់សារធាតុដូបជាជម្រើស៖ ការប្រើប្រាស់សារធាតុដូបអាសូត អាលុយមីញ៉ូម ឬបូរ៉ុនអាចត្រូវបានណែនាំដើម្បីបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី (ប្រភេទ n ឬប្រភេទ p)។
- ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព៖ រង្វាស់វិទ្យាកម្រិតខ្ពស់ធានានូវភាពរាបស្មើនៃបន្ទះសៀគ្វី ឯកសណ្ឋានកម្រាស់ និងដង់ស៊ីតេពិការភាព បំពេញតាមតម្រូវការថ្នាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រដ៏តឹងរ៉ឹង។
ដំណើរការពហុជំហាននេះបង្កើតជាបន្ទះឈីបស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ទំហំ 10×10 ម.ម ដែលរឹងមាំ ដែលត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ការលូតលាស់អេពីតាក់ស៊ី ឬការផលិតឧបករណ៍ដោយផ្ទាល់។
លក្ខណៈសម្ភារៈនៃបន្ទះស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC)
បន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (SiC) ភាគច្រើនត្រូវបានផលិតពី4H-SiC or 6H-SiCពហុប្រភេទ៖
-
4H-SiC៖មានលក្ខណៈពិសេសនៃការចល័តអេឡិចត្រុងខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ថាមពលដូចជា MOSFETs និងឌីយ៉ូត Schottky។
-
6H-SiC៖ផ្តល់ជូននូវលក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសសម្រាប់សមាសធាតុ RF និងអុបតូអេឡិចត្រូនិច។
លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តសំខាន់ៗនៃបន្ទះស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC):
-
គម្លាតប្រេកង់ធំទូលាយ៖~3.26 eV (4H-SiC) – អនុញ្ញាតឱ្យមានវ៉ុលបំបែកខ្ពស់ និងការខាតបង់ប្តូរទាប។
-
ចរន្តកំដៅ៖៣–៤,៩ W/cm·K – រំលាយកំដៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពនៅក្នុងប្រព័ន្ធថាមពលខ្ពស់។
-
ភាពរឹង៖~9.2 លើមាត្រដ្ឋាន Mohs – ធានានូវភាពធន់ខាងមេកានិចក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ និងប្រតិបត្តិការឧបករណ៍។
ការអនុវត្តនៃស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC)
ភាពបត់បែននៃបន្ទះស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ធ្វើឱ្យវាមានតម្លៃនៅទូទាំងឧស្សាហកម្មច្រើន៖
អេឡិចត្រូនិចថាមពល៖ មូលដ្ឋានសម្រាប់ MOSFETs, IGBTs និងឌីយ៉ូត Schottky ដែលប្រើក្នុងយានយន្តអគ្គិសនី (EVs) ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលឧស្សាហកម្ម និងឧបករណ៍បំលែងថាមពលកកើតឡើងវិញ។
ឧបករណ៍ RF និងមីក្រូវ៉េវ៖ គាំទ្រត្រង់ស៊ីស្ទ័រ ឧបករណ៍ពង្រីកសំឡេង និងសមាសធាតុរ៉ាដាសម្រាប់កម្មវិធី 5G ផ្កាយរណប និងការពារជាតិ។
អុបតូអេឡិចត្រូនិច៖ ប្រើក្នុងអំពូល LED UV ឧបករណ៍ចាប់ពន្លឺ និងឌីយ៉ូតឡាស៊ែរ ដែលតម្លាភាព និងស្ថេរភាពកាំរស្មីយូវីខ្ពស់មានសារៈសំខាន់។
អវកាស និងការពារជាតិ៖ ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងវិទ្យុសកម្ម។
ស្ថាប័នស្រាវជ្រាវ និងសាកលវិទ្យាល័យ៖ ល្អសម្រាប់ការសិក្សាវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍គំរូដើម និងការសាកល្បងដំណើរការ epitaxial ថ្មី។

លក្ខណៈបច្ចេកទេសសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបៃដ (SiC)
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
|---|---|
| ទំហំ | ការ៉េ 10mm × 10mm |
| កម្រាស់ | ៣៣០–៥០០ μm (អាចប្ដូរតាមបំណងបាន) |
| ពហុប្រភេទ | 4H-SiC ឬ 6H-SiC |
| ការតំរង់ទិស | ប្លង់រាងអក្សរ C ក្រៅអ័ក្ស (0°/4°) |
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | ប៉ូលាម្ខាង ឬទ្វេភាគី; មានសម្រាប់លាបភ្លាមៗ |
| ជម្រើសប្រើប្រាស់សារធាតុញៀន | ប្រភេទ N ឬប្រភេទ P |
| ថ្នាក់ | ថ្នាក់ស្រាវជ្រាវ ឬថ្នាក់ឧបករណ៍ |
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់អំពីបន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៉ៃដ (SiC)
សំណួរទី 1: តើអ្វីដែលធ្វើឱ្យបន្ទះស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ល្អជាងបន្ទះស៊ីលីកុនប្រពៃណី?
ស៊ីលីកុនផ្តល់នូវកម្លាំងវាលបំបែកខ្ពស់ជាង 10 ដង ភាពធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ និងការខាតបង់ប្តូរទាបជាង ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់ដែលស៊ីលីកុនមិនអាចទ្រទ្រង់បាន។
សំណួរទី 2: តើបន្ទះស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ទំហំ 10×10 ម.ម អាចត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ជាមួយស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ីលបានទេ?
បាទ/ចាស៎។ យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ការផលិតបន្ទះសៀគ្វី ហើយអាចផ្គត់ផ្គង់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានស្រទាប់បន្ទះសៀគ្វីតាមតម្រូវការ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការផលិតឧបករណ៍ថាមពល ឬ LED ជាក់លាក់។
សំណួរទី 3: តើមានទំហំផ្ទាល់ខ្លួន និងកម្រិតសារធាតុញៀនអាចរកបានដែរឬទេ?
ពិតណាស់។ ខណៈពេលដែលបន្ទះឈីបទំហំ 10×10 ម.ម គឺជាស្តង់ដារសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវ និងការយកគំរូឧបករណ៍ វិមាត្រផ្ទាល់ខ្លួន កម្រាស់ និងទម្រង់សារធាតុដូបអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។
សំណួរទី៤៖ តើបន្ទះសៀគ្វីទាំងនេះប្រើប្រាស់បានយូរប៉ុណ្ណានៅក្នុងបរិស្ថានធ្ងន់ធ្ងរ?
SiC រក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធ និងដំណើរការអគ្គិសនីលើសពី 600°C និងក្រោមវិទ្យុសកម្មខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់អាកាសចរណ៍ និងអេឡិចត្រូនិចថ្នាក់យោធា។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។












