English

ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ (SiC)

រូបភាពពិសេសនៃទូកធ្វើពីស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)
  • ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ (SiC)
  • ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ (SiC)
  • ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ (SiC)
  • ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបូអ៊ីដ (SiC)

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបៃ (SiC) គឺជា​ឧបករណ៍​ផ្ទុក​ដំណើរការ​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ដែល​ផលិត​ពី​វត្ថុធាតុ SiC ដ៏​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ ដែល​ត្រូវ​បាន​រចនា​ឡើង​ដើម្បី​កាន់ និង​ដឹកជញ្ជូន​បន្ទះ​ក្នុងអំឡុងពេល​ដំណើរការ​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់​សំខាន់ៗ​ដូចជា epitaxy, oxidation, diffusion, និង annealing។


លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

1_副本
2_副本

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃកញ្ចក់ Quartz

ទូក​បន្ទះ​ស៊ីលីកុន​កាបៃ (SiC) គឺជា​ឧបករណ៍​ផ្ទុក​ដំណើរការ​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ​ដែល​ផលិត​ពី​វត្ថុធាតុ SiC ដ៏​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ ដែល​ត្រូវ​បាន​រចនា​ឡើង​ដើម្បី​កាន់ និង​ដឹកជញ្ជូន​បន្ទះ​ក្នុងអំឡុងពេល​ដំណើរការ​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់​សំខាន់ៗ​ដូចជា epitaxy, oxidation, diffusion, និង annealing។

ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពល និងឧបករណ៍ bandgap ធំទូលាយ ទូករ៉ែថ្មខៀវធម្មតាប្រឈមមុខនឹងដែនកំណត់ដូចជាការខូចទ្រង់ទ្រាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការបំពុលភាគល្អិតធ្ងន់ធ្ងរ និងអាយុកាលសេវាកម្មខ្លី។ ទូក wafer SiC ដែលមានស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ ការបំពុលទាប និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ កំពុងជំនួសទូករ៉ែថ្មខៀវកាន់តែខ្លាំងឡើង ហើយក្លាយជាជម្រើសដែលពេញចិត្តក្នុងការផលិតឧបករណ៍ SiC។

លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ

១. គុណសម្បត្តិសម្ភារៈ

  • ផលិតពី SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយភាពរឹងខ្ពស់ និងកម្លាំង.

  • ចំណុចរលាយលើសពី 2700°C ខ្ពស់ជាងរ៉ែថ្មខៀវច្រើន ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានធ្ងន់ធ្ងរ។

២. លក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ

  • ចរន្តកំដៅខ្ពស់សម្រាប់ការផ្ទេរកំដៅយ៉ាងរហ័ស និងឯកសណ្ឋាន ដោយកាត់បន្ថយភាពតានតឹងនៃបន្ទះ wafer។

  • មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) ត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ដែលកាត់បន្ថយការកោង និងការប្រេះនៃបន្ទះ wafer។

៣. ស្ថេរភាពគីមី

  • មានស្ថេរភាពក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិយាកាសផ្សេងៗ (H₂, N₂, Ar, NH₃ ជាដើម)។

  • ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មបានល្អឥតខ្ចោះ ការពារការរលួយ និងការបង្កើតភាគល្អិត។

៤. ការអនុវត្តដំណើរការ

  • ផ្ទៃរលោង និងក្រាស់ កាត់បន្ថយការជ្រុះភាគល្អិត និងការបំពុល។

  • រក្សា​បាន​នូវ​ស្ថេរភាព​វិមាត្រ និង​សមត្ថភាព​ផ្ទុក​បន្ទាប់ពី​ការប្រើប្រាស់​រយៈពេល​យូរ។

៥. ប្រសិទ្ធភាពចំណាយ

  • អាយុកាលសេវាកម្មយូរជាងទូករ៉ែថ្មខៀវ ៣-៥ ដង។

  • ភាពញឹកញាប់នៃការថែទាំទាបជាង កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងថ្លៃដើមជំនួស។

កម្មវិធី

  • ស៊ីស៊ី អេពីតាក់ស៊ី៖ ទ្រទ្រង់ស្រទាប់ SiC ទំហំ ៤អ៊ីញ, ៦អ៊ីញ និង ៨អ៊ីញ អំឡុងពេលលូតលាស់ epitaxial នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

  • ការផលិតឧបករណ៍ថាមពលល្អសម្រាប់ SiC MOSFETs, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត។

  • ការព្យាបាលដោយកម្ដៅ៖ ដំណើរការ​ដុត​កម្ដៅ នីទ្រីដេសិន និង​កាបូននីយកម្ម។

  • អុកស៊ីតកម្ម និង ការសាយភាយ: វេទិកាទ្រទ្រង់បន្ទះ wafer ដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់អុកស៊ីតកម្ម និងការសាយភាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស

វត្ថុ លក្ខណៈបច្ចេកទេស
សម្ភារៈ ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
ទំហំបន្ទះ ៤អ៊ីញ / ៦អ៊ីញ / ៨អ៊ីញ (អាចប្ដូរតាមបំណងបាន)
សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា។ ≤ ១៨០០អង្សាសេ
ការពង្រីកកម្ដៅ CTE ៤.២ × 10⁻⁶ /K (ជិតនឹងស្រទាប់ SiC)
ចរន្តកំដៅ ១២០–២០០ វ៉ាត់/មីលីម៉ែត្រគីឡូវ៉ាត់
ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra < 0.2 μm
ភាពស្របគ្នា ±0.1 ម.ម.
អាយុកាលសេវាកម្ម ≥ 3× វែងជាងទូករ៉ែថ្មខៀវ

 

ការប្រៀបធៀប៖ ទូក Quartz ទល់នឹងទូក SiC

វិមាត្រ ទូក Quartz ទូក SiC
ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាព ≤ 1200°C, ការខូចទ្រង់ទ្រាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ≤ 1800°C, មានស្ថេរភាពកម្ដៅ
ការផ្គូផ្គង CTE ជាមួយ SiC ភាពមិនស៊ីគ្នាច្រើន ហានិភ័យនៃភាពតានតឹងនៃបន្ទះសៀគ្វី ការផ្គូផ្គងឱ្យជិតគ្នា កាត់បន្ថយការប្រេះបន្ទះសៀគ្វី
ការចម្លងរោគភាគល្អិត ខ្ពស់ បង្កើតភាពមិនបរិសុទ្ធ ផ្ទៃទាប រលោង និងក្រាស់
អាយុកាលសេវាកម្ម ការជំនួសរយៈពេលខ្លី និងញឹកញាប់ អាយុកាលវែងជាងមុន ៣-៥ ដង
ដំណើរការសមស្រប អ៊ីពីតាស៊ីស៊ីធម្មតា ប្រសើរឡើងសម្រាប់ SiC epitaxy និងឧបករណ៍ថាមពល

 

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – ទូកបន្ទះស៊ីលីកុនកាប៉ៃដ (SiC)

១. តើទូក wafer SiC ជាអ្វី?

ទូកបន្ទះសៀគ្វី SiC គឺជាឧបករណ៍ផ្ទុកដំណើរការ semiconductor ដែលផលិតពី silicon carbide ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាត្រូវបានប្រើដើម្បីកាន់ និងដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដូចជា epitaxy អុកស៊ីតកម្ម ការសាយភាយ និងការ annealing។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងទូក quartz ប្រពៃណី ទូកបន្ទះសៀគ្វី SiC ផ្តល់នូវស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ ការបំពុលទាប និងអាយុកាលសេវាកម្មយូរជាង។

2. ហេតុអ្វីបានជាជ្រើសរើសទូក wafer SiC ជាជាងទូក quartz?

  • ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាង: មានស្ថេរភាពរហូតដល់ 1800°C បើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្ម quartz (≤1200°C)។

  • ការផ្គូផ្គង CTE កាន់តែប្រសើរជិត​នឹង​ស្រទាប់​ SiC ដែល​កាត់​បន្ថយ​ភាព​តានតឹង​ និង​ការ​ប្រេះ​នៃ​បន្ទះ​ wafer។

  • ការបង្កើតភាគល្អិតទាបជាង៖ ផ្ទៃរលោង និងក្រាស់ កាត់បន្ថយការបំពុល។

  • អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរជាងវែងជាងទូករ៉ែថ្មខៀវ ៣-៥ ដង ដែលកាត់បន្ថយថ្លៃដើមនៃកម្មសិទ្ធិ។

៣. តើទូក SiC អាចទ្រទ្រង់បន្ទះ wafer ទំហំប៉ុន្មាន?

យើងខ្ញុំផ្តល់ជូនការរចនាស្តង់ដារសម្រាប់៤អ៊ីញ, ៦អ៊ីញ និង ៨អ៊ីញបន្ទះ​ស្តើងៗ ជាមួយនឹងការប្ដូរតាមបំណងពេញលេញដែលអាចរកបានដើម្បីបំពេញតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

៤. តើទូក wafer SiC ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងដំណើរការអ្វីខ្លះ?

  • ការលូតលាស់ SiC epitaxial

  • ការផលិតឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រថាមពល (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)

  • ការដុតកម្ដៅ នីទ្រីដេសិន និងកាបូននីយកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់

  • ដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម និងការសាយភាយ

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។

៤៥៦៧៨៩
  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

    • ផលិតផលពាក់ព័ន្ធ

    សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង
    ចុច Enter ដើម្បីស្វែងរក ឬ ESC ដើម្បីបិទ