ស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ TGV 12 អ៊ីញ wafer កញ្ចក់ punching

ស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ដំណើរការបានល្អជាងនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃលក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ ស្ថេរភាពរាងកាយ និងមានភាពធន់នឹងកំដៅ និងមិនសូវងាយនឹងមានបញ្ហារឬខូចទ្រង់ទ្រាយដោយសារសីតុណ្ហភាពខ្ពស់;

លើសពីនេះទៀតលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីតែមួយគត់នៃស្នូលកញ្ចក់អនុញ្ញាតឱ្យមានការបាត់បង់ dielectric ទាបដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានសញ្ញាច្បាស់លាស់និងការបញ្ជូនថាមពល។ ជាលទ្ធផល ការបាត់បង់ថាមពលកំឡុងពេលបញ្ជូនសញ្ញាត្រូវបានកាត់បន្ថយ ហើយប្រសិទ្ធភាពរួមនៃបន្ទះឈីបត្រូវបានជំរុញដោយធម្មជាតិ។ កម្រាស់នៃស្រទាប់ខាងក្រោមស្នូលកញ្ចក់អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយប្រហែលពាក់កណ្តាលបើប្រៀបធៀបទៅនឹងប្លាស្ទិក ABF ​​ហើយការស្តើងនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវល្បឿនបញ្ជូនសញ្ញា និងប្រសិទ្ធភាពថាមពល។

បច្ចេកវិទ្យាបង្កើតរន្ធនៃ TGV:

វិធីសាស្រ្ត etching ដោយឡាស៊ែរ ត្រូវបានប្រើដើម្បីជំរុញតំបន់ denaturation បន្តតាមរយៈឡាស៊ែរ pulsed ហើយបន្ទាប់មក កញ្ចក់ព្យាបាលដោយឡាស៊ែរត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងដំណោះស្រាយអាស៊ីត hydrofluoric សម្រាប់ etching ។ អត្រានៃការឆ្លាក់កញ្ចក់នៃតំបន់ denaturation នៅក្នុងអាស៊ីត hydrofluoric គឺលឿនជាងកញ្ចក់ដែលមិនមានជាតិពណ៌ដើម្បីបង្កើតតាមរន្ធ។

ការបំពេញ TGV៖

ទីមួយរន្ធពិការភ្នែក TGV ត្រូវបានបង្កើតឡើង។ ទីពីរ ស្រទាប់គ្រាប់ពូជត្រូវបានដាក់នៅខាងក្នុងរន្ធពិការភ្នែក TGV ដោយការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD) ។ ទីបី ការដាក់អេឡិចត្រូតពីបាតឡើង សម្រេចបាននូវការបំពេញគ្មានថ្នេរនៃ TGV; ជាចុងក្រោយ តាមរយៈការភ្ជាប់បណ្តោះអាសន្ន ការកិនផ្នែកខាងក្រោយ ការប៉ះប៉ូលាមេកានិកគីមី (CMP) ការប៉ះពាល់ទង់ដែង ការមិនភ្ជាប់ បង្កើតជាចានផ្ទេរដែលបំពេញដោយលោហៈ TGV ។