បន្ទះស៊ីលីកុនស្រោបដោយលោហៈ Ti/Cu (ទីតានីញ៉ូម/ទង់ដែង)
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅ
របស់យើងបន្ទះស៊ីលីកុនស្រោបដោយលោហៈ Ti/Cuមានស្រទាប់ស៊ីលីកុនដែលមានគុណភាពខ្ពស់ (ឬកញ្ចក់/ក្វាតស៍ជាជម្រើស) ដែលស្រោបដោយស្រទាប់ស្អិតទីតានីញ៉ូមនិងមួយស្រទាប់ស្ពាន់ដែលធ្វើចរន្តអគ្គិសនីដោយប្រើការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចស្តង់ដារស្រទាប់អន្តរ Ti ធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពស្អិត និងស្ថេរភាពដំណើរការ ខណៈដែលស្រទាប់ខាងលើ Cu ផ្តល់នូវផ្ទៃឯកសណ្ឋាន និងមានភាពធន់ទាប ដែលល្អសម្រាប់ការភ្ជាប់អគ្គិសនី និងការផលិតខ្នាតតូចនៅខាងក្រោម។
បន្ទះបន្ទះទាំងនេះត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ទាំងការស្រាវជ្រាវ និងកម្មវិធីខ្នាតសាកល្បង មានទំហំ និងជួររេស៊ីស្តង់ច្រើនប្រភេទ ដោយមានការប្ដូរតាមបំណងដែលអាចបត់បែនបានសម្រាប់កម្រាស់ ប្រភេទស្រទាប់ខាងក្រោម និងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូត។
លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ
-
ភាពស្អិតជាប់ខ្លាំង និងភាពជឿជាក់ស្រទាប់ភ្ជាប់ Ti ជួយបង្កើនការស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្តទៅនឹង Si/SiO₂ និងធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នៃការគ្រប់គ្រង
-
ផ្ទៃដែលមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់: ថ្នាំកូត Cu ផ្តល់នូវដំណើរការអគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ទំនាក់ទំនង និងរចនាសម្ព័ន្ធសាកល្បង
-
ជួរប្ដូរតាមបំណងធំទូលាយ: ទំហំបន្ទះសៀគ្វី, ភាពធន់, ការតំរង់ទិស, កម្រាស់ស្រទាប់ខាងក្រោម និងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តអាចរកបានតាមការស្នើសុំ
-
ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ដំណើរការឆបគ្នាជាមួយដំណើរការការងារមន្ទីរពិសោធន៍ និងរោងចក្រទូទៅ (លីតូក្រាហ្វី ការបង្កើតអេឡិចត្រូផ្លាទីត ម៉ែត្រូឡូស៊ី។ល។)
-
ស៊េរីសម្ភារៈដែលអាចប្រើបានក្រៅពី Ti/Cu យើងក៏ផ្តល់ជូននូវបន្ទះស្រោបដោយលោហៈ Au, Pt, Al, Ni, Ag ផងដែរ។
រចនាសម្ព័ន្ធ និងការដាក់ស្រទាប់ធម្មតា
-
ជង់ស្រទាប់ខាងក្រោម + ស្រទាប់ស្អិត Ti + ស្រទាប់ថ្នាំកូត Cu
-
ដំណើរការស្តង់ដារ: ការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុង
-
ដំណើរការស្រេចចិត្ត: ការហួតដោយកម្ដៅ / ការស្រោបដោយអគ្គិសនី (សម្រាប់តម្រូវការ Cu ក្រាស់ជាង)
លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចនៃកញ្ចក់ Quartz
| វត្ថុ | ជម្រើស |
|---|---|
| ទំហំបន្ទះ | ២", ៤", ៦", ៨"; ១០×១០ ម.ម; ទំហំកាត់តាមតម្រូវការ |
| ប្រភេទចរន្តអគ្គិសនី | ប្រភេទ P / ប្រភេទ N / ភាពធន់ខ្ពស់ពីខាងក្នុង (មិន) |
| ការតំរង់ទិស | <១០០>, <១១១>, ល។ |
| ភាពធន់ | <0.0015 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ; 1-10 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ; > 1000–10000 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ |
| កម្រាស់ (មីក្រូម៉ែត្រ) | ២": ២០០/២៨០/៤០០/៥០០; ៤": ៤៥០/៥០០/៥២៥; ៦": ៦២៥/៦៥០/៦៧៥; ៨": ៦៥០/៧០០/៧២៥/៧៧៥; ប្ដូរតាមបំណង |
| សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម | ស៊ីលីកុន; រ៉ែថ្មខៀវស្រេចចិត្ត, កញ្ចក់ BF33 ជាដើម។ |
| កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត | ១០ nm / ៥០ nm / ១០០ nm / ១៥០ nm / ៣០០ nm / ៥០០ nm / ១ µm (អាចប្ដូរតាមបំណងបាន) |
| ជម្រើសខ្សែភាពយន្តដែក | Ti/Cu; Au, Pt, Al, Ni, Ag ក៏មានផងដែរ។ |
កម្មវិធី
-
ស្រទាប់ខាងក្រោមទំនាក់ទំនងអូមិច និងចរន្តអគ្គិសនីសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ និងការធ្វើតេស្តអគ្គិសនី
-
ស្រទាប់គ្រាប់ពូជសម្រាប់អេឡិចត្រូផ្លាស្ទិច(RDL, រចនាសម្ព័ន្ធ MEMS, ការកកើត Cu ក្រាស់)
-
ស្រទាប់លូតលាស់សូល-ជែល និងណាណូសម្ភារៈសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវអំពីណាណូ និងខ្សែភាពយន្តស្តើង
-
មីក្រូទស្សន៍ និងរង្វាស់ផ្ទៃ(ការរៀបចំ និងវាស់វែងសំណាក SEM/AFM/SPM)
-
ផ្ទៃជីវ/គីមីដូចជាវេទិកាវប្បធម៌កោសិកា មីក្រូអារេប្រូតេអ៊ីន/ឌីអិនអេ និងស្រទាប់ខាងក្រោមឆ្លុះបញ្ចាំង។
FAQ (Ti/Cu Metal-Coated Silicon Wafers)
សំណួរទី 1: ហេតុអ្វីបានជាស្រទាប់ Ti ត្រូវបានប្រើនៅក្រោមថ្នាំកូត Cu?
ក៖ ទីតានីញ៉ូមដំណើរការជាស្រទាប់ស្អិត (ស្អិត)ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការភ្ជាប់នៃទង់ដែងទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម និងបង្កើនស្ថេរភាពនៃចំណុចប្រទាក់ ដែលជួយកាត់បន្ថយការរបក ឬការបែកចេញក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយ និងដំណើរការ។
សំណួរទី 2: តើការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធកម្រាស់ Ti/Cu ធម្មតាគឺជាអ្វី?
ក: ការរួមបញ្ចូលគ្នាទូទៅរួមមានTi: រាប់សិប nm (ឧ. 10–50 nm)និងCu: 50–300 nmសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តដែលប្រឡាក់។ ស្រទាប់ Cu ក្រាស់ជាង (កម្រិត µm) ជារឿយៗត្រូវបានសម្រេចដោយការស្រោបដោយអគ្គិសនីលើស្រទាប់គ្រាប់ពូជ Cu ដែលប្រឡាក់អាស្រ័យលើកម្មវិធីរបស់អ្នក។
សំណួរទី 3: តើអ្នកអាចលាបស្រទាប់ទាំងសងខាងនៃបន្ទះ wafer បានទេ?
ក: បាទ/ចាស៎។ថ្នាំកូតម្ខាង ឬទ្វេភាគីអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។ សូមបញ្ជាក់ពីតម្រូវការរបស់អ្នកនៅពេលបញ្ជាទិញ។
អំពីយើង
ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។










