ដំណាក់កាលទ្រទ្រង់ខ្យល់ SiC ដ៏ជាក់លាក់ខ្ពស់

រូបភាពពិសេសនៃឆាកទ្រទ្រង់ខ្យល់ SiC ដ៏ជាក់លាក់ខ្ពស់

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ជាមួយនឹងការវិវត្តជាបន្តបន្ទាប់នៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧបករណ៍ដំណើរការ និងត្រួតពិនិត្យទាមទារឱ្យមានដំណើរការខ្ពស់ជាងមុន។ ដោយផ្អែកលើជំនាញយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការគ្រប់គ្រងចលនា និងការកំណត់ទីតាំងកម្រិតណាណូម៉ែត្រ យើងបានបង្កើតឆាកទ្រទ្រង់ខ្យល់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ប្រភេទ H រាងសំប៉ែត។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅ

ត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវធាតុកំណត់ និងបច្ចេកវិទ្យាទ្រទ្រង់ខ្យល់ដែលបានទូទាត់សង ឆាកនេះផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវ ភាពរឹងមាំ និងការឆ្លើយតបថាមវន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ វាស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់៖

ដំណើរការ និងការត្រួតពិនិត្យឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ការផលិតមីក្រូ/ណាណូ និងរង្វាស់វិទ្យា
ការកាត់ និងប៉ូលាបែបខ្នាតណាណូម៉ែត្រ
ការស្កេនភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ល្បឿនលឿន

លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗ

ផ្លូវណែនាំដែលមានខ្យល់ SiCសម្រាប់ភាពរឹង និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ខ្លាំង
ឌីណាមិកខ្ពស់ល្បឿនរហូតដល់ 1 ម៉ែត្រ/វិនាទី, សន្ទុះរហូតដល់ 4 ក្រាម, ការតាំងលំនៅលឿន
អ័ក្ស Y gantry ដែលមានដ្រាយពីរធានានូវសមត្ថភាពផ្ទុកខ្ពស់ និងស្ថេរភាព
ជម្រើសអ៊ិនកូដឌ័រ: ក្រឡាចត្រង្គអុបទិក ឬ អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូម៉ែត្រឡាស៊ែរ
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង±0.15 μm;សមត្ថភាពធ្វើម្តងទៀតបាន±75 nm
ការបញ្ជូនខ្សែដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ការរចនាស្អាត និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង
ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធដែលអាចប្ដូរតាមបំណងបានសម្រាប់តម្រូវការជាក់លាក់នៃកម្មវិធី

ការរចនាដ៏ជាក់លាក់បំផុត និងស្ថាបត្យកម្មបើកបរដោយផ្ទាល់ មិនប៉ះ

ស៊ុមសេរ៉ាមិច SiC: ~5× ភាពរឹងរបស់យ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូម និងការពង្រីកកម្ដៅទាបជាង ~5× ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពល្បឿនលឿន និងភាពរឹងមាំខាងកម្ដៅ។
ប្រដាប់ទ្រទ្រង់ខ្យល់ដែលបានទូទាត់សងការរចនាផ្តាច់មុខជួយបង្កើនភាពរឹង សមត្ថភាពផ្ទុក និងស្ថេរភាពនៃចលនា។
ការអនុវត្តថាមវន្តគាំទ្រល្បឿន 1 ម៉ែត្រ/វិនាទី និងការបង្កើនល្បឿន 4 ក្រាម ដែលល្អសម្រាប់ដំណើរការដែលមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់។
ការរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងរលូនឆបគ្នាជាមួយប្រព័ន្ធអ៊ីសូឡង់រំញ័រ ដំណាក់កាលបង្វិល ម៉ូឌុលផ្អៀង និងវេទិកាដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វី។
ការគ្រប់គ្រងខ្សែកាបកាំពត់កោងដែលបានគ្រប់គ្រងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងសម្រាប់អាយុកាលសេវាកម្មយូរ។

ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរគ្មានស្នូលចលនារលូនដោយគ្មានកម្លាំងបង្វិលជុំ។
ដ្រាយវ៍ពហុម៉ូទ័រការដាក់ម៉ូទ័រតាមប្លង់បន្ទុកធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រង់ ភាពរាបស្មើ និងភាពជាក់លាក់នៃមុំ។
អ៊ីសូឡង់កម្ដៅម៉ូទ័រត្រូវបានញែកចេញពីរចនាសម្ព័ន្ធឆាក; ត្រជាក់ដោយខ្យល់ ឬទឹកជាជម្រើសសម្រាប់វដ្តការងារខ្ពស់។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស

ម៉ូដែល	៤០០-៤០០	៥០០-៥០០	៦០០-៦០០
អ័ក្ស	X (ស្កេន) / Y (ជំហាន)	X (ស្កេន) / Y (ជំហាន)	X (ស្កេន) / Y (ជំហាន)
ការធ្វើដំណើរ (មម)	៤០០ / ៤០០	៥០០ / ៥០០	៦០០ / ៦០០
ភាពត្រឹមត្រូវ (μm)	±០.១៥	±០.២	±០.២
សមត្ថភាពធ្វើម្តងទៀត (nm)	±៧៥	±១០០	±១០០
គុណភាពបង្ហាញ (nm)	០.៣	០.៣	០.៣
ល្បឿនអតិបរមា (ម៉ែត្រ/វិនាទី)	1	1	1
ការបង្កើនល្បឿន (ក្រាម)	4	4	4
ភាពត្រង់ (μm)	±០.២	±០.៣	±០.៤
ស្ថេរភាព (nm)	±៥	±៥	±៥
បន្ទុកអតិបរមា (គីឡូក្រាម)	20	20	20
កម្ពស់/រមៀល/យ៉ាវ (អ័ក្ស-វិនាទី)	±១	±១	±១

លក្ខខណ្ឌសាកល្បង៖

ការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់៖ ស្អាត ស្ងួត; ចំណុចទឹកសន្សើម ≤ 0°F; ការច្រោះភាគល្អិត ≤ 0.25 μm; ឬអាសូត 99.99%។
ភាពត្រឹមត្រូវត្រូវបានវាស់ 25 mm ពីលើចំណុចកណ្តាលនៃឆាកនៅសីតុណ្ហភាព 20±1 °C, 40–60% RH។

កម្មវិធី

លីតូក្រាហ្វី ការត្រួតពិនិត្យ និងការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច
ការផលិតមីក្រូ/ណាណូ និងរង្វាស់ភាពជាក់លាក់
ការផលិតអុបទិកកម្រិតខ្ពស់ និងអន្តរកម្ម
ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រកម្រិតខ្ពស់ និងអវកាសយានិក

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – ឆាកទ្រទ្រង់ខ្យល់ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ

១. តើដំណាក់កាលដែលមានខ្យល់ជាអ្វី?

ឆាកដែលមានខ្យល់ប្រើស្រទាប់ស្តើងនៃខ្យល់ដែលមានសម្ពាធរវាងឆាក និងផ្លូវណែនាំដើម្បីផ្តល់ចលនាគ្មានការកកិត គ្មានការពាក់ និងរលូនបំផុតមិនដូចប្រដាប់ទ្រមេកានិចធម្មតាទេ វាលុបបំបាត់ការរអិលជាប់ ផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូម៉ែត្រ និងគាំទ្រដល់ភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។

2. ហេតុអ្វីបានជាប្រើស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) សម្រាប់រចនាសម្ព័ន្ធឆាក?

ភាពរឹងខ្ពស់: ~5× នៃយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូម ដែលកាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយអំឡុងពេលចលនាថាមវន្ត។
ការពង្រីកកម្ដៅទាបទាបជាងអាលុយមីញ៉ូម ~5× ដោយរក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព។
ស្រាលដង់ស៊ីតេទាបជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងដែកថែប ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានប្រតិបត្តិការល្បឿនលឿន និងសន្ទុះខ្ពស់។
ស្ថេរភាពល្អឥតខ្ចោះ: ការសម្ងួត និងភាពរឹងខ្ពស់សម្រាប់ការកំណត់ទីតាំងដ៏ជាក់លាក់បំផុត។

៣. តើឆាកនេះត្រូវការប្រេងរំអិល ឬការថែទាំដែរឬទេ?

មិនត្រូវការប្រេងរំអិលបែបប្រពៃណីទេ ព្រោះមានគ្មានទំនាក់ទំនងមេកានិចការថែទាំដែលបានណែនាំរួមមាន៖

ការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ស្អាត ស្ងួត ឬអាសូត
ការត្រួតពិនិត្យជាប្រចាំនៃតម្រង និងម៉ាស៊ីនសម្ងួត
ខ្សែភ្លើងត្រួតពិនិត្យ និងប្រព័ន្ធត្រជាក់

៤. តើតម្រូវការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់មានអ្វីខ្លះ?

ចំណុចទឹកសន្សើម៖ ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
ការច្រោះភាគល្អិត៖ ≤ 0.25 μm
ខ្យល់ស្អាត ស្ងួត ឬអាសូតសុទ្ធ 99.99%
សម្ពាធមានស្ថេរភាពជាមួយនឹងការប្រែប្រួលតិចតួចបំផុត

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។