បន្ទះសៀគ្វី SiC ទំហំ ៤ អ៊ីញ 6H ស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ ជាថ្នាក់បឋម ថ្នាក់ស្រាវជ្រាវ និងថ្នាក់សាកល្បង

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការកាត់ ការកិន ការប៉ូលា ការសម្អាត និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការផ្សេងទៀត បន្ទាប់ពីការរីកចម្រើននៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់។ ស្រទាប់គ្រីស្តាល់មួយ ឬស្រទាប់ច្រើនស្រទាប់ត្រូវបានដាំដុះនៅលើស្រទាប់ដែលបំពេញតាមតម្រូវការគុណភាពដូចជា epitaxy ហើយបន្ទាប់មកឧបករណ៍ RF មីក្រូវ៉េវត្រូវបានផលិតឡើងដោយការរួមបញ្ចូលគ្នានូវការរចនាសៀគ្វី និងការវេចខ្ចប់។ មានជាស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីតពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ឧស្សាហកម្ម ថ្នាក់ស្រាវជ្រាវ និងសាកល្បងទំហំ 2 អ៊ីញ 3 អ៊ីញ 4 អ៊ីញ 6 អ៊ីញ 8 អ៊ីញ។


លក្ខណៈពិសេស

លក្ខណៈបច្ចេកទេសផលិតផល

ថ្នាក់

ថ្នាក់ផលិតកម្ម MPD សូន្យ (ថ្នាក់ Z)

ថ្នាក់ផលិតកម្មស្តង់ដារ (ថ្នាក់ P)

ថ្នាក់ D (ថ្នាក់ D)

 
អង្កត់ផ្ចិត ៩៩.៥ ម.ម. ~ ១០០.០ ម.ម.  
  4H-SI ៥០០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ២០ មីក្រូម៉ែត្រ

៥០០ មីក្រូម៉ែត្រ ± ២៥ មីក្រូម៉ែត្រ

 
ការតំរង់ទិសបន្ទះ  

 

អ័ក្ស​ក្រៅ៖ ៤.០° ឆ្ពោះទៅ < ១១២០ > ±០.៥° សម្រាប់ 4H-N, អ័ក្ស​លើ៖ <០០០១>±០.៥° សម្រាប់ 4H-SI

 
  4H-SI

≤1 សង់ទីម៉ែត្រ-2

≤5 សង់ទីម៉ែត្រ-2

≤១៥ សង់ទីម៉ែត្រ-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ

≥1E5 Ω·សង់ទីម៉ែត្រ

 
ទិសដៅសំប៉ែតចម្បង

{១០-១០} ±៥.០°

 
ប្រវែងសំប៉ែតបឋម ៣២.៥ ម.ម ± ២.០ ម.ម  
ប្រវែងរាបស្មើបន្ទាប់បន្សំ ១៨.០ ម.ម ± ២.០ ម.ម  
ទិសដៅរាបស្មើបន្ទាប់បន្សំ

ស៊ីលីកុនបែរមុខឡើងលើ៖ ៩០° CW។ ពីផ្ទៃរាបស្មើបឋម ±៥.០°

 
ការដកចេញគែម

៣ ម.ម.

 
LTV/TTV/Bow/Warp ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

ភាពរដុប

មុខ C

    ប៉ូឡូញ Ra≤1 nm

មុខស៊ី

ស៊ីអឹមភី Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

ស្នាមប្រេះគែមដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់

គ្មាន

ប្រវែងសរុប ≤ 10 ម.ម, តែមួយ

ប្រវែង≤2 ម.ម

 
បន្ទះ Hex ដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ ផ្ទៃសរុប ≤0.05% ផ្ទៃសរុប ≤0.1%  
តំបន់ពហុប្រភេទដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់

គ្មាន

ផ្ទៃសរុប ≤3%  
ការរួមបញ្ចូលកាបូនដែលមើលឃើញ ផ្ទៃសរុប ≤0.05% ផ្ទៃសរុប ≤3%  
ស្នាមឆ្កូតលើផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់  

គ្មាន

ប្រវែងសរុប ≤1 *អង្កត់ផ្ចិតបន្ទះ  
បន្ទះសៀគ្វីគែមខ្ពស់ដោយពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេ គ្មាន​អ្វី​ត្រូវ​បាន​អនុញ្ញាត​ទេ ≥0.2 ម.ម ទទឹង និង​ជម្រៅ អនុញ្ញាត 5, ≤1 ម.ម ក្នុងមួយៗ  
ការចម្លងរោគលើផ្ទៃស៊ីលីកុនដោយអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់

គ្មាន

 
ការវេចខ្ចប់

កាសែតវ៉ាហ្វើរច្រើន ឬកុងតឺន័រវ៉ាហ្វើរតែមួយ

 

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ដ្យាក្រាមលម្អិត (1)
ដ្យាក្រាមលម្អិត (2)

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង